【課題】強度平均値とワイブル係数が高くて安定した機械的強度特性を有する電解質シートを提供するものである。
【解決手段】本発明の固体酸化物形燃料電池用電解質シートは、少なくとも片面に複数の陥没及び／又は凸起を有し、前記陥没及び凸起の基底面形状が、円形、楕円形または頂点部の形状が曲率半径０．１μｍ以上の曲線である角丸多角形であり、及び／又は、その立体形状が半球形、半楕円球形または頂点及び稜の断面形状が曲率半径０．１μｍ以上の曲線である多面体であり、前記陥没及び前記凸起の基底面の平均円相当径が２５０μｍ超１００００μｍ以下、前記陥没の平均深さ及び前記凸起の平均高さが５μｍ以上２００μｍ以下であり、かつ、平均厚さが１００μｍ以上４００μｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面が曲面形状または凹凸 形状を有する基板上に、平滑性の高い被エッチング層と熱反応型レジスト材料を積層した積層体を設けることを目的の一つとする。
【解決手段】曲面形状または凹凸形状の基板上に、フロン系ガスを用いたドライエッチング処理に用いられ、且つ元素群Ｔａ、Ｍｏ、Ｎｂから少なくとも１種類を含む元素及びその酸化物、窒化物、硫化物、炭化物、セレン化物、シリサイドのいずれかから選択されるドライエッチング材を含むドライエッチング層と、前記ドライエッチング層の上に熱反応型レジスト層とを積層する。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置合わせを弊害なく実現する。
【解決手段】実施形態に係わるナノインプリント用テンプレートは、同一面に転写パターン１６ａ及びアライメントマークＡＭ２を備え、アライメントマークＡＭ２は、偏光子又は位相差フィルム１７により構成される。そして、ナノインプリント技術による基板上へのパターン転写時に、偏光を用いることにより、又は、光の位相差を検出することにより、基板とナノインプリント用テンプレートとの位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントに有利に使用することが出来る円筒状モールドの製造方法であって、高い生産性で高精度に製造する方法を提供する。
【解決手段】外周面に微細な凹凸パターンを有する円筒状モールドの製造方法であって、
光透過性の円筒部材１２、及びその外周面に形成された加圧により変形可能な光硬化性転写層１３からなる外側円筒部２０を有する円筒状転写版５０を回転させながら、
外側円筒部２０の転写層１３を、円筒状転写版５０と同方向に移動する表面に微細な凹凸パターンを有する原版モールド７０の当該微細な凹凸パターン７２に押圧下に接触させ、微細な凹凸パターン７２を転写層１３に転写し、
前記転写と同時に、外側円周部２０の内周側から、転写層１３の転写領域１５に紫外線を照射し、硬化させることにより、転写層１３に反転凹凸パターンを連続的に形成することを特徴とする円筒状モールドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い防眩効果を示しながら、白ちゃけを防止し、画像表示装置に配置してギラツキが発生せず、コントラストの低下がない防眩フィルムの凹凸形状を有する金型を製造し、その金型を用いて、優れた防眩フィルムを製造する。
【解決手段】金型用基材１の表面を研磨する研磨工程と、研磨された面に平坦部と凹部３からなる第１凹凸面４を形成する第１凹凸面形成工程と、第１凹凸面をエッチング処理によって鈍らせて第２凹凸面１１を形成する第２凹凸面形成工程と、形成された第２凹凸面にクロムめっきを施すめっき工程とを含み、第１凹凸面における平坦部の占める面積をＡ（％）とし、凹部の平均深さをＢ（μｍ）とし、凹部の中心間直線距離の平均値をＣ（μｍ）とし、第２凹凸面形成工程におけるエッチング深さをＤ（μｍ）としたときに、特定の条件を満たすことを特徴とする防眩フィルム製造用金型の製造方法ならびに当該金型を用いた防眩フィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】
工業的な規模で、表面にシームレスの凹凸模様を有するロールを安価に簡便に製造することを課題とする。
【解決手段】
円柱支持体に連続繊維を隙間なくスパイラル巻きにし、固定した後に、該スパイラル巻きした表面形状を内面に転写したシームレス凹凸模様を有する中空鋳型を作成し、該中空鋳型の内面形状を表面に転写することを特徴とするシームレス凹凸模様付きロールの製造方法。連続繊維は撚糸またはモノフィラメントのいずれでも良い。 （もっと読む）

【課題】モールドのパターン内部への樹脂充填性と、樹脂層に対するモールドの離型性を確保したパターン形成方法と、このパターン形成方法を利用したナノインプリント転写に使用するナノインプリントモールドとナノインプリント用転写基材とを提供する。
【解決手段】ナノインプリントモールド１を、基体２と、この基体２の一方の面２ａに位置する転写形状部３と、少なくとも転写形状部３上に位置する濡れ性変化層４とを備えたものとし、濡れ性変化層４は第１の波長の光を照射することによる水に対する接触角の減少と、第２の波長の光を照射することによる水に対する接触角の増加が可逆的に起こるものとする。 （もっと読む）

【課題】樹脂部へのパターン転写の際に生じるバリに起因する悪影響を抑制することが可能なナノインプリント用モールドの製造方法等を提供する。
【解決手段】ナノインプリント用モールドの製造方法は、パターン５Ｐが形成された第１面５Ｓ１と、第１面５Ｓ１とは反対側の第２面５Ｓ２とを有し、紫外線が透過可能な材料からなるモールド本体部５を準備する工程と、モールド本体部５を固定するための表面３Ｓを有し、紫外線が透過可能な材料からなるモールド基体部３を準備する工程と、モールド本体部５の第２面５Ｓ２をモールド基体部３の表面３Ｓの一部に固定する工程とを備える。モールド本体部５において、第１面５Ｓ１から第２面５Ｓ２に向かう方向と垂直方向の幅が、一定、又は、第１面５Ｓ１から第２面５Ｓ２に向かうに従って減少する。 （もっと読む）

【課題】微細パターンを形成する際に生じるバリの高さを抑制することと、樹脂にパターン面を押し付ける際にモールドの基体部が樹脂に接触することを抑制することを両立することが可能なナノインプリント用モールドを提供する。
【解決手段】モールド１ａは、モールド基体部３とモールド本体部５とを備える。モールド本体部５の表面５Ｓは、ナノインプリント用のパターン５Ｐが形成されたパターン面５Ｓ１と、パターン面５Ｓ１の外縁５Ｓ１Ｘ、５Ｓ１Ｙに沿って設けられた副表面５Ｓ２とを有する。表面３Ｓと垂直な方向における副表面５Ｓ２からモールド基体部３の表面３Ｓまでの最長距離Ｈ５Ｓ２は、モールド基体部３の表面３Ｓと垂直な方向におけるパターン面５Ｓ１からモールド基体部３の表面３Ｓまでの距離Ｈ５Ｓ１よりも短く、これらの差Ｄ５Ｓは、ナノインプリント用のパターン５Ｐの深さよりも大きい。 （もっと読む）

【課題】電子線照射によるレジストパターンのドライエッチング耐性を向上させる手段において、酸素が存在する雰囲気中でも、レジストパターンの形状劣化を防止し、微細な転写パターンを形成することを可能とするナノインプリント用モールドの製造方法およびレジストパターンの形成方法を提供する
【解決手段】レジストパターン２を形成した後に、前記レジストパターンの上に、オゾンアッシングからレジストを保護する保護膜３を形成し、次に、大気中のように、酸素が存在する雰囲気中において、前記保護膜を介して前記レジストパターンに電子線４を照射し、その後、前記保護膜を除去してドライエッチング耐性が向上した前記レジストパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】多段構造の寸法精度を向上したインプリントモールドの製造方法およびインプリントモールドを提供することを課題とする。
【解決手段】３次元の多段構造パターンを有するインプリントモールドの製造方法において、基板１１に酸化膜１２を形成する第１の工程と、第１の工程後に、感光性樹脂１４を基板１１に形成し、感光性樹脂１４は酸化膜１２を被覆する第２の工程と、感光性樹脂１４をマスクにして基板１１を選択的に除去して、基板１１に第１凹部パターン１５を形成する第３の工程と、感光性樹脂を除去した後、酸化膜１２をマスクにして基板１１を選択的に除去して、基板１１に第２凹部パターン１６を形成する第４の工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】継ぎ目のない単粒子膜がロールを被覆した単粒子膜被覆ロールを簡便に製造できる単粒子膜被覆ロールの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の単粒子膜被覆ロールの製造方法は、ロール１１を水中に浸漬させる浸漬工程と、水面Ａに単粒子膜１２を形成する単粒子膜形成工程と、ロール１１を、その中心軸が鉛直方向に向いた状態で水面Ａ上に引き上げて、単粒子膜１２をロール１１の周面１１ａに移行させる移行工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】インプリント材料の充填速度を制御する。
【解決手段】実施形態のインプリント用のテンプレートは、一方の面に凹凸を有するパターンが形成された第１部材を備え、被加工基板上に塗布された光硬化性のインプリント材料に前記一方の面を接触させた状態で、前記第１部材の他方の面の上から照射された光により前記インプリント材料を硬化して前記パターンを前記インプリント材料に転写するインプリント用のテンプレートである。このテンプレートは、端部領域に第２部材が設けられている。前記第２部材の前記インプリント材料に対する接触角は、前記第１部材の前記インプリント材料に対する接触角より大きい。 （もっと読む）

【課題】気泡シートに良好な視認性を有する識別表示を押印する気泡シート製造装置用のプラグ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】周面に複数のキャビティが形成された成形ロールに供給され、キャビティにおいてキャビティ形状に対応する突起が真空成形されるキャップフィルムと、キャップフィルムに接合され、前記突起内の空気を封止するバックフィルムと、を備える気泡シートを製造する気泡シート製造装置において、キャビティの底面に連通するキャビティより小径の吸引孔を通気可能に塞ぐプラグ１Ａであって、キャビティの底面となるプラグ上面に、真空成形時の吸引力によって所定の識別表示をキャップフィルムの突起頂面に凹設及び／又は凸設成形する印章部２を備え、印章部２は、所定の金属粉末をレーザ照射により焼結させた金属焼結層によって形成された構成としてある。 （もっと読む）

【課題】転写パターンの不良を低減するテンプレートの製造方法および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】実施の形態のテンプレートの製造方法は、主面１１に凹凸を有するパターン１３０が形成され、パターン１３０をウエハ４上に形成されたレジスト材５に接触させてパターン１３０をレジスト材５に転写するインプリント処理に用いるテンプレート１であって、テンプレート１の少なくとも凹部１３２の底部１３２ａに荷電粒子を打ち込む工程を含む。 （もっと読む）

【課題】高価な樹脂材料を用いたり、撥水処理したりしなくても、優れた撥水性を発現できる成形体とその製造方法、および成形体を備えた撥水性物品の提供。
【解決手段】樹脂組成物からなる、複数の凸部１３が形成された微細凹凸構造を表面に有する成形体１０であって、前記凸部１３の先端１３ａから１０ｎｍの位置で水平に切断したときの切断面の平均占有率が８．０％以下であり、隣接する凸部間の平均間隔が４００ｎｍ以下であり、かつ前記樹脂組成物は、硬化物とした際の平滑面における水接触角が６１°以上であることを特徴とする成形体１０とその製造方法、および成形体を備えた撥水性物品。 （もっと読む）

【課題】加工対象の表面の高さ分布に起因する微細パターンの形状のばらつきを低減させることが可能なナノインプリント用モールドを提供する。
【解決手段】ナノインプリント用モールド１は、モールド基体部３と、裏面５Ｂと、裏面５Ｂとは反対側のパターン面５Ｓとを有するモールド本体部５と、モールド基体部３の表面３Ｓと、モールド本体部５の裏面５Ｂとの間に固定された弾性体部７とを備える。モールド本体部５のパターン面５Ｓには、ナノインプリント用のパターン５Ｐが形成されており、弾性体部７の体積弾性率は、モールド本体部５の体積弾性率よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】光学シートの金型ロールに関し、広い幅の金型ロールであっても切削工具の交換をすることなく、又は交換回数を減らすことができる金型ロールの製造方法を提供する。
【解決手段】凹凸形状を有する光学シートの凹凸部分を成形する金型ロールを製造する方法であって、表面に被加工層が形成されたロール基体２１を回転させ、切削工具３０により光学シートの凹凸に対応する溝を形成させる工程を含み、切削工具の横逃げ角を２度以上、５度以下とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＮＩＬにより効率良く且つ精度の良く大面積の凸部パターンの形成を可能とするテンプレートおよび製造方法、パターン形成方法、加工方法を提供する。
【解決手段】実施形態のテンプレート１０は、第１凹凸パターンに硬化剤を充填して硬化させることにより第１凹凸パターンを硬化剤に転写して硬化剤からなる第２凹凸パターンを被加工層上に形成するインプリントに用いるテンプレートである。このテンプレート１０は、基板の一面側に第１凹凸パターンを備える。第１凹凸パターンは、凹部の底面の高さ位置が略同一であり、凹部の底面からの高さが異なる２種類以上の凸部１１ｐａ、１１ｐｂを有する。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高く優れた離型性を具備したナノインプリント用のモールドと、このようなモールドを簡便に製造するための製造方法を提供する。
【解決手段】ナノインプリント用モールド１を、基材２と、基材２の一方の面２ａを被覆する樹脂層３と、この樹脂層３の面３ａに位置する凹部４とを備えたものとし、樹脂層３を表面の水接触角８０°以上、ＨＶ硬度４００以上とし、このようなナノインプリント用モールド１は、塗布工程にて、基材２の一方の面２ａに少なくともオルガノポリシロキサンと光触媒とを含有してなる塗布液を塗布して濡れ性変化樹脂材料層３′を形成し、乾燥工程にて、濡れ性変化樹脂材料層３′とマスターモールド１１を圧着し、その状態で濡れ性変化樹脂材料層３′に乾燥処理を施して樹脂層３を形成し、剥離工程にて、樹脂層３とマスターモールド１１とを離間することで形成する。 （もっと読む）