【課題】ワークにそりや局部的な変形を発生させない吸着装置を提供する。
【解決手段】ワーク５を吸着する吸着装置２０であって、吸着板２１と、吸着板２１に設けられワーク５の外形に沿って額縁状に形成された多孔質の多孔質吸着部２２と、多孔質吸着部２２に連通された負圧発生部２５と、を備えている。このため、ワーク５を吸着する部分がワーク５の外形付近であり、吸着する面積が広いためワーク５にそりや局部的な変形を与えることなく吸着ができる。そして、ワーク５に不要な応力をかかることがなく、ワーク５の割れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】負圧源の能力を必要以上に大きくすることなく、かつ、段取り工程を設けることなく、大きさの異なるワークを吸着して保持することができるワーク保持装置を提供する。
【解決手段】ワーク保持装置は、内部に中空部３３ｂが形成された箱状で、ワークＷとの当接面３３ｓと中空部３３ｂと連通する複数の貫通穴５０を有する。各貫通穴５０の軸方向の中間に、直径が貫通穴５０の直径よりも大径の洞部５１を設け、洞部５１に洞部５１の直径よりも小径かつ貫通穴５０の直径よりも大径のボール５２を配置する。 （もっと読む）

【課題】基板載置部から基板を受け取ったときに基板の姿勢が異常な状態であるか否かを確実に検出すること。
【解決手段】前記フォーク３Ａを基体３１に沿って前進させ、ウエハＷを保持する突き上げピン７３に対して上昇させることにより、当該突き上げピン７３上のウエハＷをフォーク３Ａに受け取る。このときに前記保持爪３０Ａ〜３０Ｄの各々に設けられた歪みセンサ４Ａ〜４Ｄにより、保持爪３０Ａ〜３０Ｄに上から荷重が加わったときの当該保持爪３０Ａ〜３０Ｄの歪み量を検出する。各々の歪みセンサの歪み量に基づいて、ウエハＷの姿勢が正常であるか否かを判断し、ウエハＷの姿勢が異常であると判断したときに、前記フォーク３Ａの後退を禁止する。 （もっと読む）

【課題】ワークが保持される状態において、ワークの姿勢の安定性を高めつつワークと他の部材との接触を防止するチャック装置を提供する。
【解決手段】ワークＷに対向する保持面３２に開口する旋回室３３を有した保持部材１２を備え、旋回室３３に流入した圧縮空気の旋回流によって旋回室３３とワークＷとの間に負圧を形成するとともに、旋回室３３から流出した圧縮空気によって保持面３２とワークＷとの間に正圧を形成することによって、支持台４０に支持されたワークＷを浮上させて保持部材１２から保持距離ＨＤだけ離れた保持位置でワークＷを保持するチャック装置１０において、ワークＷの浮上方向において保持面３２から保持位置よりも保持部材１２の領域である規制領域に配置されるとともに、ワークＷとの接触によって浮上方向におけるワークＷの進路を規制領域の支持台４０側に規制する浮上規制部材４５を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の移送時に、基板表面を損傷することなく安全に移送するための基板移送ロボットを提供すること。
【解決手段】基板（１１）を移送するためのロボットアーム（１０）と、当該ロボットアーム（１０）から前記基板（１１）を浮上させる浮上部（２０）と、当該ロボットアーム（１０）に装着されて前記基板（１１）の重量を支持する基板支持部（３０）とを含み、ガラス基板の移送時に、基板表面を損傷することなく安全に移送するための基板移送ロボットが提供される。 （もっと読む）

【課題】直線的に移動する部材を有するリニア軸においてその近傍からファンを無くすとともに、リニア軸の近傍からファンを廃止しても発塵を防止することができる機構と、それを備えた基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】発塵防止機構を、ベース部材１３４においてスライド部材１０７の進退方向の前端部分および後端部分に形成された前端開口および後端開口１５５と、ベース部材１３４において前端開口と後端開口との間に形成された中央開口１５６と、前端開口と後端開口との間にあって中央開口１５６を覆うように設置され、前端と後端とが前端開口と後端開口とにそれぞれ到達する内部カバー１７１と、前端開口および後端開口をそれぞれ覆う補助カバー１７２と、によって構成し、スライド部材によるポンプ作用を発生させる。 （もっと読む）

【課題】待機時のアーム等の落下を防止しつつ待機時の産業用ロボットの消費電力を低減することが可能で、かつ、産業用ロボットのスループットを向上させることが可能なロボット制御装置を提供する。
【解決手段】ロボット制御装置１５は、産業用ロボットを駆動するためのモータ１７と、モータ１７を制動するための制動手段１８と、モータ１７を駆動するモータ駆動手段２０と、モータ駆動手段２０に電力を供給する電力供給手段２１と、制動手段１８、モータ駆動手段２０および電力供給手段２１を制御する制御手段２２とを備えている。制御手段２２は、制動手段１８を作動させてモータ１７を停止させるとともに、制動手段１８の作動中に電力供給手段２１を制御してモータ駆動手段２０に電力を供給しながらモータ駆動手段２０を制御してモータ１７への電流の供給を停止する。 （もっと読む）

【課題】 基板保護、装置保護のための基板有無検出、および衝突検出を小型、低コストな１つのセンサにて精度よく検出し、基板の大型化に対する鉛直方向の振動についても同時に低減できる基板搬送用装置を提供する。
【解決手段】 エンドエフェクタに取り付けたひずみセンサと、ひずみセンサ出力から基板有無を検出する基板有無検出部と、衝突有無を検出する衝突有無検出部と、鉛直方向の振動を低減する振動低減部を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板搬送装置の待機姿勢時における消費電力を、低減する方法を提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部１４と、前記ハンド部１４と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節を備え、前記ハンド部１４を一方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された水平アーム機構３０と、前記水平アーム機構３０を上下に移動するベース部材に備えられた少なくとも２組のリンク機構から構成され昇降機構２０と、から構成され、前記水平アーム機構３０の待機位置は、前記水平アーム機構３０が最下降位置に移動し、前記水平アーム機構は前記昇降機構２０の間に配置されたものである。 （もっと読む）

【課題】基板搬送用ロボットのハンド部のフォークに対して要求される耐熱性要求、剛性要求、軽量化要求を満たすと共に、長尺化要求をも満たすフォーク構造を提供する。
【解決手段】基板に薄膜処理を施す際に使用する基板を搬送するロボットのハンド部に使用されるフォーク構造において、幅方向に複数枚の板状部材１１，１２，１３を連ね、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に複数段継ないだ梁状構造物をなし、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に継ぐ位置において、基端側の複数枚の板状部材と先端側の複数枚の板状部材が互い違いに重なり合っており、当該複数の板状部材が互い違いに重なり合っている部位の少なくとも２箇所において、複数個のボルト・ナット５１ａ等による機械的な締結部品や凹凸面の嵌合によるせん断荷重伝達手段５１を設けた構成のフォーク構造とした。 （もっと読む）

【課題】直動機構を用いることなくワークを出し入れすることができると共に、高速動作が可能で、かつ、低発塵、省スペース化に寄与する水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置を提供すること。
【解決手段】エンドエフェクタ２０、第１アーム３０、第２アーム４０に、さらに第３アーム５０を備え、第３アーム５０を揺動回転動作させることによって、例えば、アクセス位置Ｐ１の軸線Ｐ１ａの延長線上に第３回転軸Ｎ３がくるようにしてから直線状にエンドエフェクタ２０を移動させてワークの出し入れを行う。 （もっと読む）

【課題】交互に挟まれた状態にある板ガラスと合紙を同時に取り出す際に、安定して両者を吸着保持でき、また、ガラス板からはみ出ている合紙端部の折れ曲がりや癖付き等に対しても確実に吸着保持できる吸着装置を提供すること。
【解決手段】板ガラスＧの一方の平面側を吸着するガラス吸着パッド１１と、ガラス吸着パッド１１が板ガラスＧを吸着する際、板ガラスＧの他方の平面側に位置する合紙Ｐの板ガラスＧの周辺からはみ出た合紙端部を、板ガラスＧの一方の平面側から、板ガラスＧの辺に沿って長手方向に配置され合紙端部に線状に接触する吸着開口部１２ａにより吸着する合紙吸着治具１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】 半導体プロセス用ウエハを把持した後、素早く移動させることができるエッジグリップ装置を提供する。
【解決手段】 チャックハンド１は、半導体プロセス用ウエハ３をフロントガイド１２に向かって押圧して半導体プロセス用ウエハ３を把持するプッシャー２５を有する押圧機構１４を備えている。押圧機構１４は、プッシャー支持体２２と、緩衝部材２８とを更に有している。プッシャー支持体２２は、進退できるよう構成され、前後にスライドできるようにプッシャー２５に設けられている。プッシャー支持体２２は、その前方に隙間２６ａがあいている。隙間２６ａには、反発力が小さく弾性変形可能な緩衝部材２８が介在している。プッシャー支持体２２は、前進すると、緩衝部材２８を介してプッシャー２５を押されて前方に移動させる。プッシャー２５は、半導体プロセス用ウエハ３に当たって押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームを構成する部材に、高いアライメント精度を要求することなく、その動作を実現することができるロボットアーム及びこれを用いた搬送装置を提供すること。
【解決手段】ガイド機構１０は、上述のガイド軸１５と、これらガイド軸１５の動きをガイドする部材としてガイドプレート１６とを備えている。ガイドプレート１６には、ガイド軸１５が挿通されるガイド穴１７ａを形成するためのガイド穴形成部材１７が固定されている。ガイド穴１７ａは、一方向であるＸ軸方向に長い形状に形成され、ガイドプレート１６をベースとしてガイド軸１５がＸ軸方向に移動するようにそれの動きをガイドする。軸受ローラ１８の外周面１８ａと、ガイド穴形成部材１７の内側壁１７ｂとの間には隙間Ｑが設けられている。これにより、実質的に重力方向でガイド軸１５の自由度を維持でき、ガイド軸１５及び軸受ローラ１８のＹ軸方向の動きの自由度も確保される。 （もっと読む）

【課題】合紙とガラス基板等の板状体を交互に積層してなる積層体を開梱する場合において、周辺環境による合紙折れ曲がり面の状態変化によっても、合紙の吸着不良を発生させずに、合紙除去可能な合紙除去装置を提供する。
【解決手段】合紙と基板が交互に積載され、前記合紙がガラス基板よりも大きく、少なくとも1辺に前記合紙吸着部を有した積層体から、前記合紙と前記基板を１枚ずつ交互に取り出す開梱装置を構成する、前記積層体から前記合紙を複数の吸着パットで真空吸着して取り出す合紙取出ロボットを有する合紙除去装置において、前記合紙の吸着面に対して基板に向かって縦に、少なくとも２個以上の吸着パットを複数列備える合紙取出ロボットを有する。また、複数の前記吸着パットが、個々の真空配管に電磁弁と圧力計とを有しており、予め定められた吸着圧に達しない前記吸着パットの個々の真空引きを停止する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】高剛性で耐熱性もある真空環境内に適した真空ロボットのアーム構成を提供すること。
【解決手段】内部に気密な空間を有するアームベース８と、アームベース８内に設置されたアーム駆動用モータ９と、アーム駆動用モータ９によって回転する中空の減速機シャフト３１と、減速機シャフト３１の回転が入力されて所定の比だけ減速し、減速機シャフト３１の周囲で回転する第１減速機出力軸３２と、からなり、アームベース８内に減速機シャフト３１の下端が露出するよう設置された第１減速機１０と、中空の減速機シャフト３１の上端が侵入することでアームベース８の気密な空間と同圧となる気密な空間を有し、かつ第１減速機出力軸３２に固定される第１アーム２と、第１アーム２の先端に設置され、入力軸が減速機シャフト３１と接続された第２減速機１５と、第２減速機１５の出力軸に固定され、内部に気密な空間を有しない第２アームと、第１アーム２と第２アーム５とに追従するリンク機構と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】アンパッカー装置による素ガラス投入において、合紙が外れることを防いで動作異常のないアンパッカー装置を提供する。
【解決手段】素ガラス基板と合紙が交互に積み重ねられたデンスパックから素ガラス基板を取り出すアンパッカー装置であって、素ガラス基板を真空吸着する素ガラス基板吸着手段と、合紙を真空吸着する合紙吸着手段と、ガラス基板吸着手段を駆動する駆動手段Ａと、合紙吸着手段を駆動する駆動手段Ｂと、駆動手段Ａと駆動手段Ｂを制御する制御手段と、を備え、更に、合紙吸着手段には、ミストを噴射するミスト噴射ノズルと、合紙を押し当てる加熱された金属バーと、を備えたことを特徴とするアンパッカー装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリに関する。
【解決手段】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリを提供し、基板吸着アセンブリは、固定フレームと、複数の基板吸着ユニットとを含む。各基板吸着ユニットは、各基板に対応して間隔をおいて固定フレーム上に固設され、各基板吸着ユニットは、真空装置に空圧的に接続し、本体と吸着部とを含む。本体は、真空装置に空圧的に接続し、吸着部は、本体の末端に対称的に設けられ、本体を介して真空装置に空圧的に接続し、基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低気圧源に接続し、基板の吸着に用いる吸着装置に関する。
【解決手段】吸着装置は、吸着本体と、気圧制御装置とを含む。吸着本体は、分布範囲を有し基板に接触する平面と、複数の孔とを含む。これらの孔は、平面上に形成され、実質的に平面の分布範囲内に均等に分布する。気圧制御装置は、制御により、低気圧源とこれらの孔とを空圧的に接続する。基板が平面に接触し、かつ気圧制御装置がこれらの孔と低気圧源とを空圧的に接続すると、基板と吸着本体とは相互に固着する。 （もっと読む）

【課題】大重量の基板を高い信頼性で搬送できる基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】本ロボットは、それぞれが基板を保持する第１及び第２基板保持部11,12を有し、さらに、第１及び第２基板保持部11,12が装着された第１及び第２アーム機構13,14を備える。第１アーム機構13は、主旋回軸を含む平面に関して互いに対称に配置された一対の第１アーム19を有し、第１アーム19のそれぞれが、その中間部にて内向きに折曲可能に構成されている。第２アーム機構14は、主旋回軸を含む平面に関して互いに対称に配置された一対の第２アーム20を有し、第２アーム10のそれぞれが、その中間部にて外向きに折曲可能に構成されている。 （もっと読む）