【課題】本発明の目的は、ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送できるウェーハ搬送装置及び方法を提供することにある。
【解決手段】ロボットハンド１０が、ウェーハ下方の空間３２内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置Ｈ_Ｗよりも大きな高さ寸法Ｈ_Ｙをもつウェーハ位置調整手段１３とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、部品を向きがずれたまま位置決めブロックに押し当てるのを防止することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る発明に係る部品位置決め装置は、上面に位置決め領域が設けられた支持台と、支持台上面と対向するベース板と、ベース板下面において、位置決め領域と対向する位置に設けられたピックアップ手段と、支持台上面において、位置決め領域に隣接するように設けられ、位置決め領域側に第１の位置決め面を有する位置決めブロックと、支持台上面に設けられ、位置決め領域を挟んで第１の位置決め面に対向する第１の接触面を有し、第１の位置決め面に垂直な方向であって第１の位置決め面に近づく第１の方向及び第１の方向とは反対の第２の方向に移動する第１のスライドブロックと、ベース板下面において、第１のスライドブロックと対向するように設けられた第１の押さえブロックと、を備える。 （もっと読む）

【課題】保持又は搬送する対象物にくらべて小型の吸引保持端末を用いて、対象物を非接触で吸引保持することができる吸引保持装置、吸引保持方法、搬送装置、及び搬送方法を提供する。
【解決手段】吸引保持装置は、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を吸引保持する吸引保持装置であって、旋回流発生室と、旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有する吸引保持端末と、吸引保持面に略平行な方向の付勢力を、吸引保持端末に吸引保持されることが可能な位置にある保持対象物に印加する付勢手段と、付勢手段による付勢力に抗して保持対象物を係止する係止手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送中に基板の位置ずれを生じにくく、且つ、パーティクルの発生を抑制可能な基板搬送装置及びこれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置は、基板Ｗを保持して水平方向に移動可能な保持部材１０を備え、この保持部材１０は基板Ｗの下面側の周縁部を保持するために基板Ｗの載置領域の周方向に沿って複数設けられ、垂直方向の断面が円弧状の凹曲面である保持面１３、１４を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板を確実に把持し、基板を目的の位置に載置するときも基板保持部材との接触などの問題が無いハンド構成を提供すること
【解決手段】ベース部材２１に対し、基準位置と把持位置との間をスライド可能であって、基板２７を載置するスライド部材２１と、スライド部材２１を常に基準位置へ戻す方向に力を加える反力部材２５と、スライド部材２１を把持位置へ移動させるときにこれと接触し、スライド部材２１が基準位置にあるときはこれと離れる駆動部２９と、スライド部材２１が基準位置にあるとき、基板２７の周囲と一定の隙間３３を有し、スライド部材２１が把持位置にあるとき、基板２７のエッジを保持可能なＶ字溝を有する第１の基板保持部材３１と、スライド部材２１が基準位置にあるとき、基板２７の周囲と一定の隙間３３を有するように駆動部２９に配置され、スライド部材２１が把持位置にあるとき、基板２７のエッジを保持可能なＶ字溝を有する第２の基板保持部材３０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】顧客トレイからテストトレイに半導体素子をローディングする時、段階的に行われる半導体素子の前後及び左右ピッチの調整を分業化することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明のテストハンドラーは、半導体素子をマトリックス状に第１方向ピッチと第２方向ピッチを有するように積載可能な顧客トレイと、前記顧客トレイに積載されている半導体素子をテストトレイにローディングするローディング装置と、前記ローディング装置によりローディングが終了されたテストトレイ上の半導体素子をテストするために設けられるテストチャンバーと、前記テストチャンバーを経由してテストが終了されたテストトレイ上の半導体素子を顧客トレイにアンローディングするアンローディング装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェーハをカセットに格納する工程期間内において、ウェーハのオリフラ合わせも共に実施することができる半導体ウェーハのオリエンテーションフラット合わせ装置を提供すること。
【解決手段】ウェーハバンド１は、載置台７の下部に２本のスプリング６を有し、ウェーハハンド１のカセットからの出し入れの間、この２本のスプリング６の長さを調整することにより、ウェーハ１０に対して、ウェーハ１０の吸着口１３（別図）を回転中心とする試行的な小回転を与え、ウェーハ１０の刻印Ｎｏ．（１１）が刻印読み取り穴１４（別図）を介して読み取り可能となる位置を探索する。この読み取り可能となる位置は、オリフラが正しく合わせられた位置なので、この位置で前記の試行的な小回転を停止する。 （もっと読む）

【課題】基板の振動や変形を抑制しつつ基板を高速度で搬送する。
【解決手段】基板ハンドリングシステム１は、ガラス基板Ｇを搬送するための搬送路２０を備え、搬送路２０は、エアの吹出及び吸引によって搬送路２０上でガラス基板Ｇを浮上保持する基板浮上装置２５と、ガラス基板Ｇを保持し当該ガラス基板Ｇを移動させる駆動機構２４と、を有しており、ガラス基板Ｇを浮上保持しながら搬送方向Ｘに搬送する。この基板ハンドリングシステム１では、ガラス基板Ｇを高速度で搬送しても、ガラス基板Ｇの主面が傷付くのを確実に抑制できると共に、高い保持剛性によって、ガラス基板Ｇの振動を抑制し且つガラス基板Ｇに変形があってもこれを搬送路２０に倣った状態にすることができる。 （もっと読む）

【課題】ウエーハのノッチの位置合せを実行することができ、かつ、径の異なるウエーハを搬送した場合でも、ウエーハ処理装置に対するウエーハの中心位置を位置合せすることができる半導体ウエーハ搬送用ハンドを提供する。
【解決手段】容器からウエーハＷを取り出し、ウエーハＷを処理する処理装置に搬送する半導体ウエーハ搬送用ハンド１０であって、ハンド部材本体１２と、ハンド部材本体１２に対して移動可能なハンド部材１４と、ハンド部材１４に対して移動可能な保持部材３６と、ウエーハＷと接触する第１回転部材２４と、第１回転部材２４と共にウエーハＷを回転させる第２回転部材５６と、第１回転部材２４と第２回転部材５６が相互に離間する方向又は相互に接近する方向に沿って同じ距離だけ移動させる移動手段と、ウエーハＷのノッチを検出するノッチ検出手段と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】基板の傾きを一方向に揃えることができ、移載トラブルを低減できるようにした支持部材、半導体製造装置及び基板の支持方法を提供する。
【解決手段】基材１と、基材１の上面に形成された溝部３とを備え、ウエーハＷを溝部３に挟んだ状態で支持するプッシャー１０であって、溝部３の底面６は、当該底面６と接触したウエーハＷの縁端Ｗ１を溝部３の側面４の側へ片寄せする形状を有する。例えば、溝部３の底面６は、側面５から側面４に向かって下がる斜面となっている。このような構成であれば、ウエーハＷの縁端Ｗ１を底面６に沿って滑らせて側面４の側へ片寄せすることができ、ウエーハＷの傾きを一方向に揃えることができる。 （もっと読む）

【課題】所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重なられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際にそのガラス基板を反転させるガラス基板反転装置を提供すること。
【解決手段】所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際に該ガラス基板を反転させるガラス基板反転装置であって、ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、ステージの基板浮上面側に基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、基板収納トレイが固定されたステージを反転させるステージ反転手段とが備えられている。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに対するキャリアステージの高さのティーチングを高精度に行えるようにすること。
【解決手段】ウェハを搬送する搬送アーム４と、ウェハを収納するキャリア１を搭載したキャリアステージ５とを備えた搬送装置での前記搬送アーム４に対するキャリアステージ５の高さをティーチングする際に用いるティーチング装置であって、キャリア１内のスロット台２上に配置される円板１１と、円板１１に取り付けられるとともにスロット台２に配置されている前記円板１１の下に配された搬送アーム４と円板１１との最適な隙間に設計された突起部を有するヘッド部材１２と、を有するティーチング治具１０と、突起部と搬送アーム４の電気的接触を検出する検出器２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板を基板カセットからトレイカセットまで一貫して搬送できるようにする。
【解決手段】ウエーハ移送手段はウエーハ２の下面を支持部材23で支持する一次側ウエーハ移送手段と、該一次側ウエーハ移送手段の搬送終端の上方に配置可能に設けられ下向きの吸着面30を有するベルヌーイチャック機構29が設けられた二次側ウエーハ移送手段11とを備える。移載テーブル４に載置したトレイ３にウエーハ２を載置するときには、ベルヌーイチャック機構29はウエーハ２の上向きの表面と無接触状態で保持でき、この結果二次側ウエーハ移送手段11の下降作用によりウエーハ２の表面を無接触状態でトレイ３に載置することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送時間を十分に短縮できる基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置を提供する。
【解決手段】インデクサブロックおよび処理ブロックからなる基板処理装置において、インデクサブロックと処理ブロックとの間で、基板ＷがインデクサロボットＩＲにより搬送される。インデクサロボットＩＲは上下に並ぶように設けられた複数のハンド要素２６０を備える。ハンド要素２６０間の距離は、インデクサブロックに搬入される基板Ｗが収納されたキャリアの基板収納溝間の距離と等しい。また、インデクサブロックおよび処理ブロック間に設けられる基板載置部ＰＡＳＳ２の上下に隣接する支持板５１ａ間（および支持板５２ａ間）の距離は、ハンド要素２６０間の距離の２倍である。 （もっと読む）

【課題】構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースをより小さくすることができる物品収納設備の提供。
【解決手段】上下方向及び左右方向に収納部１を複数備えた物品収納棚２と、その物品収納棚２における各収納部１に物品３を搬送自在な物品搬送装置４とが設けられ、物品搬送装置４は、物品収納棚２の棚横幅方向に移動自在な移動体１２と、その移動体１２に対して物品収納棚２の棚前後方向に移動自在な昇降案内マスト１３と、棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動により収納部１に対する物品移載用の突出位置と収納部１から引退する引退位置とに移動自在で且つ昇降案内マスト１３にて昇降自在に案内支持された物品支持体１４とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】シート状の基材を貼付された基板から基材を剥離する作業を効率よく行う。
【解決手段】基板から剥離され巻き取りローラ２２０に巻き取られたシートフィルムＦの巻き始め側端部Ｆsをシート剥がし爪５１２により引き出して把持し（図１４（ａ））、シート剥がし機構５１０を下方に移動させる（同図（ｂ））。最下端まで移動してくると従動ローラ５２２を配したシートガイド５２１を下降させて搬送ローラ５３１とのニップ部でシート端をクランプし、搬送ローラ５３１の回転により搬送経路Ｐに沿って回収ボックス６００まで搬送する（同図（ｃ））。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置の高さの低減、及び汚染物質等の進入の抑制を図る。
【解決手段】複数の基板Ｗが上下方向に並列的に収容される棚を有し、該棚の全段に相当する寸法の開口６ａがその一側面に形成された基板容器６が設置される容器台４２と、容器台４２を、上下方向の任意の位置で位置決め可能に移動する駆動装置４３と、容器６の棚の全段に相当する寸法よりも小さい範囲で上下方向に移動し、容器台４２との間に設けられた隔壁４４に形成される開口部４４ａと、開口部４４ａに対向する容器６の開口６ａとを介して基板容器６の棚に対する基板Ｗの搬出又は搬入を行う搬送アーム２０と、搬送アーム２０の上下方向の移動範囲に対して容器台４２の上下方向に位置を変更するように駆動装置４３を制御する制御装置と、容器台４２が位置を変更する際に、隔壁４４に形成される開口部４４ａが外部へ開放されることを防止する防止手段４７とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容する荷を搬送する搬送車との間で、荷の出入庫が夫々行われる複数の保管庫が組み合わされてなる保管庫セットが軌道に沿って敷設される保管庫装置において、比較的簡単な構成を採用しつつ、効率良く荷を出入庫することを可能ならしめると共に、稼働率を高く維持する。
【解決手段】保管庫装置に備えられる保管庫１０は夫々、荷３を水平一方向及び鉛直方向に往復移動可能な駆動手段１１，１３，１４と、該駆動手段により移動される荷を収容又は載置可能な棚部分を、鉛直方向に複数段に渡って段毎に水平一方向に一又は複数有する棚１５とを備える。保管庫装置は、少なくとも複数の保管庫のうち一又は複数の保管庫からなるグループ毎に出入庫を制御すると共に相互に補完制御可能に夫々構成されている複数のコントローラを備える。 （もっと読む）

【課題】ハンドに保持された基板の平面の法線方向において、これを直接的に相手側の基板保持機構と授受できるようにする基板搬送装置用のハンドを提供すること。
【解決手段】ハンド１を、基部となるハンドベース４と、ハンドベース４に重なるように配置され、基板２を支持する揺動ハンド３と、ハンドベース４と揺動ハンド３との間にあって、揺動ハンド３をハンドベース４に対して傾斜及び平行移動可能に支持する揺動機構５と、から構成した。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送において基板の割れ、および落下を防止する基板の搬送装置を提供する。
【解決手段】駆動装置に搬送アームが取り付けられ、搬送室に基板を搬送する基板の搬送装置において、搬送アーム２３は、駆動装置に取り付けられる取り付け部２４と、取り付け部２４から延伸され基板の外形より大きく形成された部分を備え、基板３０が載置される載置部２５と、を有し、搬送アーム２３上に、載置される基板３０の外周部の一部と接触可能な弾性を有する固定部２６が備えられている。 （もっと読む）