【課題】移動体の全移動範囲に渡って、正確な位置検出を行うことのできる慣性駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】固定部材と、固定部材に接続され、第１及び第２の方向とに微小変位を発生する変位発生手段と、変位発生手段が発生した微小変位によって往復運動する振動基板と、振動基板上に配置され、慣性に基づく移動が可能な移動体と、移動体に接続され、電流印加によって、移動体に電磁気力を作用させることによって、移動体と振動基板との間の摩擦力を制御する駆動手段と、振動基板の平面上に、移動体と絶縁体層を介して対向配置され、かつ、移動体の移動に伴い移動体との対向面積が連続的に増加もしくは連続的に減少するように形成された、位置検出機能を備える検出電極と、移動体と検出電極との間の静電容量を検出することによって、移動体の位置を検出する位置検出手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】Ｄ／Ａ変換の精度をデバイスの分解能以上に高め、位置決めの精度を向上させる。
【解決手段】ステージの位置決めを制御する位置決め制御ユニット１２０であって、１制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出部１２１と、算出された操作量を、１制御周期の積分値が等しくなるように、時間的に分割して所定分解能で出力する出力制御部１２３と、出力された操作量をデジタル信号からアナログ信号へ所定分解能で変換するＤ／Ａ変換部１２４と、を備え、アナログ信号により圧電素子を駆動させることで、ステージの位置決めを制御する。これにより、Ｄ／Ａ変換の精度をデバイスの分解能以上に高くして、位置決めの精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子のクリープ抑制と同時にヒステリシス補正を簡単に行え、圧電素子を用いた位置合わせ装置の応答性の改善を図る。
【解決手段】ヒステリシスループ上の異なる複数の電圧から所望の目標電圧に圧電素子に印加する電圧を反転させ、当該目標電圧になったときの圧電素子のクリープを検出するとともに、最小電圧から最大電圧までの間における異なる目標電圧ごとにクリープの検出を繰り返し、繰り返し検出した異なる目標電圧ごとのクリープがほぼゼロとなる変位点を結んで得られる曲線を非クリープ線として導出し、圧電素子に印加する電圧を、ヒステリシスループを辿って変化させ、制御すべき最終の目標変位に対応する非クリープ線上の目標点に向けて変化させる。 （もっと読む）

【課題】移動ストロークを最大限活用しながら、位置検出の精度の良い、小型の慣性駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】固定部材１と、振動基板３と、移動手段２と、導電体からなる移動体４と、移動体４と対向する振動基板３の面に設けられた電極３１、３２と、移動体４と電極との間に介在する絶縁膜３１０と、移動手段２を往復運動させるための電圧を印加するとともに、移動体４と電極との間に静電気力を作用させることにより振動基板３と移動体４との間に生じる摩擦力を制御するための電圧を印加する駆動手段と、移動体４と電極３１、３２の対向部分の静電容量に基づいて振動基板３に対する移動体４の位置を検出する位置検出手段７と、移動体４側面の移動方向に対して設置され、移動体４側面と電極３１、３２との静電容量の影響を遮断する静電遮断手段６とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＨＤＤの磁気記録ヘッドの駆動などのために用いられる超音波モータにおいて、応答性を向上する。
【解決手段】面内振動を行い、ステータとなる振動体２をロータ１３に内包することで、前記振動体２の振動が摩擦接触するロータ１３に伝達されて該ロータ１３が予め規定された範囲の回転角度内で往復動する超音波モータ１０において、略円筒状や有底円筒状に形成される前記ロータ１３の周壁を挟んで、振動体２の当接部２ｇ；２ｈ，２ｉの反対側の位置に重量部１１，１２を設ける。したがって、ロータ１３の軸受けを不要にした構成にできるとともに、前記重量部２１，２２では、当接部２ｇ；２ｈ，２ｉで叩かれても、慣性質量が大きいために逃げず、振動体２に励起された楕円振動による推力を効率良く伝達することができ、ロータ１３の慣性質量を従来より軽量化しつつ、応答性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】ピエゾアクチュエータ用の駆動回路において、移動対象物の目標位置への移動を速やかに行うことと、精度良く行うこととを可能にする。
【解決手段】デューティ比が異なる２種類の駆動パルスＰＬ１，ＰＬ２についてのパラメータをレジスタ２８に記憶させる。パルス生成回路２６は、レジスタ２８に格納されたパラメータに基づいて、レンズ８の変位ステップ幅が大きいＰＬ１と、小さいＰＬ２とを切り換え可能に構成される。ＰＬ１による粗動により、レンズ８を速やかに移動させることができ、一方、ＰＬ２による微動により、レンズ８を目標位置に精度良く近づけることができる。 （もっと読む）

【課題】 積層圧電素子を用いて、低電圧で駆動でき小型で高出力が得られる安価な超音波モータ及び電子機器の提供。
【解決手段】 複数の圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを積層して振動体を構成し、振動体と接する移動体７を駆動する超音波モータにおいて、複数の圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃの界面に設けられた内部電極１０ａ，１０ｂと１０ｃ，１０ｄは同一形状であり、内部電極１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄを短絡する外部電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅを有する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で振動体の振動を抑制することなく安定した支持ができる支持構造を得る事で、位置決め精度及び位置決め制御性の向上、位置決め安定性を図り、モータの性能バラツキを小さくする圧電モ−タの提供。
【解決手段】 圧電素子を有する振動体１の振動により、振動体１もしくは振動体１に設けられた摩擦部材３と接する接触部材５もしくは振動体１自体を稼動する圧電モータにおいて、振動体１に設けられた複数の凹部１ａと、凹部１ａと係合する複数の凸部を有する支持部材２を有する。 （もっと読む）

【課題】
圧電素子等の駆動源を用いる往復動型レンズアクチュエータの立ち上がり時に生じる振動の抑制と立ち上がり速度の短縮を同時に行う。
【解決手段】
立ち上がり時の時間を駆動源の固有振動数に対応した周期とすることで、立ち上がり時に於ける駆動源の共振を防いで立ち上がり後の振動を抑制すると共に、立ち上がり速度を上げることが可能となる。また、駆動時前に原点復帰することで入力信号に対する移動変位の再現性の向上という効果をも得ている。 （もっと読む）

【課題】温度変化や個体差に柔軟に対応可能で、負荷増大の影響を抑制する超音波モータ駆動装置、モータ停止時等速やかに復旧可能な画像入力装置を提供する。
【解決手段】回転数急低下検出手段２２６，２４６と、回転数急低下検出手段にて時間の変化に対する回転数の減少の割合が前記所定値以上または前記所定値を超えていることを検出しない場合は、応答が早いフィードバック制御を用い、超えていることを検出した場合は、応答が遅いフィードバック制御を所定時間用いて、または駆動周波数を変化させずに超音波モータを制御する制御手段２０１とを備える。 （もっと読む）

【課題】駆動信号の供給先となる圧電素子を切り替えること無く、被駆動体の駆動方向を変更可能とする技術を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータは、少なくとも１つの圧電素子（１２０）と、被駆動体（ＭＢ）に駆動力を作用させるための作用端（１３０）とを有し、圧電素子（１２０）の変形に応じて作用端（１３０）が振動する圧電素子構造体１００を備える。圧電アクチュエータは、さらに、圧電素子（１２０）に電圧を印加するためのドライバ回路（３００）と、ドライバ回路（３００）に矩形波状の駆動信号（ＤＶ，＃ＤＶ）を供給することによって、作用端（１３０）を振動させる駆動制御回路（２００）と、を備える。駆動制御回路（３００）は、駆動信号（ＤＶ，＃ＤＶ）のデューティ比を変更することによって被駆動体（ＭＢ）の駆動方向を反転可能である。 （もっと読む）

【課題】ＨＤＤの磁気記録ヘッドの駆動などのために用いられる超音波モータにおいて、応答性を向上する。
【解決手段】正三角形の頂点を削り落とした形状の圧電素子３ａと、前記削り落とした頂点部分に固着されるチップ部材３ｂとを有し、前記頂点部分が楕円振動する振動体３に、円筒状のロータ２を嵌め込んで超音波モータ１を構成する。そして、前記ロータ２には、内周側から見てＶ形状の溝９を設ける。したがって、軸受けを用いることなく、ロータ２を半径方向および軸線方向にガタなく保持することができ、応答性を向上することができる。また、ロータ２の全周が保持されていないことで、加圧力の寸法に対する誤差感度を低減でき、駆動性能を安定させることができる。 （もっと読む）

モータは、互いに垂直に方向付けられた作用方向を備えた２つの駆動エレメント（１９ａ，１９ｂ）、特にピエゾ撓み変換器を有している。このアクチュエータ（１９ａ，１９ｂ）は駆動リング（１）に作用し、これによって、この駆動リング（１）を介して軸（３９）が回動させられる。駆動リング（１）には、対角線方向で反対の側に位置する２つの固定部（３ａ，３ｂ）が設けられている。両固定部（３ａ，３ｂ）につき、駆動リング（１）が、それぞれ１つのジョイント式の屈曲エレメント（３６ａ，３６ｂ）を介して、各固定部（３ａ，３ｂ）に対して対角線方向で反対の側に配置されたそれぞれ１つの位置固定エレメント（１２，１４）にフレキシブルに懸架されている。この結果、半径方向で駆動リング（１）に枢着されていないアクチュエータを備えたコンパクトな駆動装置が得られる。
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【課題】可動体の位置検出を簡易な構成で実現する。
【解決手段】駆動装置１は、ガイド１３，１３と、ガイド１３，１３に対して相対的に移動可能なステージ１１と、ステージ１１を移動させる超音波アクチュエータ２と、超音波アクチュエータ２を制御する制御装置７とを備えている。超音波アクチュエータ２は、ステージ１１に接触する駆動子４９，４９を有すると共に、ガイド１３，１３側に取り付けられている。ステージ１１における駆動子４９，４９が接触する面には、凹凸部１２が形成されている。制御装置７は、駆動子４９，４９の接触圧力の変化に基づいてステージ１１の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】小型で電圧制御が容易であるとともに、ロータの回転速度を制御することができる超音波アクチュエータを提供する。
【解決手段】回転自在なロータに作用してロータを回転させる超音波アクチュエータにおいて、ロータに一端が接し途中に折れ曲がった角部を有しさらに延在して他端側が固定された板状の振動子と、振動子の、一端と角部との間の一部分に接触し、交流電圧の印加を受けて振動してその振動を振動子に伝える第１の圧電素子と、振動子の、他端と角部との間の一部分に接触し、直流電圧の印加を受けて伸縮してその一部分の湾曲を調整することにより、振動子の振動開始前における、一端をロータに押し当てる予圧力を調整する第２の圧電素子とを備えた。 （もっと読む）

【課題】位置偏差と速度偏差を小さく抑えた高精度な移動制御を可能とする位置決め制御装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１００は超音波モータ１０による摩擦駆動によってスライダ５０の移動／位置決めを行う。その制御装置２０は、スライダ５０の位置偏差，速度偏差に基づく制御量を用いて超音波モータ１０をＰＩＤフィードバック制御する。また制御装置２０は、移動プロファイルと、その移動プロファイルにしたがってスライダ５０を移動させたときの超音波モータ１０の制御量とを記憶し、その後にスライダ５０を目標位置へ移動させる際に、そのために作成された移動プロファイルと同じ移動プロファイルが既に記憶されているときには、その移動プロファイルに対応する超音波モータ１０の制御量を読み出して、これをフィードフォワード制御量として超音波モータ１０に印加する。 （もっと読む）

【課題】駆動ノイズの小さい駆動装置を提供する。
【解決手段】電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子５と、電気機械変換素子５に一端が固定され、電気機械変換素子５の伸縮によって、軸方向に往復変位可能な振動部材６と、振動部材６に摩擦係合し、振動部材６の往復移動によって振動部材６に対してすべり変位可能な摩擦係合部材７と、摩擦係合部材７をすべり変位させる周期的な主駆動電圧と、摩擦係合部材７を主駆動電圧より遅い速度ですべり変位させられる周期的な副駆動電圧とのいずれかを、電気機械変換素子５に印加可能な駆動回路４とを有する駆動装置において、摩擦係合部材７の駆動開始または駆動終了から２５ｍｓｅｃの間の少なくとも一部の時間に、電気機械変換素子５に副駆動電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】十分な低速駆動や駆動速度の滑らかな変更が可能な駆動技術を提供する。
【解決手段】第１電圧値、第１電圧値より低い第２電圧値、および第２電圧値より低い第３電圧値から選択的に１つの電圧値を出力するとともに、まず第１期間に第１電圧値の出力を行い次の第２期間に第２電圧値の出力を行ってから第３期間に第３電圧値の出力を行い最後の第４期間に第２電圧値の出力を行う出力サイクルを繰り返し、電気機械変換素子に電圧を印加する。ここで、第１期間の長さを増加させる途中で、第１期間の長さの変化に対する第２および第４期間の長さの変化の傾きのうちの少なくとも一方を変更する。 （もっと読む）

【課題】 小型で大変位、高剛性が得られるとともに制御性が良く、安定性に富んだ圧電アクチュエータを実現する。
【解決手段】 そこで、上記課題を解決する為に本発明の圧電アクチュエータは、厚み方向に屈曲変位する第一の圧電部材と、第一の圧電部材と逆方向へ屈曲変位する第二の圧電部材と、を二つの圧電部材の厚み方向に重ねて配置し、第一の圧電部材の長手方向中央部と第二の圧電部材の長手方向中央部とを、もしくは第一の圧電部材の両端部と第二の圧電部材の両端部とを固定した構造とする。 （もっと読む）

【課題】 超音波モータのステータとロータの圧接面での癒着を解消し、モータ始動時の立ち上がり特性を改善する。
【解決手段】 互いに圧接面で圧接するステータとロータとを備える超音波モータであって、ステータに設けられて円周方向に沿って分極した圧電体１３に駆動用の高周波電圧を印加する駆動回路４の構成として、超音波モータの始動時に少なくとも周波数をランダムに変化させた高周波電圧を所定時間だけ生成する手段を備える。始動時にタイマー４３３によりセレクタ４３１でランダム発振器４２２の出力を選択し、出力器４３４からランダム高周波電圧ＲＡＭＡ，ＲＡＭＢを圧電体１３に印加する。圧電体１３に不規則な振動が生起され、ステータとロータの圧接面間に当該不規則な振動が作用することになり、両圧接面の癒着を効果的に解消し、モータの回転立ち上がり特性が改善される。 （もっと読む）