【課題】ナノインプリント用モールドの設計において、樹脂の収縮を補償して設計値とほぼ等しい寸法のパターンを実現できる方法を提供する。
【解決手段】等間隔に配列された複数の凹凸のパターンを有し、プレスによりそのパターンを柔軟な材料でできた膜２に転写するナノインプリント用モールドの設計において、膜２の表面に形成される凸部２２のパターンが、線幅ｗ₁、高さｈ₁、長さＬ₁の直方体であるとき、凸部２２に対応するモールド３の凹部３１の線幅を、下記式（１）を用いて算出される線幅ｗ₃とする。


ここで、ｐ（ｗ）は一般的な空間周波数の遮断関数の形式で表現した予測関数である。 （もっと読む）

【課題】大面積かつ表面に微細な櫛型の形状を有する構造体の製造方法、その構造体によって作製される樹脂成形用金型の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、少なくとも２つの溶融樹脂を縦方向に配列して隣接させた積層流を上下に２分割した後左右に配列させる工程を、左右を替えながら交互に繰り返して積層構造体を形成する工程（１）と、前記積層構造体の主面に、前記２種類以上の異なる熱可塑性樹脂が配列して露出した表面を形成する工程（２）と、前記表面から前記積層構造体を構成する熱可塑性樹脂の内の少なくとも１種類の樹脂を優先的に除去することで前記表面上に櫛型の凹凸構造を形成する工程（３）とを、含むことを特徴とする櫛型構造を有する樹脂構造体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】発光素子からより効率よく光を取り出すことのできるマイクロレンズアレイを、簡便な工程で成型する。
【解決手段】両面に異なる大きさの凹凸を有するマイクロレンズアレイを成型することとした。また樹脂シートおよび樹脂ペレットを併用して、両面で異なる大きさの凹凸を有するマイクロレンズアレイを成型することとした。具体的には第１のレンズ面を形成する第１の凹凸構造が複数設けられた第１の金型と、第１の金型の該凹凸構造の１０万分の１以上５分の１以下のピッチを有する第２のレンズ面を形成する第２の凹凸構造を複数有する第２の金型との間に、レンズ成形材として、第１の金型側から、樹脂ペレット及び樹脂シートをこの順に配置し、加熱プレス処理により樹脂ペレットと樹脂シートとを融合させ、第１のレンズ面と、該第１のレンズ面の裏面側に第２のレンズ面とを有する樹脂構造体を成形する。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸パターンが高い寸法精度で形成された樹脂製のインプリント用スタンパ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】一方の表面に微細な凹凸パターンを有するインプリント用樹脂製スタンパであって、前記凹凸パターンがミーリング方式又はシェーパー方式で行われる切削加工により形成され、前記樹脂が、炭化水素系樹脂、フッ素系樹脂又はシリコーン系樹脂である。 （もっと読む）

【課題】配線パターンをバイアホールと共に形成することを可能とするインプリントモールドの製造方法を提供する。
【解決手段】インプリントモールドの製造方法は、面方位が｛１１０｝である主面３１ａを有するデバイス層３１と、ハンドル層３３と、デバイス層３１とハンドル層３３との間に積層されたＢＯＸ層３２と、を有するＳＯＩウェハ３０を準備する準備工程Ｓ１０と、少なくともデバイス層３１をウェットエッチングすることで、角柱１３を形成する角柱形成工程Ｓ２０，Ｓ３０と、少なくともハンドル層３３をドライエッチングすることで、角柱１３を支持する凸部１２を形成する凸部形成工程Ｓ４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】入射光を、効率的に反射、拡散して面発光の輝度を高めることのできるバックライトとして用いられる導光板を、高密度で成形可能な金型（ドットスタンパー）及びその製作方法を実現する。
【解決手段】ドットスタンパー１の金属基材板３の表面にドリル４を用いて互いに隣接する４つの円錐孔８〜１１を一部が重複するように穿孔することにより、４つの円錐孔８〜１１で囲まれ穿孔されていない金属基材板３の部分を頂部１５として、頂部１５を中心に周囲に広がり、平面視で湾曲状の円錐面の一部から成る４つの傾斜面と、該４つの傾斜面のうち互いに隣接する傾斜面の境界に位置し、平面視が直線であって垂直断面が湾曲状の稜線１７とを備えた凸部５を形成する。 （もっと読む）

【課題】光の反射防止性能、光の透過性能、ヘイズ等の光学特性に優れ、うねりや点欠陥の極めて少ないナノ構造体を作製するための型体の製造方法を提供すること。
【解決手段】アルミニウム材料の表面を、電解研摩により加工した後、該アルミニウム材料の表面に、陽極酸化と陽極酸化皮膜のエッチングとの組み合わせによりテーパー形状の細孔を形成させる、ナノ構造体を作製するための型体の製造方法であって、
該電解研摩の電解液が、濃リン酸４０体積部以上７５体積部以下、及び、濃硫酸１０体積部以上５５体積部以下、及び、配合する水５体積部以上２５体積部以下を配合し、かつ、該濃硫酸の体積が該配合する水の体積より多くなるように配合してなるものであることを特徴とする型体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンの転写精度を高めることの容易な成形品の製造方法を提供する。
【解決手段】賦形型材１１と熱可塑性樹脂基材２１とを重ね合わせてなる成形用基材３１は、ベルト５４，５５の間で搬送される。搬送方向に延在する加熱部７２は、熱可塑性樹脂基材２１に賦形型材１１の有する凹凸パターンが転写され得る温度まで熱可塑性樹脂基材２１を加熱する。加熱部７２よりも下流側で搬送方向に延在する冷却部７３は、熱可塑性樹脂基材２１を冷却する。成形用基材３１は、加熱部７２及び冷却部７３により加圧され、加熱部７２より搬出されてから冷却部７３に搬入されるまでに要する時間が５秒以下となるように、加熱部７２から冷却部７３へ搬送される。好ましくは、加熱部７２及び冷却部７３により、搬送方向に沿って連続した加圧領域を形成し、加熱部７２に搬入されてから冷却部から７３搬出されるまで、成形用基材３１の加圧を継続させる。 （もっと読む）

【解決手段】表面に凹凸パターンが形成される直径が１２５〜３００ｍｍである円形状の金型用基板であって、該基板の直径１２５ｍｍ以下の円内の厚さばらつきが２μｍ以下である金型用基板。
【効果】表面に凹凸によるパターンが形成される円形状の金型用基板であって、上記基板の中心の直径１２５ｍｍ以下の円内の厚さばらつきが２μｍ以下である金型用基板を使用することによって、金型用基板上にパターンを作成するときと転写するときとでパターン位置が不整合になったり、パターン誤差が生じたりすることを防ぐことができ、高精細で複雑なパターンの転写が可能になる。 （もっと読む）

【課題】シームレスな凹凸パターン形成モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は表面上に凹凸パターンが形成された凹凸パターン形成モールドを製造する方法であって、予め形成された凹凸パターン形成シート10の3次元データを計測する工程と、その計測データを元に、金属、金属化合物、樹脂の少なくとも１種からなる表面上に、切削加工により、前記凹凸パターン形成シート10と同等または相似形の凹凸パターンを形成する工程とからなることを特徴とする凹凸パターン形成モールドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】金属配線と配線基板の密着性の向上を図ることができるインプリントモールドを提供する。
【解決手段】基材２と、所定のパターンを転写可能とする基材２の主面表面に形成された凸部４とを備え、凸部４の頂部４１の周縁部４２の少なくとも一部に溝４５が設けられているインプリントモールド１。 （もっと読む）

【課題】擦過損傷を形成されにくくする。
【解決手段】表面３ａに周期的に形成された凹凸４の凹部４ａ底面に、シボ面からなる外装面５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ショット領域と型との位置合わせとインプリント処理後のエッチング処理との双方を円滑に行う技術を提供する。
【解決手段】インプリント装置用の型３は、基板側の表面に、パターンを有する中央領域１１と一対の第１周辺領域１５とを含む。前記中央領域は、ｘ軸に平行な一対の辺とｙ軸に平行な一対の辺とを含む境界を有する。前記一対の第１周辺領域は、前記中央領域の前記ｙ軸に平行な一対の辺を含み、前記中央領域の外側に配置される。第１周辺領域は、型側マーク７が形成され、インプリント処理のときに型と基板上に形成された基板側マーク６との間に樹脂が充填されない第１領域１５ａと、型側マークが形成されず、インプリント処理のときに型と基板上に形成された基板側マークとの間に樹脂が充填される第２領域１５ｂとからなる。第２領域は、中央領域の中心を通り前記ｙ軸に平行な直線に対して第１領域と線対称な領域を含む。 （もっと読む）

【課題】光学シートを形成するのロール金型を製造するに際し、溝の切削開始部と溝の切削終了部とで、溝形状が変化してしまうことを抑制できるロール金型の製造方法を提供する。
【解決手段】凹凸形状を有する光学シート１０の凹凸部分を成形するロール金型２０を製造する方法であって、表面に被加工層が形成されたロール基体２１を回転させ、切削工具３０により光学シートの凹凸に対応する溝２３を形成させる工程を含み、溝を形成させる工程では、切削工具による切り込みは、切削工具のバイト角度のうち、送り方向後ろ側となるバイト角度と同じ角度となるように送りつつロール基体の回転軸に近付ける方向に行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、モールドの製造に複雑な工程を要することなく、モールド材と同じ材料からなるアライメントマークを光学的に識別することを可能とし、高いアライメント精度で位置合わせすることができるインプリント用モールド、およびインプリント方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 前記モールドのアライメントマーク領域の表面が、硬化前のインプリント用被転写樹脂に対して、少なくとも、前記モールドの転写領域の表面よりも高い撥液性を生じるようにすることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】サブミクロン（１μｍ以下）のサイズのパターンを持つシームレスモールドを高い生産性・量産性で得ること。
【解決手段】本発明のモールドのエッチング装置は、真空槽中に配置されたスリーブ形状のモールド（１５）と、前記真空槽中の前記モールド（１５）の表面に対向する位置に配置された円筒形状の対向電極（２２）と、を具備し、前記モールド（１５）に高周波を印加させ、前記対向電極（２２）を接地して前記モールドをエッチング処理するエッチング装置であって、前記エッチング処理の際、前記モールド（１５）を回転させないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】転写率の向上を図ることが可能な樹脂シート製造方法を提供する。
【解決手段】連続樹脂シートを製造するシート製造工程Ｓ１と、形状ロールを用いて転写型を転写する転写工程Ｓ２と、を備えた樹脂シート製造方法とする。転写工程Ｓ２では、形状ロールの周方向に連続する凹部を形状ロールの長手方向に複数並設し、長手方向において隣り合う凹部間に、幅６μｍ以上１５μｍ以下の隙間部が形成された転写型を用いて、転写工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】転写率の向上を図ることが可能な樹脂シート製造方法を提供する。
【解決手段】形状ロールから剥離された連続樹脂シートの、形状が転写された側のシート表面を冷却する冷却工程を備え、シート表面の表面温度が、樹脂のガラス転移温度Ｔｇに対して、（Ｔｇ＋５）℃〜（Ｔｇ＋５０）℃の範囲であるときに、シート表面を冷却する。これにより、転写型から剥離された後の連続樹脂シートの表面形状を硬化させ、転写された表面形状を好適に維持する。 （もっと読む）

【課題】エンボス加工時における荷重を低減することによりエンボス加工シートの生産効率を改善する。
【解決手段】エンボス加工シート２０は、エンボス加工によってシート状の基材８０に絵柄９５を形成してなる。エンボス加工シート２０には、絵柄９５の外輪郭に沿って線状に延びる溝８５が形成されている、エンボス加工シート。 （もっと読む）

【課題】所定の組成を有するレジスト層を用いて、所望の解像度を示すレジストパターンを形成する際の必要露光量の低減。
【解決手段】α−クロロアクリル酸エステルとα−メチルスチレンとの重合体を含むレジスト層にエネルギービームを照射して露光して、現像を行う際に用いられるアルコール溶媒Ａと、酢酸−ｎ−アミル又は酢酸エチル又はそれらの混合物からなる溶媒Ｂとを含むレジスト現像剤。 （もっと読む）