【課題】比較的簡易に、緻密な微細パターンを有するサブマスターモールドを提供する。
【解決手段】微細パターンに対応する溝が設けられたインプリント用の元型モールド３０からサブマスターモールド２０を製造する方法において、前記サブマスターモールド用の基板１上にはハードマスク層が形成され、前記ハードマスク層上に形成され且つ元型モールドの微細パターンが転写されたレジスト層４に対して、酸素ガスを用いたドライエッチングを行う微細パターン寸法変動工程を有する。 （もっと読む）

【課題】樹脂部と金属体とを組み合わせて一体成形される複合品の金属製の成形基材の表面に適切に加飾を施すことが可能な加飾装置を提供する。
【解決手段】金属製の成形基材２の裏面に樹脂部を一体成形すると共に、金属製の成形基材２の表面２ｂに加飾を施す加飾装置１００は、金属製の成形基材２が配置される第１成形型Ｋ１と、当該第１成形型Ｋ１と型締めされる第２成形型Ｋ２と、第１成形型Ｋ１と第２成形型Ｋ２との型締め時に、金属製の成形基材２の表面２ｂに施す加飾が付された加飾フィルムＬを金属製の成形基材２の表面２ｂの側に配設する加飾フィルム配設機構３０と、金属製の成形基材２を裏面の側から加飾フィルムＬの側に押圧する押圧手段と、第２成形型Ｋ２と加飾フィルムＬとの間に配設され、押圧手段による押圧力に応じて加飾フィルムＬを金属製の成形基材２の表面２ｂに押圧する弾性材Ｄと、を備える。 （もっと読む）

【課題】良好な離型性、成形の繰り返し耐久性などの向上を実現し、良好な成形品を生産できる離型膜、ならびにそれを用いた金型を提供する。特に、ナノメートルサイズの凹凸を持った金型（反射防止構造形成用の金型など）に対し、従来の離型膜に比べて、飛躍的に良好な離型性を実現し、かつ優れた繰り返し耐久性を実現することを目的とする。
【解決手段】貴金属窒化物、すなわち、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニウム（Ｒｕ）、イリジウム（Ｉｒ）、レニウム（Ｒｅ）、またはそれらの合金の窒化物を離型膜として用いる。なかでも、窒化白金（Ｐｔ−Ｎ）は、特に優れた効果を有する。 （もっと読む）

【課題】インプリントモールドの離型（剥離）を容易にするための凹部を精度良く形成でき、且つそのような加工の工程負荷が小さくて済み、さらに凹部を形成することによるモールドの強度や剛性の低下を抑えたインプリントモールドの作製に用いるマスクブランク用基板を提供する。
【解決手段】基板と該基板の表側主表面上に形成された薄膜とを有してなり、前記薄膜及び基板をエッチング加工してインプリントモールドを作製するためのマスクブランクに用いる基板である。この基板１は、所定の形状の孔２を穿設してなる基材１ａを含む少なくとも２枚の基材を接合することにより基板の裏側主表面にその少なくとも外周部を除く領域に上記孔２からなる凹部３を形成したものである。 （もっと読む）

【課題】溶融材料の充填性の向上とその凝固時間の短縮を図れる金型を提供する。
【解決手段】本発明の金型は、溶融材料と接触し得る接触表面部を基材上に有する金型であって、接触表面部は、炭素繊維が起毛した繊維層を有する第１表面部と、この第１表面部とは表面性状が異なる第２表面部と、を少なくとも備えることを特徴とする。本発明の金型の場合、第１表面部と第２表面部は表面性状が異なるので、それらの伝熱性も異なる。両者を適切に組み合わせて調整することで、充填中の溶融材料の温度降下を抑制しつつ、溶融材料の凝固時間の短縮などを図ることができる。 （もっと読む）

【課題】人造大理石浴槽や洗面台等の樹脂注型成形品を長期に亘り一定の品質で安定して製造することができる樹脂注型成形装置を提供する。
【解決手段】熱硬化性樹脂を成形金型のキャビティ内に注入するノズルＡを具備した樹脂注型成形装置Ｂであって、上記注入ノズルＡのノズル本体１は合成樹脂から形成され、かつ金型９内に設けられてなり、上記ノズル本体１の材料樹脂注入口１１の周縁の金型当接面１２は金属製キャップ２で保護されるとともに、該金属製キャップ２は、保護板部２１と該保護板部２１をノズル本体１の先端部に固定する固定脚片２２とから一体的に形成され、上記金属製キャップ２がノズル本体１に取り付けられたことを特徴とする樹脂注型成形装置Ｂ。 （もっと読む）

【課題】モールドを用いて繰り返しパターン転写を行っても、離型性に優れ、かつ、モールドの劣化が抑制できる離型剤を提供する。
【解決手段】モールドの材料と化学的に反応する官能基を１つまたは２つ有する化合物をインプリント用モールド離型剤として用いる。 （もっと読む）

パターン化されたマスク層を有する基板を製造する方法が開示され、そのマスク層は、反復する縞などの微細な形体を備えたものである。その方法は、基板の第１の主表面上に所定のパターンを備えた転写層を有する基板を形成する工程と、第１の主表面上に転写層を有する基板を用意する工程と、本体と複数の接触部分とを有する構造化成形型を用意する工程であって、接触部分は、約０．５Ｇｐａ〜約３０Ｇｐａのヤング率を有する、工程と、構造化成形型か又は基板のいずれかを加熱する工程と、転写層を構造化成形型と接触させる工程と、転写層を冷却する工程と、転写層の各部分が、構造化成形型と共に分離するように、構造化成形型を転写層から引き離し、転写層を完全に貫いて基板まで延びる開口部を転写層内に開口部を残し、所定のパターンを備えた転写層を形成する工程とを含む。
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【課題】反射防止構造体を有するマスター型を用いて、レンズアレイ基材の光学面転写予定面のレジスト層に反射防止構造体を転写し、均一な反射防止構造体を成形可能として高精度なレンズアレイを得る。
【解決手段】光学面に反射防止構造体１４を有する複数のレンズを共通の基材に二次元的に配置したレンズアレイの製造方法であって、光学面形成面１２が形成されたマスター型１０を準備する工程（Ｓ１）と、マスター型１０の光学面形成面１２に反射防止構造体１４を形成する工程（Ｓ２）と、光学面転写予定面２４を有するレンズアレイ基材２３を準備する工程（Ｓ３）と、レンズアレイ基材２３の光学面転写予定面２４にマスター型１０を用いて反射防止構造体１４を転写する工程（Ｓ７）とを含む。 （もっと読む）

【課題】キャビティ内の合成樹脂を型内で圧縮できるようにし、バリが生じないようして、外観品質が良好な合成樹脂成形品を製造でき、金型の製作難易度が高くなくとも足り、コストも抑えられと共に金型の耐久性の向上も図ること。
【解決手段】固定金型部６及び可動金型部２６の入れ子駒６Ａ、２６Ａの熱媒体通路３１、３４内に加熱用媒体を供給して加熱して合成樹脂の軟化点以上に昇温したら、溶融した合成樹脂をキャビティＳ内に注入充填して保圧し、この保圧の終了に前後して、固定金型部６及び可動金型部２６の入れ子取付体６Ｂ、２６Ｂの熱媒体通路３２、３５内に加熱用媒体を供給して加熱して熱膨張させ、この熱膨張が開始したら、前記入れ子駒６Ａ、２６Ａの熱媒体通路３１、３４内に冷却用媒体を供給して冷却して、合成樹脂の射出圧力以上の圧力でこの合成樹脂を圧縮させながら硬化させる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等の製造における簡易なパターン形成方法を提供する。
【解決課題】基板上に、第一のセグメントと第二のセグメントを有する高分子共重合体を塗布する工程と、前記高分子共重合体に凹部を有するテンプレートを接触させ、前記テンプレートの凹部に前記高分子共重合体を充填する工程と、充填された前記高分子共重合体を第一のセグメントを有する相と第二のセグメントを有する相に相分離させる工程と、前記テンプレートを前記高分子共重合体から離型する工程と、前記高分子共重合体の第一のセグメントを有する相又は第二のセグメントを有する相を除去する工程と、を備えたことを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】新規な保護膜が形成されたレジストパターン形成用部材を提供する。
【解決手段】保護膜付きレジストパターン形成用部材は、酸化物を含む表面を有し、レジストパターン形成のためレジスト膜に密着して用いられるレジストパターン形成用部材と、レジストパターン形成用部材上に形成され、直鎖状で主鎖がパーフルオロポリエーテルを含み末端基に水酸基を含む両親媒性分子を含む保護膜とを有する （もっと読む）

【課題】スリーブのマンドレルへの装着性が良好であり、かつスリーブのがたつきが抑えられたロールスタンパを提供する。
【解決手段】マンドレル１０と、マンドレル１０の先端側から基端側に向かってマンドレル１０の外周に着脱可能に装着されるスリーブ４０とを有し、スリーブ４０の外周面５０に形成された微細凹凸構造を被転写体に転写するロールスタンパ１であって、マンドレル１０が、マンドレル１０の先端側にあるスリーブ４０の開口部（小径開口部４２）に対応する部分（小径部１８）の外径よりも、マンドレル１０の基端側にあるスリーブ４０の開口部（大径開口部４６、フランジ受け部４８）に対応する部分（大径部２２、フランジ部２４）の外径が大きくされ、スリーブ４０とマンドレル１０との隙間が、スリーブ４０の両端の開口部よりも、これらの間のスリーブ中間部４４において広くされている。 （もっと読む）

【課題】レジスト層の下に導電化層を形成してレジスト層にパターンを描画する際の電子線の散乱を低減することにより、パターンの高さ不良やパターン幅のばらつきを低減し、以ってより微細なパターン形状を精度よく形成可能なスタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンへのドーパントのドープ又はポリシリコンの成膜により基板上に導電化層を形成する導電化層形成工程と、前記導電化層上にレジスト層を形成して電子線により描画し、前記導電化層の表面が凹部に露出するレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、前記導電化層を電流シード層として電鋳により前記レジストパターン上に金属めっき層を形成する電鋳工程とを備え、前記基板、導電化層及びレジストパターンを除去して前記金属めっき層をスタンパとする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、複雑なエンボス構造を有するエンボス加工装置、その製造方法及び導光板のエンボス成形方法を提供することである。
【解決手段】本発明に係るエンボス加工装置は、ローラーと、前記ローラーの円周面に巻き取って接合され、且つ電鋳によって形成されるエンボス層と、を備える。前記エンボス層の外表面には、エンボス構造が形成されている。又、本発明は、エンボス加工装置の製造方法及び導光板のエンボス成形方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの表面に離型剤を適切に成膜しつつ、テンプレート処理のスループットを向上させる。
【解決手段】テンプレートの表面に離型剤を成膜するテンプレート処理では、先ず、洗浄液槽に貯留された洗浄液中に複数のテンプレートを浸漬させ、当該テンプレートの表面を洗浄する（工程Ａ２）。その後、離型剤槽内に貯留された離型剤中に複数のテンプレートを浸漬させ、当該テンプレートの表面に離型剤を付着させる（工程Ａ３）。その後、テンプレート上の離型剤を乾燥させる（工程Ａ４）。その後、アルコール槽内に貯留されたアルコール中に複数のテンプレートを浸漬させ、当該テンプレートの表面に離型剤を密着させ、さらに離型剤の未反応部分を除去する（工程Ａ５）。その後、テンプレート上のアルコールを乾燥除去する（工程Ａ６）。こうしてテンプレートの表面に離型剤が所定の膜厚で成膜される。 （もっと読む）

オブジェクトと別のオブジェクトとの相互アライメントに用いる特定のアライメント構成を備えたオブジェクトが開示される。アライメント構成は、実質的に規則的な格子の形態の第１の微細アライメントマークと、第１のアライメントマークと同じエリア内に位置する第２の粗アライメントマークとを含む。 （もっと読む）

【課題】熱ナノインプリントリソグラフィ用モールドを提供する。
【解決手段】第１主面２２、および第２主面２３と、スルーキャビティ２４を有し、基板２１と、熱伝導層３３と、任意で、前記熱伝導性機械的支持層３３の下方に位置する絶縁層と、前記第２開口２８の上方３２における前記第２の膜３０の領域内において前記第２の膜３０の他方の側３５に位置する加熱手段３４と、前記加熱手段３４を覆い、前記第２の膜３０を少なくとも部分的に覆う絶縁断熱層３６と、前記第２開口２８の上方における前記絶縁断熱層３６の領域内において前記絶縁断熱層３６上に位置するインプリントパターン３７と、前記加熱手段３４に電流を供給するための手段３８とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ナノインプリントモールドを光硬化樹脂からなる樹脂層から離型する時の樹脂層やモールドの破損を防止するパターン形成方法等を提供する。
【解決手段】本発明に係るナノインプリントによるパターン形成方法は、基材上に光硬化樹脂からなる樹脂層を形成し、凹凸パターン部を有するモールドを前記樹脂層に押し当て、前記モールドの外周に向かって光の照射量が大きくなるように、前記樹脂層に光を照射し、前記樹脂層に光を照射した後、前記樹脂層から前記モールドを離型することを特徴とするナノインプリントによるパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複合積層材料体に接する磁性材料体を用いて高周波誘導加熱により、複合積層材料体を加熱してプレス成形することを目的とする。
【解決手段】本発明による複合積層材料体の成形装置及び方法は、加熱手段(4)が上部金型(1)及び下部金型(5)の一方又は両方の表面に形成されるか、又は、複合積層材料体(6)に貼り付けられた磁性材料体(13,14)と、各金型(1,5)の外部に配設され高周波電源(15)に接続されたコイル群(16)と、からなり、前記複合積層材料体(6)は高周波電源(15)及びコイル群(16)による磁性材料体(13,14)の高周波誘導加熱により加熱され、磁性材料体(13,14)のキュリー温度が熱可塑性樹脂の溶融温度あるいは熱硬化性樹脂の硬化温度以上とした構成と方法である。 （もっと読む）