振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置
【課題】駆動系と被駆動系双方間の誤差を吸収でき且つ簡単な構成で小型化を可能にした振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置を提供する。
【解決手段】振動波リニアモータ１２０は２個の振動子７４及び７５がハウジング１２２の上下に収容され、ハウジング１２２の両側面を挿通するシャフト７８がハウジング内で振動子７４及び７５に挟持されて長手方向に進退駆動される。ハウジング１２２の上下から抱き込むように付勢係合部材１２３−１と１２３−２が組み付けられ、連結止めピン１２６−１、１２６−２を支点にし、引き螺旋バネ１２９−１、１２９−２に付勢されて、一方では振動子７４をピン部材１１５を介して下方に付勢し他方では振動子７５をピン部材１１５を介して上方に付勢して振動子７４及び７５をシャフト７８に圧接させる。シャフト７８の一端にナット１３１を介して横に突設された駆動係合ピン１３２が被駆動体と係合して移動力を伝達する。
【解決手段】振動波リニアモータ１２０は２個の振動子７４及び７５がハウジング１２２の上下に収容され、ハウジング１２２の両側面を挿通するシャフト７８がハウジング内で振動子７４及び７５に挟持されて長手方向に進退駆動される。ハウジング１２２の上下から抱き込むように付勢係合部材１２３−１と１２３−２が組み付けられ、連結止めピン１２６−１、１２６−２を支点にし、引き螺旋バネ１２９−１、１２９−２に付勢されて、一方では振動子７４をピン部材１１５を介して下方に付勢し他方では振動子７５をピン部材１１５を介して上方に付勢して振動子７４及び７５をシャフト７８に圧接させる。シャフト７８の一端にナット１３１を介して横に突設された駆動係合ピン１３２が被駆動体と係合して移動力を伝達する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波振動子を用いた振動波リニアモータに関し、特に簡単な構成で小型化を可能にした振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、超音波モータ（振動波モータ）が注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータに比べて、ａ：ギヤ無しで低速高推力が得られ、ｂ：保持力が大きく、ｃ：ストロークが長く高分解能であり、ｄ：静穏性に富み、ｅ：磁気的ノイズを発生せずノイズの影響も受けない、などの利点を有している。
【０００３】
このような利点を有する従来の超音波モータとしては、移動部に２個の振動子板を設け、これら振動子板の対向面に形成されたそれぞれ１個の突起部の対向部間に１本のガイドシャフトを挟み、２個の振動子板の振動により、ガイドシャフトに沿って移動部が移動するリニア超音波モータが提案されている。（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開平０９−０５１６８７号公報（段落［００１１］〜［００１２］、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の技術は、ガイドシャフトを挟んで向かい合う振動子板のそれぞれの駆動突起部が１個であるため、ガイドシャフトと振動子板の駆動方向で形成される面内で、駆動突起部を支点とした傾きが生じやすい。
【０００５】
駆動突起部での楕円振動の振幅は、ガイドシャフトとの垂直方向では振動子板とガイドシャフトとを離隔させる作用、ガイドシャフトとの水平方向ではガイドシャフトを相対的に駆動させる作用を持っている。これらの作用を満たすように駆動突起部の楕円振動を最適化しているので、傾きが生じると駆動に悪影響を及ぼす。
【０００６】
傾きが大きくなりすぎると、駆動突起部以外の所、例えば振動子板とガイドシャフトが当接することになり、そこでの振動は通常、駆動接触部での楕円振動を阻害する方向に作用し、また、無用な接触状態での振動は、接触部分の破壊につながる虞がある。
【０００７】
したがって、先ず、ガイドシャフトを本体装置側に固定する固定部材が必要であることは言うまでもないが、更に移動部においては駆動突起部がガイドシャフトに対して傾かないように位置決めするためのガイドシャフトに対する係合部が最低２箇所必要である。
【０００８】
このように必須な構成が多くなると全体構成を小型化することが困難になるだけでなく上記従来の構成は、移動部がガイドシャフトにガタなく支持されているため、この構成のリニア超音波モータを、多少の誤差が許容される例えばカメラの鏡枠等の駆動に応用しようとした場合、双方間の誤差を吸収するための連結部材が必要になると思われる。
【０００９】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、駆動系と被駆動系双方間の誤差を吸収でき且つ簡単な構成で小型化を可能にした振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
先ず、第１の発明の振動波リニアモータは、被駆動体と、該被駆動体を所定の一定方向に駆動する２個以上の駆動接触部を有する第１の振動子と、上記被駆動体を上記第１の振動子による駆動と同一向きに駆動する１個以上の駆動接触部を有する第２の振動子と、上記第１又は第２の振動子のいずれか一方を固定して支持する第１の支持部と、上記第１又は第２の振動子のいずれか他方を揺動可能に支持する第２の支持部と、該第２の支持部により揺動可能に支持される上記第１又は第２の振動子を上記被駆動体に付勢する付勢手段と、を有して構成される。
【００１１】
この振動波リニアモータにおいて、例えば、上記第１又は第２の振動子の少なくともいずれか一方の駆動接触部は、上記被駆動体の形状に合わせて該被駆動体を上記所定の一定方向に案内する形状を有して構成される。
【００１２】
また、上記第２の振動子の１個以上の上記駆動接触部は、例えば上記第１の振動子の２個以上の上記駆動接触部の間に対向して配置されるように構成される。
また、上記第１の振動子は、例えば上記駆動接触部を有する面と反対面を上記第１の支持部に固定されるように構成され、また、例えば振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して上記第１の支持部に固定されるように構成される。
【００１３】
また、上記第２の支持部は、例えば揺動可能に支持する上記第１又は第２の振動子を上記所定の一定方向に沿う方向に位置固定して支持するように構成される。
また、上記第２の振動子は、例えば上記駆動接触部を有する反対面を上記第２の支持部により上記被駆動体の傾きに合わせて揺動自在に位置固定されるように構成される。この場合、上記第２の振動子は、例えば振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して上記被駆動体に付勢されるように構成してもよく、更に、例えば振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して第２の支持部により上記被駆動体の傾きに合わせて揺動自在に支持されるように構成してもよい。
【００１４】
また、この振動波リニアモータの構成においては、例えば上記第１の振動子の節の位置に設けられたピンと上記第２の振動子の節の位置に設けられたピンとの間に引き付勢部材を張り渡して、上記第１及び第２の振動子を上記被駆動体に付勢するように構成してもよい。
【００１５】
また、上記第１の振動子は、例えば振動が極小となる節の位置を２点有し、該節の位置にそれぞれ固定されたピンにより上記第１の支持部に支持されるように構成してもよい。
更に、例えば上記第１の振動子の節の位置に設けられたピンと、上記第２の振動子の２個の節の位置に設けられたピン間に差し渡された部材とに係合する引き付勢部材により、上記第１及び第２の振動子を上記被駆動体に付勢するように構成してもよい。
【００１６】
また、この振動波リニアモータにおいては、例えば上記第１及び第２の振動子ともに、上記被駆動体を介して対向する２箇所の位置にそれぞれ上記駆動接触部を備えるように構成してもよい。
【００１７】
次に、第２の発明のレンズ装置は、上記に記載のいずれかの振動波リニアモータを、合焦用レンズの駆動源として搭載して構成される。
【発明の効果】
【００１８】
先ず、第１の発明によれば、２個以上の駆動接触部を有する第１の振動子と１個以上の駆動接触部を有する第２の振動子の少なくとも一方の振動子が支持部に固定された状態で上記２つの振動子が被駆動体を挟み込んで被駆動体を駆動方向へ案内しながら駆動するので、駆動時における案内部材が不要になり、装置全体の小型化が可能になる。
【００１９】
次に、第２の発明によれば、リニア駆動により合焦レンズを直接駆動出来るため、機械損失が低減できて装置寿命が長くなるだけでなく、合焦時間を短縮することがき、ユーザの速い撮影動作にも対処することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。尚、以下の説明において、上記第１の振動子は例えば振動子７４等から成り、上記第２の振動子は例えば振動子７５等から成り、上記付勢手段は例えば弾性部材からなる第２の支持部７７、圧縮バネ７９、引きバネ１１８等から成り、そして上記被駆動体は例えばシャフト７８等から成る。
【００２１】
＜実施形態の基本構成＞
図１(a) は、本発明の振動波リニアモータを搭載したレンズ装置を示す外観斜視図であり、同図(b) は、同図(a) に示すレンズ装置のＡ−Ａ´矢視断面を同図(a) の矢印ａ方向から見た図であり、レンズユニット各部の概略の構成を示している。
【００２２】
尚、図１(a) には、レンズ装置１と共に例えばカメラなどの本体装置のハウジング内に組み込まれるこのレンズ装置１の各部の駆動を制御する制御回路を備えた回路基板２の一部も共に示している。
【００２３】
同図(a) に示すレンズ装置１は、特には図示しない本体装置のハウジングの撮影レンズ窓から撮影光軸Ｏ１（図では鉛直方向で示している）に沿ってレンズＬ１に入射する被写体からの光束を、レンズＬ１と一体なプリズムによって、水平方向にほぼ直角に（図では斜め右上方向に）折れ曲がるように反射させる。このレンズ装置１は、上記折り曲げられた同図(b) に示す第２の光軸Ｏ２に沿って、上記の入射光束を、レンズ装置１の端部（図では斜め右上方向端部）に配設されている例えばＣＣＤ(charge coupled device）などからなる撮像素子１４まで導いて撮像画像を生成する。
【００２４】
同図(b) に示すように、レンズ装置１の内部には、上記水平方向に折り曲げられた第２の光軸Ｏ２に沿って、レンズＬ１及びレンズＬ２からなる第１の固定レンズ部８、レンズＬ３及びレンズＬ４からなる第１の移動レンズ部９、レンズＬ５、レンズＬ６及びレンズＬ７からなる第２の移動レンズ部１１、レンズＬ８からなる第３の移動レンズ部１２、並びにレンズＬ９からなる第２の固定レンズ部１３で構成される複数のレンズを備えている。そして、これらのレンズ群の終端には撮像素子１４が配置されている。
【００２５】
上記第１の固定レンズ部８のレンズＬ１は、上述した撮影レンズ窓から撮影光軸Ｏ１に沿って入射する被写体からの光束をほぼ９０°水平方向に反射して折り曲げて、第２の光軸Ｏ２に沿って光束の進路を変更するプリズムと一体化されており、レンズ２と共に第１の固定鏡枠部１５に保持されてレンズ装置１内で固定されている。また、上記第２の固定レンズ部１３は、第２の固定鏡枠部１６に保持されてレンズ装置１内で固定されている。
【００２６】
上記第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６は、第２の光軸Ｏ２に対し垂直な面で切られた断面がほぼＬ字形状を成す後述する金属フレームの長手方向の端部に一体的に樹脂成形により形成されている。
【００２７】
これら第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６との間に、上記第１の移動レンズ部９を保持する第１の移動鏡枠１７、第２の移動レンズ部１１を保持する第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動レンズ部１２を保持する第３の移動鏡枠１９が配置されている。
【００２８】
上記第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９は、上記の第１の移動レンズ部９、第２の移動レンズ部１１及び第３の移動レンズ部１２を、上記のレンズＬ１（以下、プリズムＬ１ともいう）によりほぼ直角に折り曲げられた第２の光軸Ｏ２に沿って、それぞれ独立に移動可能に保持している。
【００２９】
上記第１の移動レンズ部９及び第２の移動レンズ部１１は、このレンズ装置１の光学系の第２の光軸Ｏ２に沿って入射する被写体の光束の焦点距離を変化させるために設けられている。換言すれば、これら第１の移動レンズ部９及び第２の移動レンズ部１１を保持する第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８は、レンズ系のズーム比調節用のために設けられている。
【００３０】
また、第３の移動レンズ部１２は、上記の光束が撮像素子１４上に結像する焦点調節のために設けられている。換言すれば、この第３の移動レンズ部１２を保持する第３の移動鏡枠１９は、第２の光軸Ｏ２方向に移動自在な合焦用の鏡枠として設けられている。
【００３１】
また、上記第１の移動レンズ部９と第２の移動レンズ部１１の間の２１は、絞りの位置を示している。
また、このレンズユニットは、上下の厚み（実際には撮影用のレンズユニットとしては奥行き方向の厚みとなる）を極力薄くするように、径の比較的大きなレンズＬ２、Ｌ５、Ｌ８を含む第１の固定レンズ部８、第２の移動レンズ部１１、第３の移動レンズ部１２をそれぞれ保持する第１の固定鏡枠部１５、第２の移動鏡枠１８、第３の移動鏡枠１９の枠壁の、第２の光軌Ｏ２に対し上下方向の一方の一部又は全部（図１(b) の例では下方のレンズ下端部に対応する部分）が切り欠かれて、切欠部１５−１、１８−１、１９−１が形成されている。
【００３２】
そして、この切り欠かれて枠壁が欠如した分だけ強度が弱くなる鏡枠の、第１の固定鏡枠１５のように特に他に補強部分を持たない第２、第３の移動鏡枠１８、１９については、上記の切り欠き部に第２の光軸Ｏ２を挟んで対向する側、つまり上側の枠壁に、外部に突出する後述する凸部を設けている。図において、第２、第３の移動鏡枠１８，１９の上側枠壁がやや厚く見えるのは、上記凸部の断面を示しているためである。
【００３３】
また、更に、第３の移動鏡枠１９については、全体が左右に薄くて弱いので、上記の凸部による補強だけでは不十分の虞があるので、レンズＬ８の下部側に形成されている切欠部１９−１の反対側に形成されているレンズ胴付部から、レンズＬ８の有効光線の範囲外となる左方面の周囲に回り込むように、突設部１９−２が設けられている。
【００３４】
図２は、上記のレンズ装置１を、上方から見た分解斜視図である。
図３は、同じく上記レンズ装置１を天地を逆にして下方から見た分解斜視図である。尚、上記の図２及び図３には、図１(a),(b) に示した構成と同一の構成部分には図１(a),(b) と同一の番号を付与して示している。
【００３５】
上記の図２及び図３に示すように、レンズ装置１は、主固定鏡枠２２を備えている。この主固定鏡枠２２の内外に図２又は図３に示す全ての構成要素が組み付けれて収納されたとき、全体が、対向する長方形の２つの主面と該２つの主面に挟まれた扁平な空間内に構成要素が詰め込まれてなる装置本体の図１(a) に示す外形形状を形成する。
【００３６】
上記の主固定鏡枠２２は、上記２つの主面の少なくとも一方の主面を形成する金属フレーム２３ａを備えている。このレンズ装置１の構成において、他方の主面は開放されている。この金属フレーム２３ａで形成される一方の主面と開放されている他方の主面とで挟まれた扁平な空間の長手方向の一方の側面も、一方の主面の金属フレーム２３ａからほぼ直角に連設される金属フレーム２３ｂで構成される。
【００３７】
また、短手方向の一方の側面（図２、図３では斜め左下方の短手方向側面）も上記主面の金属フレーム２３ａ及び長手方向側面の金属フレーム２３ｂにそれぞれほぼ直角に連設される金属フレーム２３ｃで構成される。
【００３８】
これにより、金属フレーム２３（２３ａ、２３ｂ）は、長手方向（前述した折り曲げられた第２の光軸Ｏ２方向でもある）に直角な断面が、１つの主面と長手方向の１つの側面からなるＬ字型のフレームを構成し、少量の材料で剛性を形成する理想的な構造のフレームとなっている。
【００３９】
この金属フレーム２３の長手方向の両端部には、それぞれ金属フレーム２３にアウトサート成形により一体成型された固定成形部が形成されている。これら２つの固定成形部が、図１(b) にも示した第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６である。
【００４０】
そして、第１の固定鏡枠部１５は図１(b) にも示したプリズムＬ１及び図２と図３には図示を省略しているがレンズＬ２が保持されて固定される。また第２の固定鏡枠部１６には、これも図２と図３には図示を省略しているが図１(b) に示したレンズＬ９が保持されて固定される
これら第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６との間に、図１(b) にも示した３つの移動鏡枠（第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９）が配置される。
【００４１】
これら３つの移動鏡枠及び上記２つの固定鏡枠には、それぞれレンズを保持して固定する接着剤が周囲にあふれ出ないようにする接着剤溜まり部２４（図２参照）が形成されている。この接着剤溜まり部２４は、固定されるレンズの周面と鏡枠との間に形成されている僅かな間隙である。
【００４２】
尚、第３の移動鏡枠１９及び第２の固定鏡枠部１６の接着剤溜まり部は図では陰になって見えない。また、第１の固定鏡枠部１５の接着剤溜まり部も図では定かに見えないが、レンズＬ１と一体なプリズムの側面に対応する部分に設けられている。
【００４３】
上記３つの移動鏡枠が組み込まれるに先立って、ズーム用シャフトカム２５が、主固定鏡枠２２の開放側の長手方向側面の且つ第１の固定鏡枠部１５の側部に近接して配置される。ズーム用シャフトカム２５は、カム部のカム溝が設けられた周面を形成する太径部と、太径部の両端から同軸に突設された細径部２６（２６ａ、２６ｂ）を有しており、撮像素子１４とは反対側端部に突設されている細径部２６ａにはギア２７が固設されている。
【００４４】
ズーム用シャフトカム２５は、第１の固定鏡枠部１５の金属フレーム２３ｃとの一体化融着部に形成されている軸受嵌合孔２８内に一方の細径部２６ａを一旦挿通した後、図の斜め右方に引きながら他方の細径部２６ｂを図では陰になって見えない第１の固定鏡枠部１５に形成されている軸受け孔に嵌入させ、一方の細径部２６ａを軸受嵌合孔２８内において軸受２９と係合させる。これによりズーム用シャフトカム２５は第１の固定鏡枠部１５に対し回転可能に支持される。
【００４５】
ズーム用シャフトカム２５の一方の細径部２６ａの突端には更に径の小さな凸部３１が形成されており、この凸部３１は、一方の細径部２６ａが軸受２９と係合したとき軸受２９から上方外部に突出する。この凸部３１を付勢板バネ３２により押し付勢されることにより、ズーム用シャフトカム２５は上下の軸受けに位置決めされて安定して保持される。
【００４６】
付勢板バネ３２には、ほぼ四角な本体部から切り目によって一部を分離され下方に折り曲げられ更にその先端を水平に折り曲げられて形成された３個の曲がり足部３２−１と、本体部中央を切り欠いて形成された止め切片３２−２、及び本体部から一体に延設された付勢バネ部３２−３とから構成されている。
【００４７】
他方、金属フレーム２３ｃ側には、上記付勢板バネ３２の３個の曲がり足部３２−１に対応する位置に、３個の切欠部３３が形成され、これら３個の切欠部３３に囲まれたほぼ中央に、上記付勢板バネ３２の止め切片３２−２に対応する凸部３４が形成されている。
【００４８】
付勢板バネ３２の３個の曲がり足部３２−１を金属フレーム２３ｃの３個の切欠部３３に係合させながら、付勢板バネ３２の本体部が金属フレーム２３ｃ側に押し込まれると、止め切片３２−２の先端が凸部３４の周面に係止することにより、付勢板バネ３２が金属フレーム２３ｃの外面に位置固定され、その付勢バネ部３２−３の先端部によりズーム用シャフトカム２５の凸部３１が押し付勢されて、位置決めされる。
【００４９】
これにより、ズーム用シャフトカム２５は、その中心軸が主固定鏡枠２２の長手方向すなわち第２の光軸Ｏ２に平行する向きで、第１の固定鏡枠部１５に保持されるプリズムＬ１の近傍に配置され、少なくとも軸方向での一部分がプリズムＬ１の側面に隣接するように配置される。
【００５０】
続いて、ズーム用モータユニット３５が、レンズ（プリズム）Ｌ１の反射面裏側を保持する第１の固定鏡枠部１５の斜面と金属フレーム２３ｃによりに形成される略三角柱形状の空間部（図３参照）に配置され、その減速ギア列３６がズーム用シャフトカム２５のギア２７に係合する。このズーム用モータユニット３５は、ギア軸固定部３７及び止め板固定部３８の２箇所の止め部（図３参照）が、第１の固定鏡枠部１５に形成されている位置決め孔３９及び止め孔４１にネジ止めされることによって第１の固定鏡枠部１５に固定される。
【００５１】
上記に続いて、主固定鏡枠２２に、絞り・シャッタユニット４２が組み付けられる。絞り・シャッタユニット４２は（以下、図２参照）、第２の光軸Ｏ２を形成する反射光の通過光量を規制する絞りとシャッタを備えた絞り・シャッタ部４３と、この絞り・シャッタ部４３の絞りとシャッタとをそれぞれ機械的に駆動するロータリーソレノイド４４及び４５を備えている。
【００５２】
絞り・シャッタ部４３は図１(b) に示した絞りの位置２１に配置され、２個のロータリーソレノイド４４及び４５はズーム用シャフトカム２５の下方に配置される。
更に、この絞り・シャッタユニット４２の下方に、第３の移動鏡枠１９を移動駆動するための振動波リニアモータ４６と磁気センサユニット４７とが、主固定鏡枠２２の短手方向に並んで重なるようにして配置される。
【００５３】
これにより、振動波リニアモータ４６は、ズーム用シャフトカム２５の軸の延長方向の位置で且つ撮像面側に配置される。
磁気センサユニット４７は（図３参照）、磁気センサホルダ４８、磁気センサ４９、磁気スケール５１、及び付勢バネ５２を備えている。
【００５４】
尚、上記の振動波リニアモータ４６と、磁気センサユニット４７については更に詳しくは後述する。
このように、上述した各部材が配置された後、図１(b) に示した移動レンズ部９、１１、及び１２（図２と図３には図示を省略）をそれぞれ接着剤で固定された第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９が組み付けられる。
【００５５】
これらの第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９に保持される図１(b) に示した移動レンズ部９、１１及び１２の各レンズＬ３〜Ｌ８は、図１(b) では側断面図のため定かではないが、レンズは図１(a) に示すレンズ装置１に対して上下（図１(b) でも上下）を切除されて上下の周面が平坦な周面を形成して、レンズを正面で見ると小判形の形状を成している。
【００５６】
そして、第１、第２、第３の移動鏡枠１７、１８、１９のレンズ保持部外周は上記小判形の形状のレンズを保持することに対応して、第２の光軸Ｏ２に沿った上下（図１(a) に示すレンズ装置１における上下、図１(b) に示すレンズユニットでの上下）の周面が平面的に形成されており、これによりレンズ装置１に組み込まれる移動鏡枠の薄型化が図られている。
【００５７】
また、第２、第３の移動鏡枠１８、１９は、更なる薄型化を図るために、レンズを保持する鏡枠の下部（図２では下方の部分、図３では上方の部分）の、レンズ下部の平坦周面部分に対応する枠壁が切り欠かれて図１(b) に示した切欠部１８−１、１９−１が形成され、レンズ後部の平坦周面部分が露出している。
【００５８】
尚、上記の切欠部は、第２の移動鏡枠１８については図２及び図３で見える部分にあるが、第３の移動鏡枠１９については、残る周囲の鏡枠の陰になって定かには見えない。
これら第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９は（図２参照）、それぞれ、軸受部５３（５３−１、５３−２、５３−３）を備え、これらの軸受部５３には、それぞれ、ガイド孔５４（５４−１、５４−２、５４−３）が設けられている。
【００５９】
また、これら第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９には、上記軸受部５３と対向する端部に、それぞれＵ字切欠部５５（５５−１、５５−２、５５−３）を備えている（図３参照）。
【００６０】
更に、第１の移動鏡枠１７の上記軸受部５３−１とＵ字切欠部５５−１とを有する後端部と対向する前端部外面５６と（図２参照）上記軸受部５３−１が配置される側面部５７との境界に形成される段差部５８には、光反射部材５９が貼着されて配置される。
【００６１】
また、第１の移動鏡枠１７の軸受部５３−１に一体に横に突設された部分と、第２の移動鏡枠１８の軸受部５３−２に一体に上に延設された部分に、それぞれカムフォロア６１（６１−１、６１−２）が形成されている。
【００６２】
また、第３の移動鏡枠１９の軸受部５３−３に一体に横方向に立設される側面には光反射部材６２が貼着されている。
また、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９には、上記軸受部５３（５３−２、５３−３）とＵ字切欠部５５（５５−２、５５−３）とを有する後端部と対向する前端部外面に図１(b) で説明した補強用の凸部６３（６３−２、６３−３）が形成されている。この凸部６３は、上述した装置全体を薄型にするために小判形のレンズの後部平坦部分に対応する枠壁が切り欠かれて欠如している鏡枠の強度を補強するために設けられている。
【００６３】
また、上記３個の移動鏡枠のガイド孔５４には、第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６のそれぞれ開口側面と開口主面に最も近接する角部に形成されたガイド軸支持孔６４（６４−１、６４−２）に両端を支持される第１のガイド軸６５が挿通される。
【００６４】
これにより、第１，第２及び第３の移動鏡枠１７、１８及び１９（つまり３個の移動レンズ部９、１１、１２）は、図１(b) に示す光軸Ｏ２方向に移動可能に支持される。
また、第１のガイド軸６５を支持するガイド軸支持孔６４（６４−１、６４−２）が、開口側面と開口主面に最も近接する角部に形成されていることにより、第１のガイド軸６５は、主固定鏡枠２２により形成されるレンズ装置１本体内において、開放された側面と開放された主面とが交わる最外部に可及的に近接して配置される。このように最外部に可及的に近接して配置された第１のガイド軸６５に軸受部５３が支持されることにより、３個の移動鏡枠は、狭い扁平な装置本体内部において空間に無駄なく配置される。
【００６５】
この第１のガイド軸６５の挿通に際しては、第１の移動鏡枠１７の軸受部５３−１と、第２の移動鏡枠１８の軸受部５３−２との間に、押し付勢力を有する圧縮バネ６６が、第１のガイド軸６５に外嵌して介装される。
【００６６】
また、上記３個の移動鏡枠の組み付けに先立って、第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６のそれぞれ金属フレーム２３ｂで構成される閉側面と開口主面とに最も近接する位置に形成された他の２つのガイド軸支持孔６７（図３参照）により両端を支持されて第２のガイド軸６８が配置される。
【００６７】
上記３個の移動鏡枠の組み付けに際しては、上述したＵ字切欠部５５が上記第２のガイド軸６８に横から嵌合して摺動自在に支持された後、その第２のガイド軸６８を支点にして各移動鏡枠を内側に回動させることにより、第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８に配設されているカムフォロア６１が、ズーム用シャフトカム２５のカム溝に滑動自在に嵌入して係合する。
【００６８】
すなわち、ズーム用シャフトカム２５には、複数の鏡枠（この例では第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８）に対応するカム（カムフォロア６１−１、６１−２が係合するカム溝）がそれぞれ形成されている。
【００６９】
上記のようにカムフォロア６１がズーム用シャフトカム２５のカム溝に嵌入することにより、ズーム用シャフトカム２５と第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８とが摺動自在に係合する。
【００７０】
また、これと共に、第１の移動鏡枠１７の上部外面５６（図２参照）が一方の主面を形成している金属フレーム２３ａの裏面に近接して配置され、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９の前端部外面に形成されている補強用の凸部６３が、同じく金属フレーム２３ａに形成されている開口部６９に嵌入する。
【００７１】
この開口部６９は、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９の移動によって移動する移動レンズ（図１(b) のレンズＬ５〜Ｌ８参照）の移動との干渉を回避するために、つまり凸部６３が移動することへの妨害となるのを回避すべく、上記移動レンズの移動ストロークに応じた上下に長い開口部を形成している。
【００７２】
この後、上述した第１のガイド軸６５が各移動鏡枠の軸受部５３のガイド孔５４及び両端部のガイド軸支持孔６４に挿通される。これにより、上記二本のガイド軸（６５、６８）は、ズーム用シャフトカム２５に隣接し且つズーム用シャフトカム２５の軸と平行に配置される。
【００７３】
このように、軸形状部材が、相互に隣接し且つ並行して配置されるので、装置全体の小型化に貢献できる。
これら二本のガイド軸により支持されて、３個の移動鏡枠（１７、１８、１９）が、光軸Ｏ２方向に摺動可能に規制され且つ一方のガイド軸により他方のガイド軸周りの回転を禁止され、光軸Ｏ２に直角方向の位置決めをされて主固定鏡枠２２内に配置される。
【００７４】
また、第１の移動鏡枠１７の軸受部５３−１と第２の移動鏡枠１８の軸受部５３−２との間に圧縮バネ６６が第１のガイド軸６５に外嵌して介装されることにより、第１の移動鏡枠１７と第２の移動鏡枠１８は互いに相反する方向に付勢されている。
【００７５】
これにより、ズーム用シャフトカム２５のカム溝に係合するそれぞれのカムフォロア６１−１、６１−２が、ズーム用シャフトカム２５のカム溝の溝壁のそれぞれ相反する片側に押し付けられるようになり、したがって、ズーム用シャフトカム２５の回転駆動時のカム溝とカムフォロア間に生じる遊びが解消される、これにより、左移動時と右移動時における位置関係が正しく制御される。
【００７６】
上記の配置において、第１のガイド軸６５は、ズーム用シャフトカム２５とほぼ並行に且つ隣接して配置される。
この後、撮像素子１４が第２の固定鏡枠部１６の下面に取り付けられる。また、金属フレーム２３ａと同一面にある第１の固定鏡枠部１５の面の、第１の移動鏡枠１７に取り付けられている光反射部材５９に対応する位置にフォトセンサ取付孔７１が設けられており、このフォトセンサ取付孔７１にフォトセンサ７２が配置される。
【００７７】
このフォトセンサ７２は、第１の移動鏡枠の絶対位置を検知する。その検知した絶対位置からの第１の移動鏡枠の移動距離は、ズーム用モータユニット３５のステップ駆動されるズームモータのステップ数を、不図示の制御装置がカウントすることにより移動位置を検出して決定される。
【００７８】
また、第２の固定鏡枠部１６の開放されている側面に面する側の、第３の移動鏡枠１９に取り付けられている光反射部材６２に対応する位置に、他のフォトセンサ７３が配置される。このフォトセンサ７３は、第３の移動鏡枠１９に取り付けられた光反射部材６２からの反射光を検出して第３の移動鏡枠１９の絶対位置を検知する。
【００７９】
これら絶対位置の決定後、ズーム用モータユニット３５におけるモータの順逆両方向の回転により、ズーム用シャフトカム２５が所定範囲の角度内で順逆両方向に回動する。このズーム用シャフトカム２５の外周に設けられた２つのカム溝に、第１の移動鏡枠１７のカムフォロワ６１−１及び第２の移動鏡枠１８のカムフォロワ６１−２が係合していることにより、上記ズーム用シャフトカム２５の回動に応じて、第１の移動鏡枠１７と第２の移動鏡枠１８（つまり第１の移動レンズ部９及び第２の移動レンズ部１１）が、第２の光軸Ｏ２方向に沿って離接の移動を行って、光軸Ｏ２方向に進む光束の映像に対し縮小／拡大のズームを行う。
【００８０】
また、図１(b) に示した第１、第２の移動レンズ部９、１１の間の絞り位置２１に絞り・シャッタ部４３が配置される絞り・シャッタユニット４２によって、光軸Ｏ２を進行する光束の進路が開閉されるとともに、光学フィルタ（ＮＤフィルタ）によって撮像面への光量が制御される。
【００８１】
続いて、合焦用の第３の移動レンズ部１２を保持する第３の鏡枠の移動を駆動する振動波リニアモータについて説明する。
図４(a) は、本例において用いられる振動波リニアモータの基本構成を示す側面図であり、同図(b) は、その正面図である。同図(c) は、基本構成の他の例を示す側面図、同図(d) は、その正面図である。
【００８２】
本例における振動波リニアモータの同図(a),(b) に示す第１の基本構成は、先ず、直方体形状をした上下２個の振動子本体７１及び７２と、この２個の振動子本体７１及び７２の上下対向する面にそれぞれ振動子本体７１及び７２と一体に形成された又は別体で接着された突起形状の少なくとも１個以上の（図の例では上の振動子本体７１に２個、下の振動子本体７２に１個）の駆動接触部７３（７３−１、７３−２、７３−３）とから成る２個の振動子７４及び７５を備えている。
【００８３】
更に、この振動波リニアモータの基本構成において、上記振動子７４を固定して支持する第１の支持部７６と、振動子７５を揺動可能に支持する弾性部材からなる第２の支持部７７を有し、この第２の支持部７７の弾性より、振動子７４と振動子７５は双方の対向部に向けて相対的に付勢されるように構成される。
【００８４】
そして、第１の振動子としての振動子７４は、駆動接触部７３（７３−２、７３−３）を有する面と反対面を第１の支持部７６に固定されている。
また、この振動波リニアモータの基本構成においては、上記双方の対向部に向けて相対的に付勢されている振動子７４及び７５の駆動接触部７３に圧接されて２つの振動子７４及び７５に挟持されると共に、双方の対向部の相対する方向に直交する長手方向（同図(a) では図面左右方向、同図(b) では図面奥行き方向）に移動可能に支持されたシャフト７８が備えられる。
【００８５】
また、同図(c),(d) に示す本例の振動波リニアモータの他の基本構成は、上記第２の支持部７７の弾性に代えて、押し付勢力を有する圧縮バネ７９が、第１の支持部７６と同様の剛体の支持部７７´と振動子７５の下面との間に介装され、支持部７７´と圧縮バネ７９とで第２の支持部が構成されている。
【００８６】
なお、同図(a),(b) に示す第１の基本構成と同図(c),(d) に示す他の基本構成とは、上記のように第２の支持部の構成が異なるのみであるので、同図(c),(d) には、説明に必要な構成以外の部分には番号の図示を省略している。
【００８７】
上記第２の支持部７７の弾性による付勢力、又は圧縮バネ７９による付勢力は、振動子本体７２の振動の節部となる中央部８０に加えられ、更に振動子本体７１に対して相対的にシャフト７８及び２個の駆動接触部７３を介して振動子本体７１の振動の節部となる中央部８０に加えられるので、上記第２の支持部７７の弾性による付勢力又は圧縮バネ７９による付勢力は、振動子本体７１及び７２の中央より前後（図４(a) の図の左右方向）に均等に配分されて、上下３個の駆動接触部７３がシャフト７８に付勢される。
【００８８】
上記３個の駆動接触部７３は、詳しくは後述するように、少なくとも１つは楕円運動を行なって上記のシャフト７８を相対的に移動させるように構成されている。
ここに示す基本構成のみならず、以下に示す種々の変形例、及び実際の組み立て上がり後の振動波リニアモータにおいても、上記の振動子本体７１及び７２は、それぞれ直方体形状に形成されており、上記のシャフト７８は、その移動方向の長さにおいて各振動子７４及び７５の長さよりも長く形成されている。
【００８９】
また、シャフト７８は、直線形状の形状で中空又はムクの棒状部材からなる。尚、図４(a),(b) ではムクの棒として示している。また、このシャフト７８は、棒状部材の一方の端部から他方の端部まで同一の幅で形成され、図４(a) に示すように断面が円形、つまり同図(b) に示すように全体が円柱形状に形成されている。勿論、円柱形状に限るものではなく、特には図示しないが、相対する駆動接触部の変形例に応じて、三角、四角、その他の多角形の断面を有する柱形状としてもよい。要は一定方向への移動が可能な形状であれば、どのような形状であってもよい。
【００９０】
そして、このシャフト７８に圧接する３個の駆動接触部７３は、シャフト７８の移動方向に沿って配置されている。これらの駆動接触部７３は、シャフト７８との接触部がＵ字形又はＶ字形の断面を有している（図４(a) ではＵ字形、Ｖ字形については後述する）。
【００９１】
このように、本発明の振動波リニアモータによれば、２個の振動子７４及び７５によりシャフト７８を駆動するので、シャフト７８の移動に対して大きな駆動力を伝えることが出来る。
【００９２】
また、上述したように少なくとも２個以上の駆動接触部を有する第１の振動子７４と、少なくとも１個以上の駆動接触部を有する第２の振動子７５とで、上の２個の駆動接触部７３の間に下の１個の駆動接触部７３が配置される形状で、長尺円柱型の被駆動体であるシャフト７８を上下から挟み込み、相互に付勢され且つ２個以上の駆動接触部７３を有する第１の振動子７４が水平にも上下にも回転できない状態で支持部に固定された構成であるので、シャフト７８が上下に傾くことなく且つ駆動接触部７３からの規制によって駆動方向が一定した方向に規制される。
【００９３】
このように振動子７４又は７５の駆動接触部７３によってシャフト７８の駆動方向が規制されるので、シャフト７８を駆動方向に案内する案内部材を別個に設ける必要がないので、すなわち案内部材が不要となるので、部品点数が削減でき小型化の実現、コストの低減に貢献できる。
【００９４】
また、上述したように、第２の支持部７７の弾性による付勢力又は圧縮バネ７９による付勢力は、振動子本体７１及び７２のそれぞれ中央より前後に均等に配分されるので、駆動接触部７３が常にシャフト７８の動きに合わせてシャフト７８に接触していることができ、そのため振動子７４及び７５の駆動力をシャフト７８に正確に効率よく伝えることが可能となる。
【００９５】
また、万一、シャフト７８が傾いた場合でも、下方に配置された第２の振動子４５が揺動自在にシャフト７８に対して付勢されているので、シャフト７８の傾きに追随して常に一定の圧力で付勢が行われ、これによりシャフト７８の駆動を円滑に行うことが出来る。
【００９６】
また、支持部に固定される振動子は、駆動接触部を有する面の反対面が支持部に固定されるので、つまり振動子の一面を利用して支持部に固定されるので、簡単な構成で振動子を固定することが可能となる。
【００９７】
図５(a),(b) は、駆動接触部７３のシャフト７８との接触面の断面形状の例を示す図であり、同図(c),(d),(e) は、駆動接触部の振動子本体への配置例を示す図である。
同図(a) は、図４(a) の場合と同一であり、駆動接触部７３のシャフト７８との接触部がＵ字形（又は円弧状)の断面となっている。そして、同図(b) は、駆動接触部７３のシャフト７８との接触部がＶ字形の断面の場合を示している。いずれの場合も、駆動接触部７３は、シャフト７８との接触面がシャフト７８を半ば抱き込むように凹状に形成されている。
【００９８】
このように、振動子７４及び７５の少なくともいずれか一方（図４(a) 〜(d) に示す例では両方）の駆動接触部７３の形状は、シャフト７８の移動方向を所定の一定方向（同図(a),(c) では図面左右方向、同図(b),(d) では図面奥行き方向）に規制する形状、換言すれば所定の一定方向に案内する形状に設定されている。
【００９９】
なお、同図(a) では、上下２個の振動子７４、７５ともに駆動接触部７３がシャフト７８を抱くＵ字又はＶ字の断面形状に構成されているが、実際にはどちらか一方の振動子の駆動接触部７３だけをシャフト７８を抱く形状に構成してもシャフト７８が案内は可能である。
【０１００】
また、同図(c) は、図４(a),(b) に示したと同一の駆動接触部７３の配置構成であり、この構成を換言すれば、上の振動子７４に設けられた複数の駆動接触部７３の間に、下の振動子７５に設けられた少なくとも１個の駆動接触部７３が対向配置されている、といえる構成である。なお、上記の構成は、全体として見ると、両振動子７４及び７５の上述した振動子本体７１及び７２の振動の節部となる中央部８０を通る直線８１に対称な構成となっていることが分かる。
【０１０１】
また、同図(d),(e) は、配置の上では上下の振動子７４及び７５が共に２個の駆動接触部７３を備えた構成を示しており、この場合も、振動子本体７１及び７２の振動の節部となる中央部８０を通る直線８１に対して対称な構成となっている。また、図示を省略したシャフト７８の中心軸８２にも対称な構成となっている。
【０１０２】
いずれにしても、振動子７４及び７５は、少なくとも振動子本体７１及び７２の振動の節部となる中央部８０を通る直線８１に対称な構成、又はシャフト７８の中心軸８２に対称な構成であることが好ましい。
【０１０３】
また、同図(a) 〜(e) に示す駆動接触部７３は、振動子本体７１又は７２とは別体の部材で構成し、組み立て時に接着によって振動子本体７１又は７２と一体化されるように構成される。
【０１０４】
ここで、本例における振動波リニアモータの振動子本体７１（又は７２、以下同様）の構成を説明する。
図６(a) は、上記振動波リニアモータの振動子本体７１の正面図であり、同図(b) は、その側面図、同図(c) は、同図(a),(b) に示す振動子本体７１の圧電体シートと電極配置を示する図、同図(d),(e) は、振動子本体の他の構成例を２例示す図である。
【０１０５】
同図(a),(b) に示すように、振動子本体７１は、積層された圧電体シート８６から成る圧電体シート層８７とその下方に積層された弾性体シート８８から成る弾性体シート層８９とで構成される。
【０１０６】
圧電体シート層８７の上面と、弾性体シート層８９の下面には、それぞれ絶縁体シート９１が貼着されている。尚、この絶縁体シート９１は、元来が絶縁体である弾性体シート８８と同一部材を用いることもできる。また、図４及び図５に示した駆動接触部７３又は連結型駆動接触部８５は、いずれか一方の絶縁体シート９１のそれぞれ外側面に密着して形成されている。
【０１０７】
上記振動子本体７１の圧電体シート層８７は、主に強制振動を与えるための圧電体部を構成しており、弾性体シート層８９は、圧電体部と合わせて特定の振動モードを励起する励起部を構成している。ただし、圧電体部だけで所望の振動モードを励起することができれば、励起部は必ずしも必要ではない。
【０１０８】
圧電体シート層８７を形成する圧電体シート８６と、弾性体シート層８９の弾性体シート８８は、図６(c) に示す内部電極処理が施されているかいないかの違いだけで、本来は例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の同一材質から成る薄い矩形状のシート部材である。具体的には例えば縦１０ｍｍ、横２．５ｍｍ、高さ（積層方向の厚さ）８０μｍの形状を有している。
【０１０９】
尚、本例において使用するＰＺＴ材は、Ｑｍ値が２０００というように大きいハード系材料が選択されて使用される。弾性体シートも同様である。また、圧電体シート層８７と弾性体シート層８９を上下から挟持する絶縁体シート９１は、同じＰＺＴ材で、厚さは４０μｍの形状である。これらの絶縁体シートは圧電体シートと同一材料ではあるが電極が設けられていないので未分極状態であり、圧電性は無く、したがって、実質的に絶縁体としての特性を有している。
【０１１０】
圧電体シート層８７の圧電体シート８６は、内部電極処理が施された電極のパターンのみが異なる２種類のシート状圧電素子で構成される。これら２種類の圧電体シート８６は同図(c) に示すように、一方は左右二方に分けてほぼ全面にＡ＋内部電極箔９４とＢ−内部電極箔９５を形成された圧電体シート８６ｍである。上記Ａ＋内部電極箔９４とＢ−内部電極箔９５には、それぞれ左右両端に近い位置に、外部と接続するための端子９４−１と端子９５−１が圧電体シート８６ｍの一方の側方に突出して形成されている
他方は同じく左右二方に分けてほぼ前面にＡ−内部電極箔９６とＢ＋内部電極箔９７を形成された圧電体シート８６ｎである。上記Ａ−内部電極箔９６とＢ＋内部電極箔９７には、それぞれ左右の中央に近い位置に、外部と接続するための端子９６−１と端子９７−１が圧電体シート８６ｎの上記と同じ一方の側方に突出して形成されている。
【０１１１】
上記の内部電極箔は、その電極材料としては銀パラジウム合金もしくは銀が用いられ、例えば蒸着とフォトリソグラフィー技術によって、厚さ４μｍの形状となるように形成されている。
【０１１２】
本例では、圧電体シート層８７は、これら２種類の圧電体シート８６ｍと８６ｎとを、それぞれ２４枚づつ合計４８枚のシート層として、交互に重ねて構成されている。
このようにして、最上部と最下部を除く中間部では、一枚の内部電極箔が自身が形成されている圧電体シート８６（８６ｎ又は８６ｍ）と、自身に接する圧電体シート８６（８６ｍ又は８６ｎ）の両方へ反対電位の電圧を印加する内部電極を構成している。
【０１１３】
上記のＡ＋内部電極箔９４、Ａ−内部電極箔９６、Ｂ＋内部電極箔９７、及びＢ−内部電極箔９５からそれぞれ圧電体シート８６（８６ｍ、８６ｎ）の一方の側方に突出して形成されている外部接続用の端子９４−１、９５−１、９６−１及び９７−１は、同図(a) に示す振動子本体７１の一方の側面において、焼き付け銀より成るＡ＋電極接続外部端子９８、Ａ−電極接続外部端子９９、Ｂ＋電極接続外部端子１０１、及びＢ−電極接続外部端子１０２にそれぞれ接続されている。
【０１１４】
上記の一方のＡ＋電極接続外部端子９８とＡ−電極接続外部端子９９はＡ相電極として構成され、他方のＢ＋電極接続外部端子１０１とＢ−電極接続外部端子１０２はＢ相電極として構成されている。尚、この場合、Ａ−電極接続外部端子９９とＢ−電極接続外部端子１０２は、それぞれＡ相とＢ相のグラウンド（ＧＮＤ）接続用として構成するものであるので、その場合は同一のリード線等に接続して電気的に同電位となるように構成しても良い。これらＡ相とＢ相の電極接続外部端子を介して特には図示しない駆動回路から電圧が圧電体シート層８７に印加されて、振動子本体７１は後述する超音波楕円振動を発生する。
【０１１５】
尚、本例における振動子本体７１の寸法は、例えば、長手方向の寸法が１０ｍｍ、短手方向の寸法が２ｍｍ、そして高さが２．５ｍｍの形状で構成されている。この振動子本体７１には、図６(a) に示すように、上記のＡ相電極とＢ相電極のほぼ中間つまり図４(b) 及び図５(c),(d),(e),(g) に示した振動の節部となる中央部８０の位置に、ピン部材取り付け孔１０３が形成されている。このピン部材取り付け孔１０３については後述する。
【０１１６】
また、圧電体部としては必ずしも圧電体シート層８７でなくても以下のようなものでもよい。図６(d) は圧電体部として、積層圧電体又は圧電素子からなる圧電体１０５と、たとえば真鍮材からなる振動子本体主要部１０６、振動子本体部品１０７とを接着結合して振動子本体としたものである。振動子本体主要部１０６、振動子本体部品１０７が励起部をなす。
【０１１７】
また、図６(e) は、直方体形状のたとえば真鍮部材の弾性体部１０８に薄い単板圧電体１０９を接着した構成を示している。弾性体部１０８が励起部をなす。これらの部材の接着時には十分な押圧をかけて接着することが、振動伝達効率を上げるために重要である。
【０１１８】
図７(a),(b) は、上記の構成において電極への電圧印加により発振駆動される振動波リニアモータ７０の振動子本体７１の超音波楕円振動を模式的に説明する斜視図であり、同図(c) は、同図(b) の２次の屈曲振動を分かり易く振動子本体の輪郭線のみで示す図である。
【０１１９】
先ず、図６(a) に示した振動子本体７１のＡ相電極９８，９９、及びＢ相電極１０１、１０２に、同位相である共振周波数近傍の交番電圧を印加すると、図７(a) に示すように、振動子本体７１には、静止位置１１１と共振縦振動位置１１２からなる１次の縦振動が励起される。この場合、振動子本体７１は長手方向に伸縮すると共に、中央部の上下左右の寸法が伸縮する。
【０１２０】
また、図６(a) において、上記Ａ相電極９８，９９、及びＢ相電極１０１、１０２に、逆位相である共振周波数近傍の交番電圧を印加すると、図７(b) に示すように、振動子本体７１には、静止位置１１３と共振屈曲振動位置１１４からなる２次の屈曲振動が励起される。
【０１２１】
これらの振動は、有限要素法を用いてコンピュータ解析することにより予想されたものであるが、実際の超音波振動測定の結果でも、それらの予想が実証された。
尚、図７(c) では、静止位置１１３と共振屈曲振動位置１１４のほかに、図４(b) に示した振動子本体７１に配置された駆動接触部７３−１及び７３−２の構成の場合の２つの駆動接触部の動きを上部に示し、これまでの図では未だ示していなかったが、２つの駆動接触部の振動子本体の長手方向両端に配置した場合の２つの駆動接触部の動きを下部に示している。
【０１２２】
このように、振動子から被駆動体（シャフト）に効率良く動力を伝達するためには、駆動接触部は、振動子の被駆動体との対向方向の振動が最も高くなる位置又はその近傍に固定されて配置されることが望ましい。
【０１２３】
また、図７(a),(b) には、同図(c) に示す振動の節部（振動が極小になる節の位置）となる中央部８０の位置に形成された図６(a),(d),(e) に示したピン部材取り付け孔１０３に取り付けられたピン部材１１５を示している。
【０１２４】
尚、本実施の形態では、共振周波数に関して、屈曲２次振動の共振周波数を縦１次振動の共振周波数より数％程度（望ましくは３％程度）低くなるように設計している。このように構成することで、後述するように振動波リニアモータとしての出力特性を大幅に向上させることができる。
【０１２５】
次に、振動子本体７１のＡ相電極９８，９９、及びＢ相電極１０１、１０２に位相がπ／２だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加すると、振動子本体７１の図７(c) に示す振動子本体の長手方向両端に配置した２個の駆動接触部７３の位置と、振動子本体７２の図７(c) に示す端部と中央とのほぼ中間に配置した２個の駆動接触部７３の位置とで、楕円振動を観測することが出来た。
【０１２６】
この場合、振動子本体７１の底面にある駆動接触部７３の位置での超音波振動による楕円振動の回転の向きと、振動子本体７２の上面に配置してある駆動接触部７３の位置での超音波振動による楕円振動の回転の向きとは逆になる。（図８参照。）
図８(a),(b) は、位相がπ／２だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加したときの振動子の駆動接触部の楕円振動を模式的に示す図である。尚、同図(a),(b) に示す連結型駆動接触部８５の駆動接触部７３の配置が上下で異なるが、同一の番号で連結型駆動接触部８５として示している。また、駆動接触部７３が、それぞれが単独の駆動接触部である場合も以下に説明する楕円振動の動きは同一である。
【０１２７】
図８(a) は、Ａ相電極９８，９９が、Ｂ相電極１０１、１０２よりも、印加される交番電圧の位相がπ／２だけ進んでいる場合の動作を示しており、振動子本体７１の底面の駆動接触部７３は時計回り方向の回転をしており、他方、振動子本体７２の上面の駆動接触部７３は反時計回り方向の回転をしている。
【０１２８】
そして、図８(b) は、Ａ相電極９８，９９が、Ｂ相電極１０１、１０２よりも、印加される交番電圧の位相がπ／２だけ遅れている場合の動作を示しており、振動子本体７１の底面の駆動接触部７３は反時計回り方向の回転をしており、他方、振動子本体７２の上面の駆動接触部７３は時計回り方向の回転をしている。
【０１２９】
このように、同じ振動子の駆動接触部は同じ向きに回転するような位置に配置し、且つ対向側の振動子の駆動接触部は反対向きに回転する位置に配置されることが好ましい。これにより最も効率よくシャフト７８に対する駆動力を取り出すことができるようになる。
【０１３０】
すなわち、上記振動子本体７１及び７２の縦振動と屈曲振動とから合成される楕円振動が、４個の駆動接触部７３を介してガイド軸７８に作用し、シャフト７８が、振動子本体７１及び７２の各駆動接触部７３の接触面によるガイドに従って、図４(a),(b) で示した同図(a) の図面奥行き方向、同図(b) では図面左右方向に進退移動する。これが、本発明における振動波リニアモータの動作原理である。
【０１３１】
尚、本実施の形態では、圧電体部が、Ａ相電極９８，９９が配設されるＡ相とＢ相電極１０１、１０２が配設されるＢ相の２個所で構成されているが、圧電体部は２個所と限ることなく、縦振動と屈曲振動を起こさせることができれば３個所以上であってもよい。
【０１３２】
また、本例では、振動子本体７１が、ほぼ直方体形状であるので、このような場合は、縦振動と屈曲振動により上記の駆動力が得られるが、駆動接触部に楕円振動を起こして駆動力を得られるのであれば、振動子は他の形状でもよい。また、１または複数の、同じまたは整数倍の周波数のモードを同時に励起しても、同じような振動運動を得ることができる。
【０１３３】
更に、駆動接触部は、振動波リニアモータとして最も高レベルの出力特性が得られる任意の位置、すなわち、振動子本体７１又は７２の最も高レベルの超音波楕円振動が行われる位置に設けられるのが望ましいが、一般には、楕円振動を行うことが駆動の源となるため少なくとも１個以上の駆動接触部では楕円振動が起こっており、少なくとも全ての駆動接触部の部位で生ずる振動による駆動力の総和が０にならないように駆動接触部を配置すればよい。
【０１３４】
また、全ての駆動子の位置で楕円運動が起こっている必要はなく、単振動または逆方向の振動が起こってもいても、各振動子からの駆動力の総計が０でなく、ある１方向への駆動力となっていればよい。
【０１３５】
いずれにしても、電極の配置位置、交番電圧の印加タイミング、駆動接触部の配置位置を適宜に設定することにより、上下２つの振動子を用いて最小限の入力電圧でシャフト７８の駆動が可能である。
【０１３６】
また、図８(a),(b) の示す振動子７１の例では、駆動接触部７３が振動子本体７１の長手方向両端部に形成されているが、このような場合、被駆動体である図４等に示すシャフト７８は、その移動方向の長さにおいて振動子の複数の駆動接触部（図８の例では２個）の最大配置長よりも長く形成されていなければならないということになる。
【０１３７】
＜実施形態１〜６＞
図９(a),(b) 、図１０(a),(b) 、図１１(a),(b) 、図１２(a),(b) 、図１３(a),(b) 及び図１４(a),(b) は、それぞれ振動波リニアモータの基本構成に基づく様々な実施形態を示す側面図及び正面図又は分解斜視図及び組立て上がり斜視図である。尚、これらの図において、図４(a) 〜(d) に示した基本構成と同一の構成部分には図４(a) 〜(d) と同一の番号を付与して示している。
【実施例１】
【０１３８】
図９(a),(b) は、実施形態１としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図９(a),(b) に示すように、本例では、第１の支持部７６及び第２の支持部７７にそれぞれ固定され、振動子７４及び７５をそれぞれ両側から挟むように配置された断面がコの字形の支持係合部材１１６が設けられる。この支持係合部材１１６のピン受け孔１１６−１が、振動子７４及び７５のピン部材取り付け孔（図６(a),(d),(e) のピン部材取り付け孔１０３参照）に挿入されたピン部材１１５（図７(a),(b) のピン部材１１５も参照）の両端に係合している。
【０１３９】
この構成においては、断面がコの字形の支持係合部材１１６に両側から挟まれて支持されている振動子７４はピン部材１１５と支持係合部材１１６が接着されていることから、水平及び上下のいずれの方向にも回転することはできない。しかし、振動子７５は支持係合部材１１６を支点としてシーソー状に揺動可能である。
【０１４０】
また、ここでは、第２の支持部７７の弾性が、図４(a),(b) に示したように振動子７４を直接付勢するのではなく、上記の支持係合部材１１６に当接し、これにより支持係合部材１１６及びピン部材１１５を介して振動子７４を付勢している。
【０１４１】
このように、振動子本体７１の振動の節部となる中央部８０に形成されているピン部材取り付け孔に挿通されているピン部材１１５を介して振動子７５を付勢するので、振動子本体の共振による変位を阻害しない構成で、振動子を簡単にシャフト７８に付勢することが可能である。また、振動子本体の変位しない中心部で付勢するので、振動子を均一にシャフトへ付勢でき、これにより、シャフト７８の安定した駆動が可能となる。このことは、複数の駆動接触部が図８のように配置され、シャフトへ付勢されている場合でも同様である。
【実施例２】
【０１４２】
図１０(a),(b) は、実施形態２としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図１０(a),(b) に示す振動波リニアモータは、図９(a),(b) の構成において、振動子７４の支持係合部材１１６のピン受け孔１１６−１にピン部材１１５の両端が接着されている。これにより、振動子７４は、図９(a),(b) の場合のように水平方向に回転することができないだけでなく図１０(a),(b) では上下方向の揺動も禁止される。
【０１４３】
すなわち、本例では、振動子７４は、図４(a),(b) に示したように駆動接触部７３（７３−２、７３−３）を有する面と反対面によって第１の支持部７６に直接固定されるのではなく、図１０(a),(b) に示すように、ピン部材１１５及び支持係合部材１１６を介して第１の支持部７６に完全に固定される。
【０１４４】
他方の振動子７５は、これも図４(a),(b) に示したように駆動接触部７３（７３−１）を有する面と反対面によって第２の支持部７６から付勢されながら支持されるのではなく、図１０(a),(b) に示すように、振動子７４と同じく両側から挟むように配置された断面がコの字形の支持係合部材１１７の、ピン受け孔の代わりに形成されたＶ字形の係合部１１７−１のＶ字の谷によって、振動子本体７２のピン部材取り付け孔（図６(a),(d),(e) のピン部材取り付け孔１０３参照）に挿入されたピン部材１１５（図７(a),(b) のピン部材１１５も参照）の両端を下方から支持されている。
【０１４５】
そして、支持係合部材１１７が、剛体の支持部７７´と圧縮バネ７９から成る第２の支持部７７により上方に付勢されていることにより、振動子７５は、振動が極小になる節の位置に固定されたピン１１５を介してシャフト７８に対して付勢されているという形態となっている。
【０１４６】
上述した図９(a),(b) 及び図１０(a),(b) いずれの場合も、振動子の振動が極小になる節の位置にあるピンを利用して振動子を固定するため、振動子の振動モードを阻害することない。そのため、振動子の駆動力を被駆動体であるシャフトにより多く、つまりより強く伝達することができる。これにより、駆動力の効率が向上する。
【０１４７】
なお、振動子７５は、揺動自在に固定されているため、シャフト７８の寸法、動きに合わせて振動子７５が姿勢を変えることができるので、シャフト７８の駆動を円滑に行うことができる。
【０１４８】
また、上記のように２つの振動子を、振動子の振動が極小になる節の位置にあるピンを利用して振動子を完全に固定又は揺動自在に位置固定する形態は、後述する図１１乃至図１４において示す実施の形態においても同様である。
【実施例３】
【０１４９】
図１１(a),(b) は、実施形態３としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図１１(a),(b) に示すように、本例の振動波リニアモータは、振動子７４を、図１０(a),(b) の場合と同様に第１の支持部７６に固定している。そして、振動子７５は、第１の支持部に固定した振動子７４に固定されたピン１１５から引っ張りバネ１１８等の引き付勢部材により、振動子７５に固定されたピン１１５を介して揺動自在にシャフト７８に付勢されている。
【０１５０】
このように、本例では、２個の振動子７４及び７５を、それぞれに固定されているピン１１５を用いてシャフト７８に付勢しているので、振動子７４及び７５の中心位置を合わせてシャフト７８に付勢することが可能であり、また、全体構成を小型化することが可能である。
【実施例４】
【０１５１】
図１２(a),(b) は、実施形態４としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図１２(a),(b) に示す振動波リニアモータは、下方に位置する振動子７５の振動本体７２の振動態様を屈曲振動のみにして、節の位置を２箇所とする。そして、これら２箇所の節の位置にそれぞれピン１１５を固定する。
【０１５２】
そして、これら２個のピン１１５と剛体の支持部７７´に固設された２個の支持係合部材１１７のＶ字形の係合部１１７−１のＶ字の谷との係合により、振動子７５が支持係合部材１１７を介して支持部７７´に固定されている。
【０１５３】
他方、上方に位置する振動子７４については、振動子７５に固定したピン１１５を介して１個の支持係合部材１１７及び圧縮バネ７９を介して揺動自在にシャフト７８に付勢されて第１の支持部に位置固定されている。
【０１５４】
このように、本例では、下に位置する振動子７５を２点で支持するため、ピン１１５を支持部７７´に接着等で固定しなくても、振動子７５を水平方向にも上下方向にも回転の力が加わらないように固定できる。
【実施例５】
【０１５５】
図１３(a),(b) は、実施形態５としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図１３(a),(b) に示す振動波リニアモータは、下方に位置する振動子７５の振動本体７２の振動態様を屈曲振動のみにして節の位置を２箇所とし、これら２箇所の節の位置にそれぞれピン１１５を固定し、これら２個のピン１１５と剛体の支持部７７´に固設された２個の支持係合部材１１７のＶ字形の係合部１１７−１のＶ字の谷との係合により、振動子７５が支持係合部材１１７を介して支持部７７´に固定される点においては図１２(a),(b) の場合と同様である。
【０１５６】
本例において図１２(a),(b) の場合と異なる点は、振動子７５の２箇所に所設けたピン１１５間に、弾性力の小さいループ状の糸状部材１１９を掛け渡し、この糸状部材１１９の上方中間部と、上方に位置する振動子７４のピン１１５とに引っ張りバネ１１８を掛け渡して振動子７４をシャフト７８に付勢する。
【０１５７】
このように。本例では、各々の振動子７４及び７５に固定されたピン１１５を、ループ状の糸状部材１１９及び引っ張りバネ１１８により相互に引っ張り、シャフトに付勢するので、装置が小型化に有効である。
【０１５８】
また、２個の振動子７４及び７５とも支持部に固定せずとも水平及び上下方向への回転力が働かず、シャフト７８を一定方向（同図(a) では図面左右方向、同図(b) では図面奥行き方向）へ確実に規制又は案内することができる。
【０１５９】
尚、上述した第１乃至第５の実施形態においては、一方の振動子の駆動接触部を２個とし、他方の振動子の駆動接触部を１個として説明してきたが、基本形態の説明において図５(d),(e) にも示したように、振動子７４及び７５とも駆動接触部７３をそれぞれ２個の構成としても良いことは勿論である。
【０１６０】
この場合、駆動接触部７３の配設位置は、図５(d),(e) にも示したように、シャフト７８を介して対向する位置にくるようにするとよい。また、これらそれぞれ２個の駆動接触部７３の配置位置は、振動子７４又は７５の長さ範囲内で、振動子７４又は７５の駆動力を伝達できる場所に在れば、どの位置に在っても良い。
【０１６１】
また、シャフト７８を介して対向する位置（面）でさえあれば、図５(d),(e) に示したように個々の駆動接触部７３同士が対向している必要はなく、一方の振動子の駆動接触部の配置が図５(d) のようであって、他方の振動子の駆動接触部の配置が図５(e) のようであってもよい。
【０１６２】
このように、駆動接触部を各振動子ともに２個とすることにより、駆動力を向上させることが可能となる。また、駆動接触部が１個のときと比較して安定性が増加すると共にシャフトへの案内性がより向上する。更に、図５(e) に示すように２個の駆動接触部が振動子の両端に有る場合は、シャフトへの案内性はより向上する。
【実施例６】
【０１６３】
図１４(a) は、は実施形態６としての振動波リニアモータの構成を示す分解斜視図、同図(b) はその組立て上がり状態を示す斜視図である。同図(a),(b) に示すように、振動波リニアモータ１２０は、先ず、図４乃至図１３に示した直方体形状をした振動子本体７１及び７２と複数（図１４(a),(b) の例ではそれぞれ２個）の駆動接触部７３とから成る振動子７４及び７５を備えている。これらの振動子７４及び７５の振動の節部となる中央部には、それぞれピン部材１１５が挿通され、その両端は振動子７４及び７５の両側面からそれぞれ外部に突出している。
【０１６４】
これらの振動子７４及び７５を上部と下部に収容して長手方向（同図(a),(b) の斜め左下から斜め右上方向）への移動を禁止する一方で、長手方向の両面にシャフト７８が挿通されるシャフト挿通孔１２１−１、１２１−２を形成されているハウジング１２２が備えられる。ハウジング１２２の上部と下部に収容される振動子７４及び７５の間に、ハウジング１２２のシャフト挿通孔１２１−１、１２１−２を挿通されたシャフト７８が介装される。
【０１６５】
上記のハウジング１２２の上下から、ハウジング１２２の上部と下部を抱き込むように付勢係合部材１２３−１、１２３−２が組み合わせられる。付勢係合部材１２３−１、１２３−２の長手方向の一方の端部（同図(a),(b) の斜め右上方向端部）には、それぞれ係止ピン孔１２４−１、１２４−２が形成されており、これらの係止ピン孔に対応して、ハウジング１２２の上部と下部の長手方向の一方の端部にも、それぞれ係止ピン孔１２５−１、１２５−２が形成されている。
【０１６６】
これら上方の付勢係合部材１２３−１の係止ピン孔１２４−１とハウジング１２２上部の係止ピン孔１２５−１に連結止めピン１２６−１が挿通される。この連結止めピン１２６−１を支点にして付勢係合部材１２３−１が揺動自在にハウジング１２２の上端部に係止する。
【０１６７】
他方、下方の付勢係合部材１２３−２の係止ピン孔１２４−２とハウジング１２２下部の係止ピン孔１２５−２に連結止めピン１２６−２が挿通される。この連結止めピン１２６−２を支点にして付勢係合部材１２３−２が揺動自在にハウジング１２２の下端部に係止する。
【０１６８】
また、付勢係合部材１２３−１、１２３−２の長手方向の他方の端部（同図(a),(b) の斜め左下方向端部）には、それぞれ付勢用ピン孔１２７−１、１２７−２が形成されている。これら付勢用ピン孔１２７−１、１２７−２には、それぞれ付勢用係合ピン１２８−１、１２８−２が挿通される。
【０１６９】
付勢用係合ピン１２８−１の外部に突出する両端部には、それぞれ円周に沿って切り欠かれた止め溝１２８−１ａ、１２８−１ｂが形成されており、他方の付勢用係合ピン１２８−２の外部に突出する両端部にも、それぞれ円周に沿って切り欠かれた止め溝１２８−２ａ、１２８−２ｂが形成されている。
【０１７０】
同図(b) には定かには示していないが、上記付勢用係合ピン１２８−１の手前側の止め溝１２８−１ａと付勢用係合ピン１２８−２の手前側の止め溝１２８−２ａに、引き付勢力を有する一方の螺旋バネ１２９−１の両端がそれぞれ係止し、上記付勢用係合ピン１２８−１の向う側の止め溝１２８−１ｂと付勢用係合ピン１２８−２の向う側の止め溝１２８−２ｂ（いずれも同図(b) では他部材の陰になって見えない）に、引き付勢力を有する他方の螺旋バネ１２９−２の両端がそれぞれ係止する。
【０１７１】
これにより、上の付勢係合部材１２３−１は、連結止めピン１２６−１を支点にして全体が下方に付勢され、その係合部１２３−１−１が、上の振動子７４のピン部材１１５に係合して振動子７４を下方に付勢し、下の付勢係合部材１２３−２は、連結止めピン１２６−２を支点にして全体が上方に付勢され、その係合部１２３−２−１が、下の振動子７５のピン部材１１５に係合して振動子７５を上方に付勢する。
【０１７２】
これらの振動子７４と振動子７５に押圧挟持されるシャフト７８の一方の端部（図１４(a),(b) の斜め右上方向の端部）には、ナット１３１が固定され、そのナット１３１には駆動係合ピン１３２がシャフト７８の軸に直角に且つ水平に且つ向う向き（同図(a),(b) では斜め左上向き）に固定して取り付けられる。
【０１７３】
尚、駆動係合ピン１３２の長く延び出す先端は、同図(b) では他部材の陰になって見えない。この駆動係合ピン１３２は、シャフト７８が振動子７４と振動子７５により長手方向に進退駆動されることに応じて、そのシャフト７８の動作に従って移動する。
【０１７４】
図１５(a) は、上記振動波リニアモータ１２０と、第３の移動鏡枠１９との連結方法を説明する斜視図であり、同図(b) は、その連結部のみを取り上げて示す拡大斜視図である。尚、同図(a) は、図３において振動波リニアモータ４６（図１５(a) では１２０）と第３の移動鏡枠１９を見た図である。また、図１５(a) は、シャフト７８の端部のナット１３１に斜め左上向う側に突設されている駆動係合ピン１３２を、その突設側方向に、分かり易いようにナット１３１から脱離させて示している。
【０１７５】
図１６(a) は、図１５(b) を矢印ｃ方向に見た図、図１６(b) は図１５(b) のＡ−Ａ´矢視断面図である。尚、図１６(b) には駆動係合ピン１３２と共にシャフト７８とナット１３１の断面も示している。
【０１７６】
図１５(a) に示すように、第３の移動鏡枠１９は、第３の移動レンズ部１２を保持する鏡枠本体１３３と軸受け部５３−３と、この軸受部５３−３から下方に突設された係合突設部１３４から構成されている。係合突設部１３４のほぼ中央部には鏡枠本体１３３が光軸Ｏ２に沿って移動する移動方向に並行する方向に長い長孔１３５が穿設されている。
【０１７７】
この長孔１３５には（以下、図１６(a),(b) も参照）、移動出力取出用の駆動係合ピン１３２を第３の移動鏡枠１９との当接個所（係合突設部１３４の長孔１３５）に付勢する板バネ１３６が図の向う側から係合する。
【０１７８】
板バネ１３６は、平らな本体部１３６−１と、この本体部１３６−１の下方から手前と上方に２段に折り曲げられたけ係止部１３６−２と、本体部１３６−１の左横から手前に折り曲げられた付勢部１３６−３とで構成されている。
【０１７９】
この板バネ１３６は、その係止部１３６−２が、第３の移動鏡枠１９の長孔１３５が形成されている係合突設部１３４の下端部を向う側から回り込むように挟みつけて係合突設部１３４に係止する。これにより、板バネ１３６の本体部１３６−１が長孔１３５の向う側開口面に密着し、付勢部１３６−３が長孔１３５内の所定の位置に向う側から挿入される。付勢部１３６−３と長孔１３５の左端部間には移動出力取出用の駆動係合ピン１３２が挿通されるだけの間隙が形成されている。
【０１８０】
第３の移動鏡枠１９の鏡枠本体１３３の向う側の側面１３３−１と、係合突設部１３４の手前側の面との間には、ちょうど振動波リニアモータ１２０の振動子本体７１及び７２の図６に示したＡ＋電極接続外部端子９８、Ａ−電極接続外部端子９９、Ｂ＋電極接続外部端子１０１、及びＢ−電極接続外部端子１０２に接続されるフレキシブル基板が配置されるだけの空隙が形成されている。
【０１８１】
この空隙に振動波リニアモータ１２０が配置されたとき、その移動出力取出用の駆動係合ピン１３２が、図１５(b) に示すように、付勢部１３６−３と長孔１３５の左端部間に形成されている間隙に挿通される。
【０１８２】
この係合により、移動出力取出用の駆動係合ピン１３２は、長孔１３５内において、第２の光軸Ｏ２方向への動きを禁止され、図１５(a) では図示を省略している図２に示した金属フレーム２３ａに図１４(b) に示したハウジング１２２が固定配置される振動波リニアモータ１２０のシャフト７８の第２の光軸Ｏ２方向への移動を忠実に第３の移動鏡枠１９に伝達する。
【０１８３】
また、駆動係合ピン１３２は、他方では、上記の係合において、上下の動きには遊びが許されている。この遊びにより、振動子本体７１及び７２とシャフト７８の、振動子本体７１又は７２のピン部材１１５を中心とする上下方向の斜揺動等が吸収される。
【０１８４】
また、これにより、移動出力取出用の駆動係合ピン１３２は、上記のようにシャフト７８の第２の光軸Ｏ２方向への移動の向きと力を第３の移動鏡枠１９に正確に伝達する一方で振動子本体７１及び７２の楕円振動等による上下動に影響されるシャフト７８の上下動に応じた上下動は長孔１３５内における上下動で吸収し、第３の移動鏡枠１９に伝達することはない。
【０１８５】
このように、本例ではシャフト７８と第３の移動鏡枠１９間の連結には、一方でシャフト７８にナット１３１を介して固定され、他方では板バネ１３６の付勢力により第３の移動鏡枠１９鏡枠との当接個所（係合突設部１３４の長孔１３５）に当接するのみの移動出力取出用の駆動係合ピン１３２による連結状態を形成して、これによりシャフト７８の移動力（駆動力）を第３の移動鏡枠１９の移動に伝達するようにしている。
【０１８６】
このように、駆動係合ピン１３２は、振動波リニアモータ１２０を或る電子機器、装置等に搭載した場合に、シャフト７８の移動駆動力を外部（電子機器内の移動駆動機構、装置内の被移動駆動物）へと伝達するための移動駆動伝達手段である。
【０１８７】
また、リニア駆動させることで、レンズ鏡枠などの直線移動を行う部材を直接に駆動することが可能となり、機械損失が低減でき、高効率な駆動を実現することができるようになる。
【０１８８】
また、カメラの鏡枠を被駆動体としたときは、リニア駆動によりレンズ鏡枠つまりレンズを直接駆動出来るため合焦時間を短くすることができ、迅速な撮影動作に対処することが容易に出来るようになる。
【０１８９】
ところで、前述の図４(a),(b) において、本例における振動波リニアモータは、シャフト７８と２つの振動子７４及び７５とは相対的に移動する関係にあると説明した。
これを図１５(a) で説明すると、図１５(a) の場合は固定されたハウジング１２２に対して移動するシャフト７８によって、このシャフト７８にナット１３１及び駆動係合ピン１３２を介して連結された第３の移動鏡枠１９が移動するが、例えばシャフト７８の移動方向の前後の端部を、シャフト７８の振動を阻害しない弾性部材で挟持し、この弾性部材を金属フレーム２３ａに固定し、ハウジング１２２との固定連結部を第３の移動鏡枠１９の適宜の部位に形成する。
【０１９０】
そうすれば、シャフト７８は固定配置となり、このシャフト７８に対して相対的に振動子７４及び７５つまりハウジング１２２が移動することになり、すなわちハウジング１２２に固定連結された形の第３の移動鏡枠１９の方が移動するようになる。
【０１９１】
そのような構成にすることも可能であり、従ってシャフト７８と２つの振動子７４及び７５とは相対的に移動する関係にあると説明したものである。
【図面の簡単な説明】
【０１９２】
【図１】(a) は本発明の振動波リニアモータを搭載したレンズ装置を示す外観斜視図、(b) は(a) に示すレンズ装置のＡ−Ａ´矢視断面を(a) の矢印ａ方向から見たレンズユニット各部の概略の構成を示す図である。
【図２】レンズ装置を上方から見た分解斜視図である。
【図３】レンズ装置を天地を逆にして下方から見た分解斜視図である。
【図４】(a) は本例において用いられる振動波リニアモータの基本構成を示す側面図、(b) はその正面図、(c) は基本構成の他の例を示す側面図、(d) はその正面図である。
【図５】(a),(b) は駆動接触部のシャフトとの接触面の断面形状の例を示す図、(c),(d),(e) は駆動接触部の振動子本体への配置例を示す図である。
【図６】(a) は振動波リニアモータの振動子本体の正面図、(b) はその側面図、(c) は(a),(b) に示す振動子本体の圧電体シートと電極配置を示する図、(d),(e) は振動子本体の他の構成例を２例示す図である。
【図７】(a),(b) は電極への電圧印加により発振駆動される振動波リニアモータの振動子本体の超音波楕円振動を模式的に説明する斜視図、(c) は(b) の２次の屈曲振動を分かり易く振動子本体の輪郭線のみで示す図である。
【図８】(a),(b) は位相がπ／２だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加したときの振動子の駆動接触部の楕円振動を模式的に示す図である。
【図９】(a),(b) は実施形態１としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１０】(a),(b) は実施形態２としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１１】(a),(b) は実施形態３としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１２】(a),(b) は実施形態４としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１３】(a),(b) は実施形態５としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１４】(a) は実施形態６としての振動波リニアモータの構成を示す分解斜視図、(b) はその組立て上がり状態を示す斜視図である。
【図１５】(a) は振動波リニアモータと第３の移動鏡枠との連結方法を説明する斜視図、(b) はその連結部のみを取り上げて示す拡大斜視図である。
【図１６】(a) は図１５(b) を矢印ｃ方向に見た図、(b) は図１５(b) のＡ−Ａ´矢視断面図である。
【符号の説明】
【０１９３】
１ レンズ装置
２ 回路基板
８ 第１の固定レンズ部
９ 第１の移動レンズ部
１１ 第２の移動レンズ部
１２ 第３の移動レンズ部
１３ 第２の固定レンズ部
１４ 撮像素子
Ｌ１ プリズム一体化レンズ
Ｌ２、Ｌ９ 固定レンズ
Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７、Ｌ８ 移動レンズ
１５ 第１の固定鏡枠部
１５−１ 切欠部
１６ 第２の固定鏡枠部
１７ 第１の移動鏡枠
１８ 第２の移動鏡枠
１８−１ 切欠部
１９ 第３の移動鏡枠
１９−１ 切欠部
１９−２ 突設部
２１ 絞り位置（シャッタ位置）
２２ 主固定鏡枠
２３（２３ａ、２３ｂ、２３ｃ） 金属フレーム
２４ 接着剤溜まり部
２５ ズーム用シャフトカム
２６（２６ａ、２６ｂ） 細径部
２７ ギア
２８ 軸受嵌合孔
２９ 軸受
３１ 凸部
３２ 付勢板バネ
３２−１ 曲がり足部
３２−２ 止め切片
３２−３ 付勢バネ部
３３ 切欠部
３４ 凸部
３５ ズーム用モータユニット
３６ 減速ギア列
３７ ギア軸固定部
３８ 止め板固定部
３９ 位置決め孔
４１ 止め孔
４２ 絞り・シャッタユニット
４３ 絞り・シャッタ部
４４、４５ ロータリーソレノイド
４６ 振動波リニアモータ
４７ 磁気センサユニット
４８ 磁気センサホルダ
４９ 磁気センサ
５１ 磁気スケール
５２ 付勢バネ
５３（５３−１、５３−２、５３−３） 軸受部
５４（５４−１、５４−２、５４−３） ガイド孔
５５（５５−１、５５−２、５５−３） Ｕ字切欠部
５６ 前端部外面
５７ 側面部
５８ 段差部
５９ 光反射部材
６１（６１−１、６１−２） カムフォロア
６２ 光反射部材
６３（６３−２、６３−３） 凸部
６４（６４−１、６４−２） ガイド軸支持孔
６５ 第１のガイド軸
６６ 圧縮バネ
６７ ガイド軸支持孔
６８ 第２のガイド軸
６９ 開口部
７１、７２ 振動子本体
７３（７３−１、７３−２、７３−３） 駆動接触部
７４、７５ 振動子
７６ 第１の支持部
７７ 第２の支持部
７７´ 剛体の支持部
７８ シャフト
７９ 圧縮バネ
８０ 振動の節部となる中央部
８１ 振動の節部となる中央部を通る直線
８２ シャフトの中心軸
８６、８６ｍ、８６ｎ 圧電体シート
８７ 圧電体シート層
８８ 弾性体シート
８９ 弾性体シート層
９１ 絶縁体シート
９４ Ａ＋内部電極箔
９４−１、９５−１ 端子
９５ Ｂ−内部電極箔
９６ Ａ−内部電極箔
９６−１、９７−１ 端子
９７ Ｂ＋内部電極箔
９８ Ａ＋電極接続外部端子
９９ Ａ−電極接続外部端子
１０１ Ｂ＋電極接続外部端子
１０２ Ｂ−電極接続外部端子
１０３ ピン部材取り付け孔
１０５ 圧電体
１０６ 振動子本体主要部
１０７ 振動子本体部品
１０８ 弾性体部
１０９ 単板圧電体
１１１ １次の縦振動の静止位置
１１２ １次の縦振動の共振縦振動位置
１１３ ２次の屈曲振動の静止位置
１１４ ２次の屈曲振動の共振屈曲振動位置
１１５ ピン部材
１１６、１１７ 支持係合部材
１１８ 引っ張りバネ
１１９ ループ状の糸状部材
１２０ 振動波リニアモータ
１２１−１、１２１−２ シャフト挿通孔
１２２ ハウジング
１２３−１、１２３−２ 付勢係合部材
１２３−１−１、１２３−２−１ 係合部
１２４−１、１２４−２ 係止ピン孔
１２５−１、１２５−２ 係止ピン孔
１２６−１、１２６−２ 連結止めピン
１２７−１、１２７−２ 付勢用ピン孔
１２８−１、１２８−２ 付勢用係合ピン
１２９−１、１２９−２ 螺旋バネ
１３１ ナット
１３２ 駆動係合ピン
１３３ 鏡枠本体
１３４ 係合突設部
１３５ 長孔
１３６ 板バネ
１３６−１ 本体部
１３６−２ 係止部
１３６−３ 付勢部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波振動子を用いた振動波リニアモータに関し、特に簡単な構成で小型化を可能にした振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、超音波モータ（振動波モータ）が注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータに比べて、ａ：ギヤ無しで低速高推力が得られ、ｂ：保持力が大きく、ｃ：ストロークが長く高分解能であり、ｄ：静穏性に富み、ｅ：磁気的ノイズを発生せずノイズの影響も受けない、などの利点を有している。
【０００３】
このような利点を有する従来の超音波モータとしては、移動部に２個の振動子板を設け、これら振動子板の対向面に形成されたそれぞれ１個の突起部の対向部間に１本のガイドシャフトを挟み、２個の振動子板の振動により、ガイドシャフトに沿って移動部が移動するリニア超音波モータが提案されている。（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開平０９−０５１６８７号公報（段落［００１１］〜［００１２］、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の技術は、ガイドシャフトを挟んで向かい合う振動子板のそれぞれの駆動突起部が１個であるため、ガイドシャフトと振動子板の駆動方向で形成される面内で、駆動突起部を支点とした傾きが生じやすい。
【０００５】
駆動突起部での楕円振動の振幅は、ガイドシャフトとの垂直方向では振動子板とガイドシャフトとを離隔させる作用、ガイドシャフトとの水平方向ではガイドシャフトを相対的に駆動させる作用を持っている。これらの作用を満たすように駆動突起部の楕円振動を最適化しているので、傾きが生じると駆動に悪影響を及ぼす。
【０００６】
傾きが大きくなりすぎると、駆動突起部以外の所、例えば振動子板とガイドシャフトが当接することになり、そこでの振動は通常、駆動接触部での楕円振動を阻害する方向に作用し、また、無用な接触状態での振動は、接触部分の破壊につながる虞がある。
【０００７】
したがって、先ず、ガイドシャフトを本体装置側に固定する固定部材が必要であることは言うまでもないが、更に移動部においては駆動突起部がガイドシャフトに対して傾かないように位置決めするためのガイドシャフトに対する係合部が最低２箇所必要である。
【０００８】
このように必須な構成が多くなると全体構成を小型化することが困難になるだけでなく上記従来の構成は、移動部がガイドシャフトにガタなく支持されているため、この構成のリニア超音波モータを、多少の誤差が許容される例えばカメラの鏡枠等の駆動に応用しようとした場合、双方間の誤差を吸収するための連結部材が必要になると思われる。
【０００９】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、駆動系と被駆動系双方間の誤差を吸収でき且つ簡単な構成で小型化を可能にした振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
先ず、第１の発明の振動波リニアモータは、被駆動体と、該被駆動体を所定の一定方向に駆動する２個以上の駆動接触部を有する第１の振動子と、上記被駆動体を上記第１の振動子による駆動と同一向きに駆動する１個以上の駆動接触部を有する第２の振動子と、上記第１又は第２の振動子のいずれか一方を固定して支持する第１の支持部と、上記第１又は第２の振動子のいずれか他方を揺動可能に支持する第２の支持部と、該第２の支持部により揺動可能に支持される上記第１又は第２の振動子を上記被駆動体に付勢する付勢手段と、を有して構成される。
【００１１】
この振動波リニアモータにおいて、例えば、上記第１又は第２の振動子の少なくともいずれか一方の駆動接触部は、上記被駆動体の形状に合わせて該被駆動体を上記所定の一定方向に案内する形状を有して構成される。
【００１２】
また、上記第２の振動子の１個以上の上記駆動接触部は、例えば上記第１の振動子の２個以上の上記駆動接触部の間に対向して配置されるように構成される。
また、上記第１の振動子は、例えば上記駆動接触部を有する面と反対面を上記第１の支持部に固定されるように構成され、また、例えば振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して上記第１の支持部に固定されるように構成される。
【００１３】
また、上記第２の支持部は、例えば揺動可能に支持する上記第１又は第２の振動子を上記所定の一定方向に沿う方向に位置固定して支持するように構成される。
また、上記第２の振動子は、例えば上記駆動接触部を有する反対面を上記第２の支持部により上記被駆動体の傾きに合わせて揺動自在に位置固定されるように構成される。この場合、上記第２の振動子は、例えば振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して上記被駆動体に付勢されるように構成してもよく、更に、例えば振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して第２の支持部により上記被駆動体の傾きに合わせて揺動自在に支持されるように構成してもよい。
【００１４】
また、この振動波リニアモータの構成においては、例えば上記第１の振動子の節の位置に設けられたピンと上記第２の振動子の節の位置に設けられたピンとの間に引き付勢部材を張り渡して、上記第１及び第２の振動子を上記被駆動体に付勢するように構成してもよい。
【００１５】
また、上記第１の振動子は、例えば振動が極小となる節の位置を２点有し、該節の位置にそれぞれ固定されたピンにより上記第１の支持部に支持されるように構成してもよい。
更に、例えば上記第１の振動子の節の位置に設けられたピンと、上記第２の振動子の２個の節の位置に設けられたピン間に差し渡された部材とに係合する引き付勢部材により、上記第１及び第２の振動子を上記被駆動体に付勢するように構成してもよい。
【００１６】
また、この振動波リニアモータにおいては、例えば上記第１及び第２の振動子ともに、上記被駆動体を介して対向する２箇所の位置にそれぞれ上記駆動接触部を備えるように構成してもよい。
【００１７】
次に、第２の発明のレンズ装置は、上記に記載のいずれかの振動波リニアモータを、合焦用レンズの駆動源として搭載して構成される。
【発明の効果】
【００１８】
先ず、第１の発明によれば、２個以上の駆動接触部を有する第１の振動子と１個以上の駆動接触部を有する第２の振動子の少なくとも一方の振動子が支持部に固定された状態で上記２つの振動子が被駆動体を挟み込んで被駆動体を駆動方向へ案内しながら駆動するので、駆動時における案内部材が不要になり、装置全体の小型化が可能になる。
【００１９】
次に、第２の発明によれば、リニア駆動により合焦レンズを直接駆動出来るため、機械損失が低減できて装置寿命が長くなるだけでなく、合焦時間を短縮することがき、ユーザの速い撮影動作にも対処することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。尚、以下の説明において、上記第１の振動子は例えば振動子７４等から成り、上記第２の振動子は例えば振動子７５等から成り、上記付勢手段は例えば弾性部材からなる第２の支持部７７、圧縮バネ７９、引きバネ１１８等から成り、そして上記被駆動体は例えばシャフト７８等から成る。
【００２１】
＜実施形態の基本構成＞
図１(a) は、本発明の振動波リニアモータを搭載したレンズ装置を示す外観斜視図であり、同図(b) は、同図(a) に示すレンズ装置のＡ−Ａ´矢視断面を同図(a) の矢印ａ方向から見た図であり、レンズユニット各部の概略の構成を示している。
【００２２】
尚、図１(a) には、レンズ装置１と共に例えばカメラなどの本体装置のハウジング内に組み込まれるこのレンズ装置１の各部の駆動を制御する制御回路を備えた回路基板２の一部も共に示している。
【００２３】
同図(a) に示すレンズ装置１は、特には図示しない本体装置のハウジングの撮影レンズ窓から撮影光軸Ｏ１（図では鉛直方向で示している）に沿ってレンズＬ１に入射する被写体からの光束を、レンズＬ１と一体なプリズムによって、水平方向にほぼ直角に（図では斜め右上方向に）折れ曲がるように反射させる。このレンズ装置１は、上記折り曲げられた同図(b) に示す第２の光軸Ｏ２に沿って、上記の入射光束を、レンズ装置１の端部（図では斜め右上方向端部）に配設されている例えばＣＣＤ(charge coupled device）などからなる撮像素子１４まで導いて撮像画像を生成する。
【００２４】
同図(b) に示すように、レンズ装置１の内部には、上記水平方向に折り曲げられた第２の光軸Ｏ２に沿って、レンズＬ１及びレンズＬ２からなる第１の固定レンズ部８、レンズＬ３及びレンズＬ４からなる第１の移動レンズ部９、レンズＬ５、レンズＬ６及びレンズＬ７からなる第２の移動レンズ部１１、レンズＬ８からなる第３の移動レンズ部１２、並びにレンズＬ９からなる第２の固定レンズ部１３で構成される複数のレンズを備えている。そして、これらのレンズ群の終端には撮像素子１４が配置されている。
【００２５】
上記第１の固定レンズ部８のレンズＬ１は、上述した撮影レンズ窓から撮影光軸Ｏ１に沿って入射する被写体からの光束をほぼ９０°水平方向に反射して折り曲げて、第２の光軸Ｏ２に沿って光束の進路を変更するプリズムと一体化されており、レンズ２と共に第１の固定鏡枠部１５に保持されてレンズ装置１内で固定されている。また、上記第２の固定レンズ部１３は、第２の固定鏡枠部１６に保持されてレンズ装置１内で固定されている。
【００２６】
上記第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６は、第２の光軸Ｏ２に対し垂直な面で切られた断面がほぼＬ字形状を成す後述する金属フレームの長手方向の端部に一体的に樹脂成形により形成されている。
【００２７】
これら第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６との間に、上記第１の移動レンズ部９を保持する第１の移動鏡枠１７、第２の移動レンズ部１１を保持する第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動レンズ部１２を保持する第３の移動鏡枠１９が配置されている。
【００２８】
上記第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９は、上記の第１の移動レンズ部９、第２の移動レンズ部１１及び第３の移動レンズ部１２を、上記のレンズＬ１（以下、プリズムＬ１ともいう）によりほぼ直角に折り曲げられた第２の光軸Ｏ２に沿って、それぞれ独立に移動可能に保持している。
【００２９】
上記第１の移動レンズ部９及び第２の移動レンズ部１１は、このレンズ装置１の光学系の第２の光軸Ｏ２に沿って入射する被写体の光束の焦点距離を変化させるために設けられている。換言すれば、これら第１の移動レンズ部９及び第２の移動レンズ部１１を保持する第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８は、レンズ系のズーム比調節用のために設けられている。
【００３０】
また、第３の移動レンズ部１２は、上記の光束が撮像素子１４上に結像する焦点調節のために設けられている。換言すれば、この第３の移動レンズ部１２を保持する第３の移動鏡枠１９は、第２の光軸Ｏ２方向に移動自在な合焦用の鏡枠として設けられている。
【００３１】
また、上記第１の移動レンズ部９と第２の移動レンズ部１１の間の２１は、絞りの位置を示している。
また、このレンズユニットは、上下の厚み（実際には撮影用のレンズユニットとしては奥行き方向の厚みとなる）を極力薄くするように、径の比較的大きなレンズＬ２、Ｌ５、Ｌ８を含む第１の固定レンズ部８、第２の移動レンズ部１１、第３の移動レンズ部１２をそれぞれ保持する第１の固定鏡枠部１５、第２の移動鏡枠１８、第３の移動鏡枠１９の枠壁の、第２の光軌Ｏ２に対し上下方向の一方の一部又は全部（図１(b) の例では下方のレンズ下端部に対応する部分）が切り欠かれて、切欠部１５−１、１８−１、１９−１が形成されている。
【００３２】
そして、この切り欠かれて枠壁が欠如した分だけ強度が弱くなる鏡枠の、第１の固定鏡枠１５のように特に他に補強部分を持たない第２、第３の移動鏡枠１８、１９については、上記の切り欠き部に第２の光軸Ｏ２を挟んで対向する側、つまり上側の枠壁に、外部に突出する後述する凸部を設けている。図において、第２、第３の移動鏡枠１８，１９の上側枠壁がやや厚く見えるのは、上記凸部の断面を示しているためである。
【００３３】
また、更に、第３の移動鏡枠１９については、全体が左右に薄くて弱いので、上記の凸部による補強だけでは不十分の虞があるので、レンズＬ８の下部側に形成されている切欠部１９−１の反対側に形成されているレンズ胴付部から、レンズＬ８の有効光線の範囲外となる左方面の周囲に回り込むように、突設部１９−２が設けられている。
【００３４】
図２は、上記のレンズ装置１を、上方から見た分解斜視図である。
図３は、同じく上記レンズ装置１を天地を逆にして下方から見た分解斜視図である。尚、上記の図２及び図３には、図１(a),(b) に示した構成と同一の構成部分には図１(a),(b) と同一の番号を付与して示している。
【００３５】
上記の図２及び図３に示すように、レンズ装置１は、主固定鏡枠２２を備えている。この主固定鏡枠２２の内外に図２又は図３に示す全ての構成要素が組み付けれて収納されたとき、全体が、対向する長方形の２つの主面と該２つの主面に挟まれた扁平な空間内に構成要素が詰め込まれてなる装置本体の図１(a) に示す外形形状を形成する。
【００３６】
上記の主固定鏡枠２２は、上記２つの主面の少なくとも一方の主面を形成する金属フレーム２３ａを備えている。このレンズ装置１の構成において、他方の主面は開放されている。この金属フレーム２３ａで形成される一方の主面と開放されている他方の主面とで挟まれた扁平な空間の長手方向の一方の側面も、一方の主面の金属フレーム２３ａからほぼ直角に連設される金属フレーム２３ｂで構成される。
【００３７】
また、短手方向の一方の側面（図２、図３では斜め左下方の短手方向側面）も上記主面の金属フレーム２３ａ及び長手方向側面の金属フレーム２３ｂにそれぞれほぼ直角に連設される金属フレーム２３ｃで構成される。
【００３８】
これにより、金属フレーム２３（２３ａ、２３ｂ）は、長手方向（前述した折り曲げられた第２の光軸Ｏ２方向でもある）に直角な断面が、１つの主面と長手方向の１つの側面からなるＬ字型のフレームを構成し、少量の材料で剛性を形成する理想的な構造のフレームとなっている。
【００３９】
この金属フレーム２３の長手方向の両端部には、それぞれ金属フレーム２３にアウトサート成形により一体成型された固定成形部が形成されている。これら２つの固定成形部が、図１(b) にも示した第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６である。
【００４０】
そして、第１の固定鏡枠部１５は図１(b) にも示したプリズムＬ１及び図２と図３には図示を省略しているがレンズＬ２が保持されて固定される。また第２の固定鏡枠部１６には、これも図２と図３には図示を省略しているが図１(b) に示したレンズＬ９が保持されて固定される
これら第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６との間に、図１(b) にも示した３つの移動鏡枠（第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９）が配置される。
【００４１】
これら３つの移動鏡枠及び上記２つの固定鏡枠には、それぞれレンズを保持して固定する接着剤が周囲にあふれ出ないようにする接着剤溜まり部２４（図２参照）が形成されている。この接着剤溜まり部２４は、固定されるレンズの周面と鏡枠との間に形成されている僅かな間隙である。
【００４２】
尚、第３の移動鏡枠１９及び第２の固定鏡枠部１６の接着剤溜まり部は図では陰になって見えない。また、第１の固定鏡枠部１５の接着剤溜まり部も図では定かに見えないが、レンズＬ１と一体なプリズムの側面に対応する部分に設けられている。
【００４３】
上記３つの移動鏡枠が組み込まれるに先立って、ズーム用シャフトカム２５が、主固定鏡枠２２の開放側の長手方向側面の且つ第１の固定鏡枠部１５の側部に近接して配置される。ズーム用シャフトカム２５は、カム部のカム溝が設けられた周面を形成する太径部と、太径部の両端から同軸に突設された細径部２６（２６ａ、２６ｂ）を有しており、撮像素子１４とは反対側端部に突設されている細径部２６ａにはギア２７が固設されている。
【００４４】
ズーム用シャフトカム２５は、第１の固定鏡枠部１５の金属フレーム２３ｃとの一体化融着部に形成されている軸受嵌合孔２８内に一方の細径部２６ａを一旦挿通した後、図の斜め右方に引きながら他方の細径部２６ｂを図では陰になって見えない第１の固定鏡枠部１５に形成されている軸受け孔に嵌入させ、一方の細径部２６ａを軸受嵌合孔２８内において軸受２９と係合させる。これによりズーム用シャフトカム２５は第１の固定鏡枠部１５に対し回転可能に支持される。
【００４５】
ズーム用シャフトカム２５の一方の細径部２６ａの突端には更に径の小さな凸部３１が形成されており、この凸部３１は、一方の細径部２６ａが軸受２９と係合したとき軸受２９から上方外部に突出する。この凸部３１を付勢板バネ３２により押し付勢されることにより、ズーム用シャフトカム２５は上下の軸受けに位置決めされて安定して保持される。
【００４６】
付勢板バネ３２には、ほぼ四角な本体部から切り目によって一部を分離され下方に折り曲げられ更にその先端を水平に折り曲げられて形成された３個の曲がり足部３２−１と、本体部中央を切り欠いて形成された止め切片３２−２、及び本体部から一体に延設された付勢バネ部３２−３とから構成されている。
【００４７】
他方、金属フレーム２３ｃ側には、上記付勢板バネ３２の３個の曲がり足部３２−１に対応する位置に、３個の切欠部３３が形成され、これら３個の切欠部３３に囲まれたほぼ中央に、上記付勢板バネ３２の止め切片３２−２に対応する凸部３４が形成されている。
【００４８】
付勢板バネ３２の３個の曲がり足部３２−１を金属フレーム２３ｃの３個の切欠部３３に係合させながら、付勢板バネ３２の本体部が金属フレーム２３ｃ側に押し込まれると、止め切片３２−２の先端が凸部３４の周面に係止することにより、付勢板バネ３２が金属フレーム２３ｃの外面に位置固定され、その付勢バネ部３２−３の先端部によりズーム用シャフトカム２５の凸部３１が押し付勢されて、位置決めされる。
【００４９】
これにより、ズーム用シャフトカム２５は、その中心軸が主固定鏡枠２２の長手方向すなわち第２の光軸Ｏ２に平行する向きで、第１の固定鏡枠部１５に保持されるプリズムＬ１の近傍に配置され、少なくとも軸方向での一部分がプリズムＬ１の側面に隣接するように配置される。
【００５０】
続いて、ズーム用モータユニット３５が、レンズ（プリズム）Ｌ１の反射面裏側を保持する第１の固定鏡枠部１５の斜面と金属フレーム２３ｃによりに形成される略三角柱形状の空間部（図３参照）に配置され、その減速ギア列３６がズーム用シャフトカム２５のギア２７に係合する。このズーム用モータユニット３５は、ギア軸固定部３７及び止め板固定部３８の２箇所の止め部（図３参照）が、第１の固定鏡枠部１５に形成されている位置決め孔３９及び止め孔４１にネジ止めされることによって第１の固定鏡枠部１５に固定される。
【００５１】
上記に続いて、主固定鏡枠２２に、絞り・シャッタユニット４２が組み付けられる。絞り・シャッタユニット４２は（以下、図２参照）、第２の光軸Ｏ２を形成する反射光の通過光量を規制する絞りとシャッタを備えた絞り・シャッタ部４３と、この絞り・シャッタ部４３の絞りとシャッタとをそれぞれ機械的に駆動するロータリーソレノイド４４及び４５を備えている。
【００５２】
絞り・シャッタ部４３は図１(b) に示した絞りの位置２１に配置され、２個のロータリーソレノイド４４及び４５はズーム用シャフトカム２５の下方に配置される。
更に、この絞り・シャッタユニット４２の下方に、第３の移動鏡枠１９を移動駆動するための振動波リニアモータ４６と磁気センサユニット４７とが、主固定鏡枠２２の短手方向に並んで重なるようにして配置される。
【００５３】
これにより、振動波リニアモータ４６は、ズーム用シャフトカム２５の軸の延長方向の位置で且つ撮像面側に配置される。
磁気センサユニット４７は（図３参照）、磁気センサホルダ４８、磁気センサ４９、磁気スケール５１、及び付勢バネ５２を備えている。
【００５４】
尚、上記の振動波リニアモータ４６と、磁気センサユニット４７については更に詳しくは後述する。
このように、上述した各部材が配置された後、図１(b) に示した移動レンズ部９、１１、及び１２（図２と図３には図示を省略）をそれぞれ接着剤で固定された第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９が組み付けられる。
【００５５】
これらの第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９に保持される図１(b) に示した移動レンズ部９、１１及び１２の各レンズＬ３〜Ｌ８は、図１(b) では側断面図のため定かではないが、レンズは図１(a) に示すレンズ装置１に対して上下（図１(b) でも上下）を切除されて上下の周面が平坦な周面を形成して、レンズを正面で見ると小判形の形状を成している。
【００５６】
そして、第１、第２、第３の移動鏡枠１７、１８、１９のレンズ保持部外周は上記小判形の形状のレンズを保持することに対応して、第２の光軸Ｏ２に沿った上下（図１(a) に示すレンズ装置１における上下、図１(b) に示すレンズユニットでの上下）の周面が平面的に形成されており、これによりレンズ装置１に組み込まれる移動鏡枠の薄型化が図られている。
【００５７】
また、第２、第３の移動鏡枠１８、１９は、更なる薄型化を図るために、レンズを保持する鏡枠の下部（図２では下方の部分、図３では上方の部分）の、レンズ下部の平坦周面部分に対応する枠壁が切り欠かれて図１(b) に示した切欠部１８−１、１９−１が形成され、レンズ後部の平坦周面部分が露出している。
【００５８】
尚、上記の切欠部は、第２の移動鏡枠１８については図２及び図３で見える部分にあるが、第３の移動鏡枠１９については、残る周囲の鏡枠の陰になって定かには見えない。
これら第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９は（図２参照）、それぞれ、軸受部５３（５３−１、５３−２、５３−３）を備え、これらの軸受部５３には、それぞれ、ガイド孔５４（５４−１、５４−２、５４−３）が設けられている。
【００５９】
また、これら第１の移動鏡枠１７、第２の移動鏡枠１８、及び第３の移動鏡枠１９には、上記軸受部５３と対向する端部に、それぞれＵ字切欠部５５（５５−１、５５−２、５５−３）を備えている（図３参照）。
【００６０】
更に、第１の移動鏡枠１７の上記軸受部５３−１とＵ字切欠部５５−１とを有する後端部と対向する前端部外面５６と（図２参照）上記軸受部５３−１が配置される側面部５７との境界に形成される段差部５８には、光反射部材５９が貼着されて配置される。
【００６１】
また、第１の移動鏡枠１７の軸受部５３−１に一体に横に突設された部分と、第２の移動鏡枠１８の軸受部５３−２に一体に上に延設された部分に、それぞれカムフォロア６１（６１−１、６１−２）が形成されている。
【００６２】
また、第３の移動鏡枠１９の軸受部５３−３に一体に横方向に立設される側面には光反射部材６２が貼着されている。
また、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９には、上記軸受部５３（５３−２、５３−３）とＵ字切欠部５５（５５−２、５５−３）とを有する後端部と対向する前端部外面に図１(b) で説明した補強用の凸部６３（６３−２、６３−３）が形成されている。この凸部６３は、上述した装置全体を薄型にするために小判形のレンズの後部平坦部分に対応する枠壁が切り欠かれて欠如している鏡枠の強度を補強するために設けられている。
【００６３】
また、上記３個の移動鏡枠のガイド孔５４には、第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６のそれぞれ開口側面と開口主面に最も近接する角部に形成されたガイド軸支持孔６４（６４−１、６４−２）に両端を支持される第１のガイド軸６５が挿通される。
【００６４】
これにより、第１，第２及び第３の移動鏡枠１７、１８及び１９（つまり３個の移動レンズ部９、１１、１２）は、図１(b) に示す光軸Ｏ２方向に移動可能に支持される。
また、第１のガイド軸６５を支持するガイド軸支持孔６４（６４−１、６４−２）が、開口側面と開口主面に最も近接する角部に形成されていることにより、第１のガイド軸６５は、主固定鏡枠２２により形成されるレンズ装置１本体内において、開放された側面と開放された主面とが交わる最外部に可及的に近接して配置される。このように最外部に可及的に近接して配置された第１のガイド軸６５に軸受部５３が支持されることにより、３個の移動鏡枠は、狭い扁平な装置本体内部において空間に無駄なく配置される。
【００６５】
この第１のガイド軸６５の挿通に際しては、第１の移動鏡枠１７の軸受部５３−１と、第２の移動鏡枠１８の軸受部５３−２との間に、押し付勢力を有する圧縮バネ６６が、第１のガイド軸６５に外嵌して介装される。
【００６６】
また、上記３個の移動鏡枠の組み付けに先立って、第１の固定鏡枠部１５と第２の固定鏡枠部１６のそれぞれ金属フレーム２３ｂで構成される閉側面と開口主面とに最も近接する位置に形成された他の２つのガイド軸支持孔６７（図３参照）により両端を支持されて第２のガイド軸６８が配置される。
【００６７】
上記３個の移動鏡枠の組み付けに際しては、上述したＵ字切欠部５５が上記第２のガイド軸６８に横から嵌合して摺動自在に支持された後、その第２のガイド軸６８を支点にして各移動鏡枠を内側に回動させることにより、第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８に配設されているカムフォロア６１が、ズーム用シャフトカム２５のカム溝に滑動自在に嵌入して係合する。
【００６８】
すなわち、ズーム用シャフトカム２５には、複数の鏡枠（この例では第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８）に対応するカム（カムフォロア６１−１、６１−２が係合するカム溝）がそれぞれ形成されている。
【００６９】
上記のようにカムフォロア６１がズーム用シャフトカム２５のカム溝に嵌入することにより、ズーム用シャフトカム２５と第１の移動鏡枠１７及び第２の移動鏡枠１８とが摺動自在に係合する。
【００７０】
また、これと共に、第１の移動鏡枠１７の上部外面５６（図２参照）が一方の主面を形成している金属フレーム２３ａの裏面に近接して配置され、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９の前端部外面に形成されている補強用の凸部６３が、同じく金属フレーム２３ａに形成されている開口部６９に嵌入する。
【００７１】
この開口部６９は、第２の移動鏡枠１８及び第３の移動鏡枠１９の移動によって移動する移動レンズ（図１(b) のレンズＬ５〜Ｌ８参照）の移動との干渉を回避するために、つまり凸部６３が移動することへの妨害となるのを回避すべく、上記移動レンズの移動ストロークに応じた上下に長い開口部を形成している。
【００７２】
この後、上述した第１のガイド軸６５が各移動鏡枠の軸受部５３のガイド孔５４及び両端部のガイド軸支持孔６４に挿通される。これにより、上記二本のガイド軸（６５、６８）は、ズーム用シャフトカム２５に隣接し且つズーム用シャフトカム２５の軸と平行に配置される。
【００７３】
このように、軸形状部材が、相互に隣接し且つ並行して配置されるので、装置全体の小型化に貢献できる。
これら二本のガイド軸により支持されて、３個の移動鏡枠（１７、１８、１９）が、光軸Ｏ２方向に摺動可能に規制され且つ一方のガイド軸により他方のガイド軸周りの回転を禁止され、光軸Ｏ２に直角方向の位置決めをされて主固定鏡枠２２内に配置される。
【００７４】
また、第１の移動鏡枠１７の軸受部５３−１と第２の移動鏡枠１８の軸受部５３−２との間に圧縮バネ６６が第１のガイド軸６５に外嵌して介装されることにより、第１の移動鏡枠１７と第２の移動鏡枠１８は互いに相反する方向に付勢されている。
【００７５】
これにより、ズーム用シャフトカム２５のカム溝に係合するそれぞれのカムフォロア６１−１、６１−２が、ズーム用シャフトカム２５のカム溝の溝壁のそれぞれ相反する片側に押し付けられるようになり、したがって、ズーム用シャフトカム２５の回転駆動時のカム溝とカムフォロア間に生じる遊びが解消される、これにより、左移動時と右移動時における位置関係が正しく制御される。
【００７６】
上記の配置において、第１のガイド軸６５は、ズーム用シャフトカム２５とほぼ並行に且つ隣接して配置される。
この後、撮像素子１４が第２の固定鏡枠部１６の下面に取り付けられる。また、金属フレーム２３ａと同一面にある第１の固定鏡枠部１５の面の、第１の移動鏡枠１７に取り付けられている光反射部材５９に対応する位置にフォトセンサ取付孔７１が設けられており、このフォトセンサ取付孔７１にフォトセンサ７２が配置される。
【００７７】
このフォトセンサ７２は、第１の移動鏡枠の絶対位置を検知する。その検知した絶対位置からの第１の移動鏡枠の移動距離は、ズーム用モータユニット３５のステップ駆動されるズームモータのステップ数を、不図示の制御装置がカウントすることにより移動位置を検出して決定される。
【００７８】
また、第２の固定鏡枠部１６の開放されている側面に面する側の、第３の移動鏡枠１９に取り付けられている光反射部材６２に対応する位置に、他のフォトセンサ７３が配置される。このフォトセンサ７３は、第３の移動鏡枠１９に取り付けられた光反射部材６２からの反射光を検出して第３の移動鏡枠１９の絶対位置を検知する。
【００７９】
これら絶対位置の決定後、ズーム用モータユニット３５におけるモータの順逆両方向の回転により、ズーム用シャフトカム２５が所定範囲の角度内で順逆両方向に回動する。このズーム用シャフトカム２５の外周に設けられた２つのカム溝に、第１の移動鏡枠１７のカムフォロワ６１−１及び第２の移動鏡枠１８のカムフォロワ６１−２が係合していることにより、上記ズーム用シャフトカム２５の回動に応じて、第１の移動鏡枠１７と第２の移動鏡枠１８（つまり第１の移動レンズ部９及び第２の移動レンズ部１１）が、第２の光軸Ｏ２方向に沿って離接の移動を行って、光軸Ｏ２方向に進む光束の映像に対し縮小／拡大のズームを行う。
【００８０】
また、図１(b) に示した第１、第２の移動レンズ部９、１１の間の絞り位置２１に絞り・シャッタ部４３が配置される絞り・シャッタユニット４２によって、光軸Ｏ２を進行する光束の進路が開閉されるとともに、光学フィルタ（ＮＤフィルタ）によって撮像面への光量が制御される。
【００８１】
続いて、合焦用の第３の移動レンズ部１２を保持する第３の鏡枠の移動を駆動する振動波リニアモータについて説明する。
図４(a) は、本例において用いられる振動波リニアモータの基本構成を示す側面図であり、同図(b) は、その正面図である。同図(c) は、基本構成の他の例を示す側面図、同図(d) は、その正面図である。
【００８２】
本例における振動波リニアモータの同図(a),(b) に示す第１の基本構成は、先ず、直方体形状をした上下２個の振動子本体７１及び７２と、この２個の振動子本体７１及び７２の上下対向する面にそれぞれ振動子本体７１及び７２と一体に形成された又は別体で接着された突起形状の少なくとも１個以上の（図の例では上の振動子本体７１に２個、下の振動子本体７２に１個）の駆動接触部７３（７３−１、７３−２、７３−３）とから成る２個の振動子７４及び７５を備えている。
【００８３】
更に、この振動波リニアモータの基本構成において、上記振動子７４を固定して支持する第１の支持部７６と、振動子７５を揺動可能に支持する弾性部材からなる第２の支持部７７を有し、この第２の支持部７７の弾性より、振動子７４と振動子７５は双方の対向部に向けて相対的に付勢されるように構成される。
【００８４】
そして、第１の振動子としての振動子７４は、駆動接触部７３（７３−２、７３−３）を有する面と反対面を第１の支持部７６に固定されている。
また、この振動波リニアモータの基本構成においては、上記双方の対向部に向けて相対的に付勢されている振動子７４及び７５の駆動接触部７３に圧接されて２つの振動子７４及び７５に挟持されると共に、双方の対向部の相対する方向に直交する長手方向（同図(a) では図面左右方向、同図(b) では図面奥行き方向）に移動可能に支持されたシャフト７８が備えられる。
【００８５】
また、同図(c),(d) に示す本例の振動波リニアモータの他の基本構成は、上記第２の支持部７７の弾性に代えて、押し付勢力を有する圧縮バネ７９が、第１の支持部７６と同様の剛体の支持部７７´と振動子７５の下面との間に介装され、支持部７７´と圧縮バネ７９とで第２の支持部が構成されている。
【００８６】
なお、同図(a),(b) に示す第１の基本構成と同図(c),(d) に示す他の基本構成とは、上記のように第２の支持部の構成が異なるのみであるので、同図(c),(d) には、説明に必要な構成以外の部分には番号の図示を省略している。
【００８７】
上記第２の支持部７７の弾性による付勢力、又は圧縮バネ７９による付勢力は、振動子本体７２の振動の節部となる中央部８０に加えられ、更に振動子本体７１に対して相対的にシャフト７８及び２個の駆動接触部７３を介して振動子本体７１の振動の節部となる中央部８０に加えられるので、上記第２の支持部７７の弾性による付勢力又は圧縮バネ７９による付勢力は、振動子本体７１及び７２の中央より前後（図４(a) の図の左右方向）に均等に配分されて、上下３個の駆動接触部７３がシャフト７８に付勢される。
【００８８】
上記３個の駆動接触部７３は、詳しくは後述するように、少なくとも１つは楕円運動を行なって上記のシャフト７８を相対的に移動させるように構成されている。
ここに示す基本構成のみならず、以下に示す種々の変形例、及び実際の組み立て上がり後の振動波リニアモータにおいても、上記の振動子本体７１及び７２は、それぞれ直方体形状に形成されており、上記のシャフト７８は、その移動方向の長さにおいて各振動子７４及び７５の長さよりも長く形成されている。
【００８９】
また、シャフト７８は、直線形状の形状で中空又はムクの棒状部材からなる。尚、図４(a),(b) ではムクの棒として示している。また、このシャフト７８は、棒状部材の一方の端部から他方の端部まで同一の幅で形成され、図４(a) に示すように断面が円形、つまり同図(b) に示すように全体が円柱形状に形成されている。勿論、円柱形状に限るものではなく、特には図示しないが、相対する駆動接触部の変形例に応じて、三角、四角、その他の多角形の断面を有する柱形状としてもよい。要は一定方向への移動が可能な形状であれば、どのような形状であってもよい。
【００９０】
そして、このシャフト７８に圧接する３個の駆動接触部７３は、シャフト７８の移動方向に沿って配置されている。これらの駆動接触部７３は、シャフト７８との接触部がＵ字形又はＶ字形の断面を有している（図４(a) ではＵ字形、Ｖ字形については後述する）。
【００９１】
このように、本発明の振動波リニアモータによれば、２個の振動子７４及び７５によりシャフト７８を駆動するので、シャフト７８の移動に対して大きな駆動力を伝えることが出来る。
【００９２】
また、上述したように少なくとも２個以上の駆動接触部を有する第１の振動子７４と、少なくとも１個以上の駆動接触部を有する第２の振動子７５とで、上の２個の駆動接触部７３の間に下の１個の駆動接触部７３が配置される形状で、長尺円柱型の被駆動体であるシャフト７８を上下から挟み込み、相互に付勢され且つ２個以上の駆動接触部７３を有する第１の振動子７４が水平にも上下にも回転できない状態で支持部に固定された構成であるので、シャフト７８が上下に傾くことなく且つ駆動接触部７３からの規制によって駆動方向が一定した方向に規制される。
【００９３】
このように振動子７４又は７５の駆動接触部７３によってシャフト７８の駆動方向が規制されるので、シャフト７８を駆動方向に案内する案内部材を別個に設ける必要がないので、すなわち案内部材が不要となるので、部品点数が削減でき小型化の実現、コストの低減に貢献できる。
【００９４】
また、上述したように、第２の支持部７７の弾性による付勢力又は圧縮バネ７９による付勢力は、振動子本体７１及び７２のそれぞれ中央より前後に均等に配分されるので、駆動接触部７３が常にシャフト７８の動きに合わせてシャフト７８に接触していることができ、そのため振動子７４及び７５の駆動力をシャフト７８に正確に効率よく伝えることが可能となる。
【００９５】
また、万一、シャフト７８が傾いた場合でも、下方に配置された第２の振動子４５が揺動自在にシャフト７８に対して付勢されているので、シャフト７８の傾きに追随して常に一定の圧力で付勢が行われ、これによりシャフト７８の駆動を円滑に行うことが出来る。
【００９６】
また、支持部に固定される振動子は、駆動接触部を有する面の反対面が支持部に固定されるので、つまり振動子の一面を利用して支持部に固定されるので、簡単な構成で振動子を固定することが可能となる。
【００９７】
図５(a),(b) は、駆動接触部７３のシャフト７８との接触面の断面形状の例を示す図であり、同図(c),(d),(e) は、駆動接触部の振動子本体への配置例を示す図である。
同図(a) は、図４(a) の場合と同一であり、駆動接触部７３のシャフト７８との接触部がＵ字形（又は円弧状)の断面となっている。そして、同図(b) は、駆動接触部７３のシャフト７８との接触部がＶ字形の断面の場合を示している。いずれの場合も、駆動接触部７３は、シャフト７８との接触面がシャフト７８を半ば抱き込むように凹状に形成されている。
【００９８】
このように、振動子７４及び７５の少なくともいずれか一方（図４(a) 〜(d) に示す例では両方）の駆動接触部７３の形状は、シャフト７８の移動方向を所定の一定方向（同図(a),(c) では図面左右方向、同図(b),(d) では図面奥行き方向）に規制する形状、換言すれば所定の一定方向に案内する形状に設定されている。
【００９９】
なお、同図(a) では、上下２個の振動子７４、７５ともに駆動接触部７３がシャフト７８を抱くＵ字又はＶ字の断面形状に構成されているが、実際にはどちらか一方の振動子の駆動接触部７３だけをシャフト７８を抱く形状に構成してもシャフト７８が案内は可能である。
【０１００】
また、同図(c) は、図４(a),(b) に示したと同一の駆動接触部７３の配置構成であり、この構成を換言すれば、上の振動子７４に設けられた複数の駆動接触部７３の間に、下の振動子７５に設けられた少なくとも１個の駆動接触部７３が対向配置されている、といえる構成である。なお、上記の構成は、全体として見ると、両振動子７４及び７５の上述した振動子本体７１及び７２の振動の節部となる中央部８０を通る直線８１に対称な構成となっていることが分かる。
【０１０１】
また、同図(d),(e) は、配置の上では上下の振動子７４及び７５が共に２個の駆動接触部７３を備えた構成を示しており、この場合も、振動子本体７１及び７２の振動の節部となる中央部８０を通る直線８１に対して対称な構成となっている。また、図示を省略したシャフト７８の中心軸８２にも対称な構成となっている。
【０１０２】
いずれにしても、振動子７４及び７５は、少なくとも振動子本体７１及び７２の振動の節部となる中央部８０を通る直線８１に対称な構成、又はシャフト７８の中心軸８２に対称な構成であることが好ましい。
【０１０３】
また、同図(a) 〜(e) に示す駆動接触部７３は、振動子本体７１又は７２とは別体の部材で構成し、組み立て時に接着によって振動子本体７１又は７２と一体化されるように構成される。
【０１０４】
ここで、本例における振動波リニアモータの振動子本体７１（又は７２、以下同様）の構成を説明する。
図６(a) は、上記振動波リニアモータの振動子本体７１の正面図であり、同図(b) は、その側面図、同図(c) は、同図(a),(b) に示す振動子本体７１の圧電体シートと電極配置を示する図、同図(d),(e) は、振動子本体の他の構成例を２例示す図である。
【０１０５】
同図(a),(b) に示すように、振動子本体７１は、積層された圧電体シート８６から成る圧電体シート層８７とその下方に積層された弾性体シート８８から成る弾性体シート層８９とで構成される。
【０１０６】
圧電体シート層８７の上面と、弾性体シート層８９の下面には、それぞれ絶縁体シート９１が貼着されている。尚、この絶縁体シート９１は、元来が絶縁体である弾性体シート８８と同一部材を用いることもできる。また、図４及び図５に示した駆動接触部７３又は連結型駆動接触部８５は、いずれか一方の絶縁体シート９１のそれぞれ外側面に密着して形成されている。
【０１０７】
上記振動子本体７１の圧電体シート層８７は、主に強制振動を与えるための圧電体部を構成しており、弾性体シート層８９は、圧電体部と合わせて特定の振動モードを励起する励起部を構成している。ただし、圧電体部だけで所望の振動モードを励起することができれば、励起部は必ずしも必要ではない。
【０１０８】
圧電体シート層８７を形成する圧電体シート８６と、弾性体シート層８９の弾性体シート８８は、図６(c) に示す内部電極処理が施されているかいないかの違いだけで、本来は例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の同一材質から成る薄い矩形状のシート部材である。具体的には例えば縦１０ｍｍ、横２．５ｍｍ、高さ（積層方向の厚さ）８０μｍの形状を有している。
【０１０９】
尚、本例において使用するＰＺＴ材は、Ｑｍ値が２０００というように大きいハード系材料が選択されて使用される。弾性体シートも同様である。また、圧電体シート層８７と弾性体シート層８９を上下から挟持する絶縁体シート９１は、同じＰＺＴ材で、厚さは４０μｍの形状である。これらの絶縁体シートは圧電体シートと同一材料ではあるが電極が設けられていないので未分極状態であり、圧電性は無く、したがって、実質的に絶縁体としての特性を有している。
【０１１０】
圧電体シート層８７の圧電体シート８６は、内部電極処理が施された電極のパターンのみが異なる２種類のシート状圧電素子で構成される。これら２種類の圧電体シート８６は同図(c) に示すように、一方は左右二方に分けてほぼ全面にＡ＋内部電極箔９４とＢ−内部電極箔９５を形成された圧電体シート８６ｍである。上記Ａ＋内部電極箔９４とＢ−内部電極箔９５には、それぞれ左右両端に近い位置に、外部と接続するための端子９４−１と端子９５−１が圧電体シート８６ｍの一方の側方に突出して形成されている
他方は同じく左右二方に分けてほぼ前面にＡ−内部電極箔９６とＢ＋内部電極箔９７を形成された圧電体シート８６ｎである。上記Ａ−内部電極箔９６とＢ＋内部電極箔９７には、それぞれ左右の中央に近い位置に、外部と接続するための端子９６−１と端子９７−１が圧電体シート８６ｎの上記と同じ一方の側方に突出して形成されている。
【０１１１】
上記の内部電極箔は、その電極材料としては銀パラジウム合金もしくは銀が用いられ、例えば蒸着とフォトリソグラフィー技術によって、厚さ４μｍの形状となるように形成されている。
【０１１２】
本例では、圧電体シート層８７は、これら２種類の圧電体シート８６ｍと８６ｎとを、それぞれ２４枚づつ合計４８枚のシート層として、交互に重ねて構成されている。
このようにして、最上部と最下部を除く中間部では、一枚の内部電極箔が自身が形成されている圧電体シート８６（８６ｎ又は８６ｍ）と、自身に接する圧電体シート８６（８６ｍ又は８６ｎ）の両方へ反対電位の電圧を印加する内部電極を構成している。
【０１１３】
上記のＡ＋内部電極箔９４、Ａ−内部電極箔９６、Ｂ＋内部電極箔９７、及びＢ−内部電極箔９５からそれぞれ圧電体シート８６（８６ｍ、８６ｎ）の一方の側方に突出して形成されている外部接続用の端子９４−１、９５−１、９６−１及び９７−１は、同図(a) に示す振動子本体７１の一方の側面において、焼き付け銀より成るＡ＋電極接続外部端子９８、Ａ−電極接続外部端子９９、Ｂ＋電極接続外部端子１０１、及びＢ−電極接続外部端子１０２にそれぞれ接続されている。
【０１１４】
上記の一方のＡ＋電極接続外部端子９８とＡ−電極接続外部端子９９はＡ相電極として構成され、他方のＢ＋電極接続外部端子１０１とＢ−電極接続外部端子１０２はＢ相電極として構成されている。尚、この場合、Ａ−電極接続外部端子９９とＢ−電極接続外部端子１０２は、それぞれＡ相とＢ相のグラウンド（ＧＮＤ）接続用として構成するものであるので、その場合は同一のリード線等に接続して電気的に同電位となるように構成しても良い。これらＡ相とＢ相の電極接続外部端子を介して特には図示しない駆動回路から電圧が圧電体シート層８７に印加されて、振動子本体７１は後述する超音波楕円振動を発生する。
【０１１５】
尚、本例における振動子本体７１の寸法は、例えば、長手方向の寸法が１０ｍｍ、短手方向の寸法が２ｍｍ、そして高さが２．５ｍｍの形状で構成されている。この振動子本体７１には、図６(a) に示すように、上記のＡ相電極とＢ相電極のほぼ中間つまり図４(b) 及び図５(c),(d),(e),(g) に示した振動の節部となる中央部８０の位置に、ピン部材取り付け孔１０３が形成されている。このピン部材取り付け孔１０３については後述する。
【０１１６】
また、圧電体部としては必ずしも圧電体シート層８７でなくても以下のようなものでもよい。図６(d) は圧電体部として、積層圧電体又は圧電素子からなる圧電体１０５と、たとえば真鍮材からなる振動子本体主要部１０６、振動子本体部品１０７とを接着結合して振動子本体としたものである。振動子本体主要部１０６、振動子本体部品１０７が励起部をなす。
【０１１７】
また、図６(e) は、直方体形状のたとえば真鍮部材の弾性体部１０８に薄い単板圧電体１０９を接着した構成を示している。弾性体部１０８が励起部をなす。これらの部材の接着時には十分な押圧をかけて接着することが、振動伝達効率を上げるために重要である。
【０１１８】
図７(a),(b) は、上記の構成において電極への電圧印加により発振駆動される振動波リニアモータ７０の振動子本体７１の超音波楕円振動を模式的に説明する斜視図であり、同図(c) は、同図(b) の２次の屈曲振動を分かり易く振動子本体の輪郭線のみで示す図である。
【０１１９】
先ず、図６(a) に示した振動子本体７１のＡ相電極９８，９９、及びＢ相電極１０１、１０２に、同位相である共振周波数近傍の交番電圧を印加すると、図７(a) に示すように、振動子本体７１には、静止位置１１１と共振縦振動位置１１２からなる１次の縦振動が励起される。この場合、振動子本体７１は長手方向に伸縮すると共に、中央部の上下左右の寸法が伸縮する。
【０１２０】
また、図６(a) において、上記Ａ相電極９８，９９、及びＢ相電極１０１、１０２に、逆位相である共振周波数近傍の交番電圧を印加すると、図７(b) に示すように、振動子本体７１には、静止位置１１３と共振屈曲振動位置１１４からなる２次の屈曲振動が励起される。
【０１２１】
これらの振動は、有限要素法を用いてコンピュータ解析することにより予想されたものであるが、実際の超音波振動測定の結果でも、それらの予想が実証された。
尚、図７(c) では、静止位置１１３と共振屈曲振動位置１１４のほかに、図４(b) に示した振動子本体７１に配置された駆動接触部７３−１及び７３−２の構成の場合の２つの駆動接触部の動きを上部に示し、これまでの図では未だ示していなかったが、２つの駆動接触部の振動子本体の長手方向両端に配置した場合の２つの駆動接触部の動きを下部に示している。
【０１２２】
このように、振動子から被駆動体（シャフト）に効率良く動力を伝達するためには、駆動接触部は、振動子の被駆動体との対向方向の振動が最も高くなる位置又はその近傍に固定されて配置されることが望ましい。
【０１２３】
また、図７(a),(b) には、同図(c) に示す振動の節部（振動が極小になる節の位置）となる中央部８０の位置に形成された図６(a),(d),(e) に示したピン部材取り付け孔１０３に取り付けられたピン部材１１５を示している。
【０１２４】
尚、本実施の形態では、共振周波数に関して、屈曲２次振動の共振周波数を縦１次振動の共振周波数より数％程度（望ましくは３％程度）低くなるように設計している。このように構成することで、後述するように振動波リニアモータとしての出力特性を大幅に向上させることができる。
【０１２５】
次に、振動子本体７１のＡ相電極９８，９９、及びＢ相電極１０１、１０２に位相がπ／２だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加すると、振動子本体７１の図７(c) に示す振動子本体の長手方向両端に配置した２個の駆動接触部７３の位置と、振動子本体７２の図７(c) に示す端部と中央とのほぼ中間に配置した２個の駆動接触部７３の位置とで、楕円振動を観測することが出来た。
【０１２６】
この場合、振動子本体７１の底面にある駆動接触部７３の位置での超音波振動による楕円振動の回転の向きと、振動子本体７２の上面に配置してある駆動接触部７３の位置での超音波振動による楕円振動の回転の向きとは逆になる。（図８参照。）
図８(a),(b) は、位相がπ／２だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加したときの振動子の駆動接触部の楕円振動を模式的に示す図である。尚、同図(a),(b) に示す連結型駆動接触部８５の駆動接触部７３の配置が上下で異なるが、同一の番号で連結型駆動接触部８５として示している。また、駆動接触部７３が、それぞれが単独の駆動接触部である場合も以下に説明する楕円振動の動きは同一である。
【０１２７】
図８(a) は、Ａ相電極９８，９９が、Ｂ相電極１０１、１０２よりも、印加される交番電圧の位相がπ／２だけ進んでいる場合の動作を示しており、振動子本体７１の底面の駆動接触部７３は時計回り方向の回転をしており、他方、振動子本体７２の上面の駆動接触部７３は反時計回り方向の回転をしている。
【０１２８】
そして、図８(b) は、Ａ相電極９８，９９が、Ｂ相電極１０１、１０２よりも、印加される交番電圧の位相がπ／２だけ遅れている場合の動作を示しており、振動子本体７１の底面の駆動接触部７３は反時計回り方向の回転をしており、他方、振動子本体７２の上面の駆動接触部７３は時計回り方向の回転をしている。
【０１２９】
このように、同じ振動子の駆動接触部は同じ向きに回転するような位置に配置し、且つ対向側の振動子の駆動接触部は反対向きに回転する位置に配置されることが好ましい。これにより最も効率よくシャフト７８に対する駆動力を取り出すことができるようになる。
【０１３０】
すなわち、上記振動子本体７１及び７２の縦振動と屈曲振動とから合成される楕円振動が、４個の駆動接触部７３を介してガイド軸７８に作用し、シャフト７８が、振動子本体７１及び７２の各駆動接触部７３の接触面によるガイドに従って、図４(a),(b) で示した同図(a) の図面奥行き方向、同図(b) では図面左右方向に進退移動する。これが、本発明における振動波リニアモータの動作原理である。
【０１３１】
尚、本実施の形態では、圧電体部が、Ａ相電極９８，９９が配設されるＡ相とＢ相電極１０１、１０２が配設されるＢ相の２個所で構成されているが、圧電体部は２個所と限ることなく、縦振動と屈曲振動を起こさせることができれば３個所以上であってもよい。
【０１３２】
また、本例では、振動子本体７１が、ほぼ直方体形状であるので、このような場合は、縦振動と屈曲振動により上記の駆動力が得られるが、駆動接触部に楕円振動を起こして駆動力を得られるのであれば、振動子は他の形状でもよい。また、１または複数の、同じまたは整数倍の周波数のモードを同時に励起しても、同じような振動運動を得ることができる。
【０１３３】
更に、駆動接触部は、振動波リニアモータとして最も高レベルの出力特性が得られる任意の位置、すなわち、振動子本体７１又は７２の最も高レベルの超音波楕円振動が行われる位置に設けられるのが望ましいが、一般には、楕円振動を行うことが駆動の源となるため少なくとも１個以上の駆動接触部では楕円振動が起こっており、少なくとも全ての駆動接触部の部位で生ずる振動による駆動力の総和が０にならないように駆動接触部を配置すればよい。
【０１３４】
また、全ての駆動子の位置で楕円運動が起こっている必要はなく、単振動または逆方向の振動が起こってもいても、各振動子からの駆動力の総計が０でなく、ある１方向への駆動力となっていればよい。
【０１３５】
いずれにしても、電極の配置位置、交番電圧の印加タイミング、駆動接触部の配置位置を適宜に設定することにより、上下２つの振動子を用いて最小限の入力電圧でシャフト７８の駆動が可能である。
【０１３６】
また、図８(a),(b) の示す振動子７１の例では、駆動接触部７３が振動子本体７１の長手方向両端部に形成されているが、このような場合、被駆動体である図４等に示すシャフト７８は、その移動方向の長さにおいて振動子の複数の駆動接触部（図８の例では２個）の最大配置長よりも長く形成されていなければならないということになる。
【０１３７】
＜実施形態１〜６＞
図９(a),(b) 、図１０(a),(b) 、図１１(a),(b) 、図１２(a),(b) 、図１３(a),(b) 及び図１４(a),(b) は、それぞれ振動波リニアモータの基本構成に基づく様々な実施形態を示す側面図及び正面図又は分解斜視図及び組立て上がり斜視図である。尚、これらの図において、図４(a) 〜(d) に示した基本構成と同一の構成部分には図４(a) 〜(d) と同一の番号を付与して示している。
【実施例１】
【０１３８】
図９(a),(b) は、実施形態１としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図９(a),(b) に示すように、本例では、第１の支持部７６及び第２の支持部７７にそれぞれ固定され、振動子７４及び７５をそれぞれ両側から挟むように配置された断面がコの字形の支持係合部材１１６が設けられる。この支持係合部材１１６のピン受け孔１１６−１が、振動子７４及び７５のピン部材取り付け孔（図６(a),(d),(e) のピン部材取り付け孔１０３参照）に挿入されたピン部材１１５（図７(a),(b) のピン部材１１５も参照）の両端に係合している。
【０１３９】
この構成においては、断面がコの字形の支持係合部材１１６に両側から挟まれて支持されている振動子７４はピン部材１１５と支持係合部材１１６が接着されていることから、水平及び上下のいずれの方向にも回転することはできない。しかし、振動子７５は支持係合部材１１６を支点としてシーソー状に揺動可能である。
【０１４０】
また、ここでは、第２の支持部７７の弾性が、図４(a),(b) に示したように振動子７４を直接付勢するのではなく、上記の支持係合部材１１６に当接し、これにより支持係合部材１１６及びピン部材１１５を介して振動子７４を付勢している。
【０１４１】
このように、振動子本体７１の振動の節部となる中央部８０に形成されているピン部材取り付け孔に挿通されているピン部材１１５を介して振動子７５を付勢するので、振動子本体の共振による変位を阻害しない構成で、振動子を簡単にシャフト７８に付勢することが可能である。また、振動子本体の変位しない中心部で付勢するので、振動子を均一にシャフトへ付勢でき、これにより、シャフト７８の安定した駆動が可能となる。このことは、複数の駆動接触部が図８のように配置され、シャフトへ付勢されている場合でも同様である。
【実施例２】
【０１４２】
図１０(a),(b) は、実施形態２としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図１０(a),(b) に示す振動波リニアモータは、図９(a),(b) の構成において、振動子７４の支持係合部材１１６のピン受け孔１１６−１にピン部材１１５の両端が接着されている。これにより、振動子７４は、図９(a),(b) の場合のように水平方向に回転することができないだけでなく図１０(a),(b) では上下方向の揺動も禁止される。
【０１４３】
すなわち、本例では、振動子７４は、図４(a),(b) に示したように駆動接触部７３（７３−２、７３−３）を有する面と反対面によって第１の支持部７６に直接固定されるのではなく、図１０(a),(b) に示すように、ピン部材１１５及び支持係合部材１１６を介して第１の支持部７６に完全に固定される。
【０１４４】
他方の振動子７５は、これも図４(a),(b) に示したように駆動接触部７３（７３−１）を有する面と反対面によって第２の支持部７６から付勢されながら支持されるのではなく、図１０(a),(b) に示すように、振動子７４と同じく両側から挟むように配置された断面がコの字形の支持係合部材１１７の、ピン受け孔の代わりに形成されたＶ字形の係合部１１７−１のＶ字の谷によって、振動子本体７２のピン部材取り付け孔（図６(a),(d),(e) のピン部材取り付け孔１０３参照）に挿入されたピン部材１１５（図７(a),(b) のピン部材１１５も参照）の両端を下方から支持されている。
【０１４５】
そして、支持係合部材１１７が、剛体の支持部７７´と圧縮バネ７９から成る第２の支持部７７により上方に付勢されていることにより、振動子７５は、振動が極小になる節の位置に固定されたピン１１５を介してシャフト７８に対して付勢されているという形態となっている。
【０１４６】
上述した図９(a),(b) 及び図１０(a),(b) いずれの場合も、振動子の振動が極小になる節の位置にあるピンを利用して振動子を固定するため、振動子の振動モードを阻害することない。そのため、振動子の駆動力を被駆動体であるシャフトにより多く、つまりより強く伝達することができる。これにより、駆動力の効率が向上する。
【０１４７】
なお、振動子７５は、揺動自在に固定されているため、シャフト７８の寸法、動きに合わせて振動子７５が姿勢を変えることができるので、シャフト７８の駆動を円滑に行うことができる。
【０１４８】
また、上記のように２つの振動子を、振動子の振動が極小になる節の位置にあるピンを利用して振動子を完全に固定又は揺動自在に位置固定する形態は、後述する図１１乃至図１４において示す実施の形態においても同様である。
【実施例３】
【０１４９】
図１１(a),(b) は、実施形態３としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図１１(a),(b) に示すように、本例の振動波リニアモータは、振動子７４を、図１０(a),(b) の場合と同様に第１の支持部７６に固定している。そして、振動子７５は、第１の支持部に固定した振動子７４に固定されたピン１１５から引っ張りバネ１１８等の引き付勢部材により、振動子７５に固定されたピン１１５を介して揺動自在にシャフト７８に付勢されている。
【０１５０】
このように、本例では、２個の振動子７４及び７５を、それぞれに固定されているピン１１５を用いてシャフト７８に付勢しているので、振動子７４及び７５の中心位置を合わせてシャフト７８に付勢することが可能であり、また、全体構成を小型化することが可能である。
【実施例４】
【０１５１】
図１２(a),(b) は、実施形態４としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図１２(a),(b) に示す振動波リニアモータは、下方に位置する振動子７５の振動本体７２の振動態様を屈曲振動のみにして、節の位置を２箇所とする。そして、これら２箇所の節の位置にそれぞれピン１１５を固定する。
【０１５２】
そして、これら２個のピン１１５と剛体の支持部７７´に固設された２個の支持係合部材１１７のＶ字形の係合部１１７−１のＶ字の谷との係合により、振動子７５が支持係合部材１１７を介して支持部７７´に固定されている。
【０１５３】
他方、上方に位置する振動子７４については、振動子７５に固定したピン１１５を介して１個の支持係合部材１１７及び圧縮バネ７９を介して揺動自在にシャフト７８に付勢されて第１の支持部に位置固定されている。
【０１５４】
このように、本例では、下に位置する振動子７５を２点で支持するため、ピン１１５を支持部７７´に接着等で固定しなくても、振動子７５を水平方向にも上下方向にも回転の力が加わらないように固定できる。
【実施例５】
【０１５５】
図１３(a),(b) は、実施形態５としての振動波リニアモータの構成を示す図である。図１３(a),(b) に示す振動波リニアモータは、下方に位置する振動子７５の振動本体７２の振動態様を屈曲振動のみにして節の位置を２箇所とし、これら２箇所の節の位置にそれぞれピン１１５を固定し、これら２個のピン１１５と剛体の支持部７７´に固設された２個の支持係合部材１１７のＶ字形の係合部１１７−１のＶ字の谷との係合により、振動子７５が支持係合部材１１７を介して支持部７７´に固定される点においては図１２(a),(b) の場合と同様である。
【０１５６】
本例において図１２(a),(b) の場合と異なる点は、振動子７５の２箇所に所設けたピン１１５間に、弾性力の小さいループ状の糸状部材１１９を掛け渡し、この糸状部材１１９の上方中間部と、上方に位置する振動子７４のピン１１５とに引っ張りバネ１１８を掛け渡して振動子７４をシャフト７８に付勢する。
【０１５７】
このように。本例では、各々の振動子７４及び７５に固定されたピン１１５を、ループ状の糸状部材１１９及び引っ張りバネ１１８により相互に引っ張り、シャフトに付勢するので、装置が小型化に有効である。
【０１５８】
また、２個の振動子７４及び７５とも支持部に固定せずとも水平及び上下方向への回転力が働かず、シャフト７８を一定方向（同図(a) では図面左右方向、同図(b) では図面奥行き方向）へ確実に規制又は案内することができる。
【０１５９】
尚、上述した第１乃至第５の実施形態においては、一方の振動子の駆動接触部を２個とし、他方の振動子の駆動接触部を１個として説明してきたが、基本形態の説明において図５(d),(e) にも示したように、振動子７４及び７５とも駆動接触部７３をそれぞれ２個の構成としても良いことは勿論である。
【０１６０】
この場合、駆動接触部７３の配設位置は、図５(d),(e) にも示したように、シャフト７８を介して対向する位置にくるようにするとよい。また、これらそれぞれ２個の駆動接触部７３の配置位置は、振動子７４又は７５の長さ範囲内で、振動子７４又は７５の駆動力を伝達できる場所に在れば、どの位置に在っても良い。
【０１６１】
また、シャフト７８を介して対向する位置（面）でさえあれば、図５(d),(e) に示したように個々の駆動接触部７３同士が対向している必要はなく、一方の振動子の駆動接触部の配置が図５(d) のようであって、他方の振動子の駆動接触部の配置が図５(e) のようであってもよい。
【０１６２】
このように、駆動接触部を各振動子ともに２個とすることにより、駆動力を向上させることが可能となる。また、駆動接触部が１個のときと比較して安定性が増加すると共にシャフトへの案内性がより向上する。更に、図５(e) に示すように２個の駆動接触部が振動子の両端に有る場合は、シャフトへの案内性はより向上する。
【実施例６】
【０１６３】
図１４(a) は、は実施形態６としての振動波リニアモータの構成を示す分解斜視図、同図(b) はその組立て上がり状態を示す斜視図である。同図(a),(b) に示すように、振動波リニアモータ１２０は、先ず、図４乃至図１３に示した直方体形状をした振動子本体７１及び７２と複数（図１４(a),(b) の例ではそれぞれ２個）の駆動接触部７３とから成る振動子７４及び７５を備えている。これらの振動子７４及び７５の振動の節部となる中央部には、それぞれピン部材１１５が挿通され、その両端は振動子７４及び７５の両側面からそれぞれ外部に突出している。
【０１６４】
これらの振動子７４及び７５を上部と下部に収容して長手方向（同図(a),(b) の斜め左下から斜め右上方向）への移動を禁止する一方で、長手方向の両面にシャフト７８が挿通されるシャフト挿通孔１２１−１、１２１−２を形成されているハウジング１２２が備えられる。ハウジング１２２の上部と下部に収容される振動子７４及び７５の間に、ハウジング１２２のシャフト挿通孔１２１−１、１２１−２を挿通されたシャフト７８が介装される。
【０１６５】
上記のハウジング１２２の上下から、ハウジング１２２の上部と下部を抱き込むように付勢係合部材１２３−１、１２３−２が組み合わせられる。付勢係合部材１２３−１、１２３−２の長手方向の一方の端部（同図(a),(b) の斜め右上方向端部）には、それぞれ係止ピン孔１２４−１、１２４−２が形成されており、これらの係止ピン孔に対応して、ハウジング１２２の上部と下部の長手方向の一方の端部にも、それぞれ係止ピン孔１２５−１、１２５−２が形成されている。
【０１６６】
これら上方の付勢係合部材１２３−１の係止ピン孔１２４−１とハウジング１２２上部の係止ピン孔１２５−１に連結止めピン１２６−１が挿通される。この連結止めピン１２６−１を支点にして付勢係合部材１２３−１が揺動自在にハウジング１２２の上端部に係止する。
【０１６７】
他方、下方の付勢係合部材１２３−２の係止ピン孔１２４−２とハウジング１２２下部の係止ピン孔１２５−２に連結止めピン１２６−２が挿通される。この連結止めピン１２６−２を支点にして付勢係合部材１２３−２が揺動自在にハウジング１２２の下端部に係止する。
【０１６８】
また、付勢係合部材１２３−１、１２３−２の長手方向の他方の端部（同図(a),(b) の斜め左下方向端部）には、それぞれ付勢用ピン孔１２７−１、１２７−２が形成されている。これら付勢用ピン孔１２７−１、１２７−２には、それぞれ付勢用係合ピン１２８−１、１２８−２が挿通される。
【０１６９】
付勢用係合ピン１２８−１の外部に突出する両端部には、それぞれ円周に沿って切り欠かれた止め溝１２８−１ａ、１２８−１ｂが形成されており、他方の付勢用係合ピン１２８−２の外部に突出する両端部にも、それぞれ円周に沿って切り欠かれた止め溝１２８−２ａ、１２８−２ｂが形成されている。
【０１７０】
同図(b) には定かには示していないが、上記付勢用係合ピン１２８−１の手前側の止め溝１２８−１ａと付勢用係合ピン１２８−２の手前側の止め溝１２８−２ａに、引き付勢力を有する一方の螺旋バネ１２９−１の両端がそれぞれ係止し、上記付勢用係合ピン１２８−１の向う側の止め溝１２８−１ｂと付勢用係合ピン１２８−２の向う側の止め溝１２８−２ｂ（いずれも同図(b) では他部材の陰になって見えない）に、引き付勢力を有する他方の螺旋バネ１２９−２の両端がそれぞれ係止する。
【０１７１】
これにより、上の付勢係合部材１２３−１は、連結止めピン１２６−１を支点にして全体が下方に付勢され、その係合部１２３−１−１が、上の振動子７４のピン部材１１５に係合して振動子７４を下方に付勢し、下の付勢係合部材１２３−２は、連結止めピン１２６−２を支点にして全体が上方に付勢され、その係合部１２３−２−１が、下の振動子７５のピン部材１１５に係合して振動子７５を上方に付勢する。
【０１７２】
これらの振動子７４と振動子７５に押圧挟持されるシャフト７８の一方の端部（図１４(a),(b) の斜め右上方向の端部）には、ナット１３１が固定され、そのナット１３１には駆動係合ピン１３２がシャフト７８の軸に直角に且つ水平に且つ向う向き（同図(a),(b) では斜め左上向き）に固定して取り付けられる。
【０１７３】
尚、駆動係合ピン１３２の長く延び出す先端は、同図(b) では他部材の陰になって見えない。この駆動係合ピン１３２は、シャフト７８が振動子７４と振動子７５により長手方向に進退駆動されることに応じて、そのシャフト７８の動作に従って移動する。
【０１７４】
図１５(a) は、上記振動波リニアモータ１２０と、第３の移動鏡枠１９との連結方法を説明する斜視図であり、同図(b) は、その連結部のみを取り上げて示す拡大斜視図である。尚、同図(a) は、図３において振動波リニアモータ４６（図１５(a) では１２０）と第３の移動鏡枠１９を見た図である。また、図１５(a) は、シャフト７８の端部のナット１３１に斜め左上向う側に突設されている駆動係合ピン１３２を、その突設側方向に、分かり易いようにナット１３１から脱離させて示している。
【０１７５】
図１６(a) は、図１５(b) を矢印ｃ方向に見た図、図１６(b) は図１５(b) のＡ−Ａ´矢視断面図である。尚、図１６(b) には駆動係合ピン１３２と共にシャフト７８とナット１３１の断面も示している。
【０１７６】
図１５(a) に示すように、第３の移動鏡枠１９は、第３の移動レンズ部１２を保持する鏡枠本体１３３と軸受け部５３−３と、この軸受部５３−３から下方に突設された係合突設部１３４から構成されている。係合突設部１３４のほぼ中央部には鏡枠本体１３３が光軸Ｏ２に沿って移動する移動方向に並行する方向に長い長孔１３５が穿設されている。
【０１７７】
この長孔１３５には（以下、図１６(a),(b) も参照）、移動出力取出用の駆動係合ピン１３２を第３の移動鏡枠１９との当接個所（係合突設部１３４の長孔１３５）に付勢する板バネ１３６が図の向う側から係合する。
【０１７８】
板バネ１３６は、平らな本体部１３６−１と、この本体部１３６−１の下方から手前と上方に２段に折り曲げられたけ係止部１３６−２と、本体部１３６−１の左横から手前に折り曲げられた付勢部１３６−３とで構成されている。
【０１７９】
この板バネ１３６は、その係止部１３６−２が、第３の移動鏡枠１９の長孔１３５が形成されている係合突設部１３４の下端部を向う側から回り込むように挟みつけて係合突設部１３４に係止する。これにより、板バネ１３６の本体部１３６−１が長孔１３５の向う側開口面に密着し、付勢部１３６−３が長孔１３５内の所定の位置に向う側から挿入される。付勢部１３６−３と長孔１３５の左端部間には移動出力取出用の駆動係合ピン１３２が挿通されるだけの間隙が形成されている。
【０１８０】
第３の移動鏡枠１９の鏡枠本体１３３の向う側の側面１３３−１と、係合突設部１３４の手前側の面との間には、ちょうど振動波リニアモータ１２０の振動子本体７１及び７２の図６に示したＡ＋電極接続外部端子９８、Ａ−電極接続外部端子９９、Ｂ＋電極接続外部端子１０１、及びＢ−電極接続外部端子１０２に接続されるフレキシブル基板が配置されるだけの空隙が形成されている。
【０１８１】
この空隙に振動波リニアモータ１２０が配置されたとき、その移動出力取出用の駆動係合ピン１３２が、図１５(b) に示すように、付勢部１３６−３と長孔１３５の左端部間に形成されている間隙に挿通される。
【０１８２】
この係合により、移動出力取出用の駆動係合ピン１３２は、長孔１３５内において、第２の光軸Ｏ２方向への動きを禁止され、図１５(a) では図示を省略している図２に示した金属フレーム２３ａに図１４(b) に示したハウジング１２２が固定配置される振動波リニアモータ１２０のシャフト７８の第２の光軸Ｏ２方向への移動を忠実に第３の移動鏡枠１９に伝達する。
【０１８３】
また、駆動係合ピン１３２は、他方では、上記の係合において、上下の動きには遊びが許されている。この遊びにより、振動子本体７１及び７２とシャフト７８の、振動子本体７１又は７２のピン部材１１５を中心とする上下方向の斜揺動等が吸収される。
【０１８４】
また、これにより、移動出力取出用の駆動係合ピン１３２は、上記のようにシャフト７８の第２の光軸Ｏ２方向への移動の向きと力を第３の移動鏡枠１９に正確に伝達する一方で振動子本体７１及び７２の楕円振動等による上下動に影響されるシャフト７８の上下動に応じた上下動は長孔１３５内における上下動で吸収し、第３の移動鏡枠１９に伝達することはない。
【０１８５】
このように、本例ではシャフト７８と第３の移動鏡枠１９間の連結には、一方でシャフト７８にナット１３１を介して固定され、他方では板バネ１３６の付勢力により第３の移動鏡枠１９鏡枠との当接個所（係合突設部１３４の長孔１３５）に当接するのみの移動出力取出用の駆動係合ピン１３２による連結状態を形成して、これによりシャフト７８の移動力（駆動力）を第３の移動鏡枠１９の移動に伝達するようにしている。
【０１８６】
このように、駆動係合ピン１３２は、振動波リニアモータ１２０を或る電子機器、装置等に搭載した場合に、シャフト７８の移動駆動力を外部（電子機器内の移動駆動機構、装置内の被移動駆動物）へと伝達するための移動駆動伝達手段である。
【０１８７】
また、リニア駆動させることで、レンズ鏡枠などの直線移動を行う部材を直接に駆動することが可能となり、機械損失が低減でき、高効率な駆動を実現することができるようになる。
【０１８８】
また、カメラの鏡枠を被駆動体としたときは、リニア駆動によりレンズ鏡枠つまりレンズを直接駆動出来るため合焦時間を短くすることができ、迅速な撮影動作に対処することが容易に出来るようになる。
【０１８９】
ところで、前述の図４(a),(b) において、本例における振動波リニアモータは、シャフト７８と２つの振動子７４及び７５とは相対的に移動する関係にあると説明した。
これを図１５(a) で説明すると、図１５(a) の場合は固定されたハウジング１２２に対して移動するシャフト７８によって、このシャフト７８にナット１３１及び駆動係合ピン１３２を介して連結された第３の移動鏡枠１９が移動するが、例えばシャフト７８の移動方向の前後の端部を、シャフト７８の振動を阻害しない弾性部材で挟持し、この弾性部材を金属フレーム２３ａに固定し、ハウジング１２２との固定連結部を第３の移動鏡枠１９の適宜の部位に形成する。
【０１９０】
そうすれば、シャフト７８は固定配置となり、このシャフト７８に対して相対的に振動子７４及び７５つまりハウジング１２２が移動することになり、すなわちハウジング１２２に固定連結された形の第３の移動鏡枠１９の方が移動するようになる。
【０１９１】
そのような構成にすることも可能であり、従ってシャフト７８と２つの振動子７４及び７５とは相対的に移動する関係にあると説明したものである。
【図面の簡単な説明】
【０１９２】
【図１】(a) は本発明の振動波リニアモータを搭載したレンズ装置を示す外観斜視図、(b) は(a) に示すレンズ装置のＡ−Ａ´矢視断面を(a) の矢印ａ方向から見たレンズユニット各部の概略の構成を示す図である。
【図２】レンズ装置を上方から見た分解斜視図である。
【図３】レンズ装置を天地を逆にして下方から見た分解斜視図である。
【図４】(a) は本例において用いられる振動波リニアモータの基本構成を示す側面図、(b) はその正面図、(c) は基本構成の他の例を示す側面図、(d) はその正面図である。
【図５】(a),(b) は駆動接触部のシャフトとの接触面の断面形状の例を示す図、(c),(d),(e) は駆動接触部の振動子本体への配置例を示す図である。
【図６】(a) は振動波リニアモータの振動子本体の正面図、(b) はその側面図、(c) は(a),(b) に示す振動子本体の圧電体シートと電極配置を示する図、(d),(e) は振動子本体の他の構成例を２例示す図である。
【図７】(a),(b) は電極への電圧印加により発振駆動される振動波リニアモータの振動子本体の超音波楕円振動を模式的に説明する斜視図、(c) は(b) の２次の屈曲振動を分かり易く振動子本体の輪郭線のみで示す図である。
【図８】(a),(b) は位相がπ／２だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加したときの振動子の駆動接触部の楕円振動を模式的に示す図である。
【図９】(a),(b) は実施形態１としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１０】(a),(b) は実施形態２としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１１】(a),(b) は実施形態３としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１２】(a),(b) は実施形態４としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１３】(a),(b) は実施形態５としての振動波リニアモータの構成を示す図である。
【図１４】(a) は実施形態６としての振動波リニアモータの構成を示す分解斜視図、(b) はその組立て上がり状態を示す斜視図である。
【図１５】(a) は振動波リニアモータと第３の移動鏡枠との連結方法を説明する斜視図、(b) はその連結部のみを取り上げて示す拡大斜視図である。
【図１６】(a) は図１５(b) を矢印ｃ方向に見た図、(b) は図１５(b) のＡ−Ａ´矢視断面図である。
【符号の説明】
【０１９３】
１ レンズ装置
２ 回路基板
８ 第１の固定レンズ部
９ 第１の移動レンズ部
１１ 第２の移動レンズ部
１２ 第３の移動レンズ部
１３ 第２の固定レンズ部
１４ 撮像素子
Ｌ１ プリズム一体化レンズ
Ｌ２、Ｌ９ 固定レンズ
Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７、Ｌ８ 移動レンズ
１５ 第１の固定鏡枠部
１５−１ 切欠部
１６ 第２の固定鏡枠部
１７ 第１の移動鏡枠
１８ 第２の移動鏡枠
１８−１ 切欠部
１９ 第３の移動鏡枠
１９−１ 切欠部
１９−２ 突設部
２１ 絞り位置（シャッタ位置）
２２ 主固定鏡枠
２３（２３ａ、２３ｂ、２３ｃ） 金属フレーム
２４ 接着剤溜まり部
２５ ズーム用シャフトカム
２６（２６ａ、２６ｂ） 細径部
２７ ギア
２８ 軸受嵌合孔
２９ 軸受
３１ 凸部
３２ 付勢板バネ
３２−１ 曲がり足部
３２−２ 止め切片
３２−３ 付勢バネ部
３３ 切欠部
３４ 凸部
３５ ズーム用モータユニット
３６ 減速ギア列
３７ ギア軸固定部
３８ 止め板固定部
３９ 位置決め孔
４１ 止め孔
４２ 絞り・シャッタユニット
４３ 絞り・シャッタ部
４４、４５ ロータリーソレノイド
４６ 振動波リニアモータ
４７ 磁気センサユニット
４８ 磁気センサホルダ
４９ 磁気センサ
５１ 磁気スケール
５２ 付勢バネ
５３（５３−１、５３−２、５３−３） 軸受部
５４（５４−１、５４−２、５４−３） ガイド孔
５５（５５−１、５５−２、５５−３） Ｕ字切欠部
５６ 前端部外面
５７ 側面部
５８ 段差部
５９ 光反射部材
６１（６１−１、６１−２） カムフォロア
６２ 光反射部材
６３（６３−２、６３−３） 凸部
６４（６４−１、６４−２） ガイド軸支持孔
６５ 第１のガイド軸
６６ 圧縮バネ
６７ ガイド軸支持孔
６８ 第２のガイド軸
６９ 開口部
７１、７２ 振動子本体
７３（７３−１、７３−２、７３−３） 駆動接触部
７４、７５ 振動子
７６ 第１の支持部
７７ 第２の支持部
７７´ 剛体の支持部
７８ シャフト
７９ 圧縮バネ
８０ 振動の節部となる中央部
８１ 振動の節部となる中央部を通る直線
８２ シャフトの中心軸
８６、８６ｍ、８６ｎ 圧電体シート
８７ 圧電体シート層
８８ 弾性体シート
８９ 弾性体シート層
９１ 絶縁体シート
９４ Ａ＋内部電極箔
９４−１、９５−１ 端子
９５ Ｂ−内部電極箔
９６ Ａ−内部電極箔
９６−１、９７−１ 端子
９７ Ｂ＋内部電極箔
９８ Ａ＋電極接続外部端子
９９ Ａ−電極接続外部端子
１０１ Ｂ＋電極接続外部端子
１０２ Ｂ−電極接続外部端子
１０３ ピン部材取り付け孔
１０５ 圧電体
１０６ 振動子本体主要部
１０７ 振動子本体部品
１０８ 弾性体部
１０９ 単板圧電体
１１１ １次の縦振動の静止位置
１１２ １次の縦振動の共振縦振動位置
１１３ ２次の屈曲振動の静止位置
１１４ ２次の屈曲振動の共振屈曲振動位置
１１５ ピン部材
１１６、１１７ 支持係合部材
１１８ 引っ張りバネ
１１９ ループ状の糸状部材
１２０ 振動波リニアモータ
１２１−１、１２１−２ シャフト挿通孔
１２２ ハウジング
１２３−１、１２３−２ 付勢係合部材
１２３−１−１、１２３−２−１ 係合部
１２４−１、１２４−２ 係止ピン孔
１２５−１、１２５−２ 係止ピン孔
１２６−１、１２６−２ 連結止めピン
１２７−１、１２７−２ 付勢用ピン孔
１２８−１、１２８−２ 付勢用係合ピン
１２９−１、１２９−２ 螺旋バネ
１３１ ナット
１３２ 駆動係合ピン
１３３ 鏡枠本体
１３４ 係合突設部
１３５ 長孔
１３６ 板バネ
１３６−１ 本体部
１３６−２ 係止部
１３６−３ 付勢部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動体と、
該被駆動体を所定の一定方向に駆動する２個以上の駆動接触部を有する第１の振動子と、
前記被駆動体を前記第１の振動子による駆動と同一向きに駆動する１個以上の駆動接触部を有する第２の振動子と、
前記第１又は第２の振動子のいずれか一方を固定して支持する第１の支持部と、
前記第１又は第２の振動子のいずれか他方を揺動可能に支持する第２の支持部と、
該第２の支持部により揺動可能に支持される前記第１又は第２の振動子を前記被駆動体に付勢する付勢手段と、
を有することを特徴とする振動波リニアモータ。
【請求項２】
前記第１又は第２の振動子の少なくともいずれか一方の駆動接触部は、前記被駆動体の形状に合わせて該被駆動体を前記所定の一定方向に案内する形状を有していることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項３】
前記第２の振動子の１個以上の前記駆動接触部は、前記第１の振動子の２個以上の前記駆動接触部の間に対向して配置される、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項４】
前記第１の振動子は、前記駆動接触部を有する面と反対面を前記第１の支持部に固定されている、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項５】
前記第１の振動子は、振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して前記第１の支持部に固定される、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項６】
第２の支持部は、揺動可能に支持する前記第１又は第２の振動子を前記所定の一定方向に沿う方向に位置固定して支持する、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項７】
前記第２の振動子は、前記駆動接触部を有する反対面を前記第２の支持部により前記被駆動体の傾きに合わせて揺動自在に位置固定されている、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項８】
前記第２の振動子は、振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して前記被駆動体に付勢されている、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項９】
前記第２の振動子は、振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して第２の支持部により前記被駆動体の傾きに合わせて揺動自在に支持されている、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１０】
前記第１の振動子の節の位置に設けられたピンと前記第２の振動子の節の位置に設けられたピンとの間に引き付勢部材を張り渡して、前記第１及び第２の振動子を前記被駆動体に付勢する、ことを特徴とする請求項５、８又は９記載の振動波リニアモータ。
【請求項１１】
前記第１の振動子は、振動が極小となる節の位置を２点有し、該節の位置にそれぞれ固定されたピンにより前記第１の支持部に支持される、ことを特徴とする請求項５記載の振動波リニアモータ。
【請求項１２】
前記第１の振動子の節の位置に設けられたピンと、前記第２の振動子の２個の節の位置に設けられたピン間に差し渡された部材とに係合する引き付勢部材により、前記第１及び第２の振動子を前記被駆動体に付勢する、ことを特徴とする請求項１１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１３】
前記第１及び第２の振動子ともに、前記被駆動体を介して対向する２箇所の位置にそれぞれ前記駆動接触部を備えている、ことを特徴とする請求項１乃至１２記載の振動波リニアモータ。
【請求項１４】
請求項１乃至１３に記載のいずれかの振動波リニアモータを、合焦用レンズの駆動源として搭載したことを特徴とするレンズ装置。
【請求項１】
被駆動体と、
該被駆動体を所定の一定方向に駆動する２個以上の駆動接触部を有する第１の振動子と、
前記被駆動体を前記第１の振動子による駆動と同一向きに駆動する１個以上の駆動接触部を有する第２の振動子と、
前記第１又は第２の振動子のいずれか一方を固定して支持する第１の支持部と、
前記第１又は第２の振動子のいずれか他方を揺動可能に支持する第２の支持部と、
該第２の支持部により揺動可能に支持される前記第１又は第２の振動子を前記被駆動体に付勢する付勢手段と、
を有することを特徴とする振動波リニアモータ。
【請求項２】
前記第１又は第２の振動子の少なくともいずれか一方の駆動接触部は、前記被駆動体の形状に合わせて該被駆動体を前記所定の一定方向に案内する形状を有していることを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項３】
前記第２の振動子の１個以上の前記駆動接触部は、前記第１の振動子の２個以上の前記駆動接触部の間に対向して配置される、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項４】
前記第１の振動子は、前記駆動接触部を有する面と反対面を前記第１の支持部に固定されている、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項５】
前記第１の振動子は、振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して前記第１の支持部に固定される、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項６】
第２の支持部は、揺動可能に支持する前記第１又は第２の振動子を前記所定の一定方向に沿う方向に位置固定して支持する、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項７】
前記第２の振動子は、前記駆動接触部を有する反対面を前記第２の支持部により前記被駆動体の傾きに合わせて揺動自在に位置固定されている、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項８】
前記第２の振動子は、振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して前記被駆動体に付勢されている、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項９】
前記第２の振動子は、振動が極小になる節の位置に固定されたピンを介して第２の支持部により前記被駆動体の傾きに合わせて揺動自在に支持されている、ことを特徴とする請求項１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１０】
前記第１の振動子の節の位置に設けられたピンと前記第２の振動子の節の位置に設けられたピンとの間に引き付勢部材を張り渡して、前記第１及び第２の振動子を前記被駆動体に付勢する、ことを特徴とする請求項５、８又は９記載の振動波リニアモータ。
【請求項１１】
前記第１の振動子は、振動が極小となる節の位置を２点有し、該節の位置にそれぞれ固定されたピンにより前記第１の支持部に支持される、ことを特徴とする請求項５記載の振動波リニアモータ。
【請求項１２】
前記第１の振動子の節の位置に設けられたピンと、前記第２の振動子の２個の節の位置に設けられたピン間に差し渡された部材とに係合する引き付勢部材により、前記第１及び第２の振動子を前記被駆動体に付勢する、ことを特徴とする請求項１１記載の振動波リニアモータ。
【請求項１３】
前記第１及び第２の振動子ともに、前記被駆動体を介して対向する２箇所の位置にそれぞれ前記駆動接触部を備えている、ことを特徴とする請求項１乃至１２記載の振動波リニアモータ。
【請求項１４】
請求項１乃至１３に記載のいずれかの振動波リニアモータを、合焦用レンズの駆動源として搭載したことを特徴とするレンズ装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２００６−６７７１２（Ｐ２００６−６７７１２Ａ）
【公開日】平成１８年３月９日（２００６．３．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２４７９６２（Ｐ２００４−２４７９６２）
【出願日】平成１６年８月２７日（２００４．８．２７）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年３月９日（２００６．３．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年８月２７日（２００４．８．２７）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
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