【課題】 複数の３次元形状計測法、表面計測手法を相補的に組み合わせることで、測定対象の形状によらず高い計測精度を確保した３次元形状検査方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、検査対象の参照モデルの形状データである参照データを格納する格納部と、前記参照データから第１の形状データを取得する領域を特定する領域特定部と、前記領域特定部で特定した領域について前記第１の形状データを取得する第１の３次元形状センサと、前記領域特定部で特定した領域以外の領域について前記検査対象の前記第１の形状データとは異なる第２の形状データを取得する第２の３次元形状センサと、前記第１の形状データと前記第２の形状データとを統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする３次元形状検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】回路基板の個体識別を簡便かつ容易に実現する回路基板の個体識別装置および個体識別方法を提供すること。
【解決手段】回路基板１００上の複数の計測対象１１０の位置を計測し、計測対象１１０の計測値と計測対象１１０の設計値との差を計測対象１１０ごとの位置情報として取得する位置情報取得手段１０と、位置情報取得手段１０によって取得された位置情報の組み合わせを基板識別符号として登録する登録手段２０とを備える回路基板の個体識別装置。 （もっと読む）

【課題】本願発明の課題は、柱状物体の空間情報を得るためには多くの労力と時間を要する、大量の柱状物体を漏れなく抽出することが難しい、あらかじめ柱状物体を認識しなければならない、といった問題を解決することであり、大量の計測データの中から、正確かつ短時間で、柱状物体を自動抽出する柱状物体抽出方法、柱状物体抽出プログラム、及び柱状物体抽出装置を提供することにある。
【解決手段】本願発明の柱状物体抽出方法は、計測点群から柱状物体を抽出する方法であり、計測点群からそれぞれ独立した領域ごとにセグメントデータを得るセグメンテーション工程と、細線化処理を行うことで立設物形状データを得る細線化工程と、主成分分析を行って固有値から算出される特徴量に基づいて形状分類を与える形状分類工程と、特徴量等に基づいて立設物の柱状判定を行う柱状物体判定工程を備える方法である。 （もっと読む）

【課題】自動車のドア側のシール面とボディー側のシール面との間のシール面間寸法を正確かつ短時間で測定する。
【解決手段】少なくとも片面に配置された複数のターゲットマーク１３を表にして車両のボディー側に取り付けるボディー側ターゲットボード１１と、両面に配置された複数のターゲットマークが表裏から見えるように車両のドア側に取り付けるドア側ターゲットボード１２と、車両のボディー側のシール面およびドア側のシール面にレーザ光を照射するレーザ光照射部２２と、ターゲットボード１１、１２を撮影するステレオカメラ２３と、撮影したレーザ光からボディー側およびドア側のシール面の断面形状を認識し、撮影したターゲットマーク１３を用いてボディー側およびドア側のシール面の断面形状を一致させるように移動させ、ボディー側のシール面とドア側のシール面との間のシール面間寸法を測定する画像処理部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ４及びレジスト膜５の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ４の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第１仮想基準面Ｋ１として設定し、さらに当該第１仮想基準面Ｋ１をベース基板２の表面２ａに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第２仮想基準面Ｋ２として設定する。そして、当該第２仮想基準面Ｋ２からの各クリームハンダ４の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ４の印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
物体の外観を検査する方法を、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも１つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも１つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。 （もっと読む）

【課題】検知対象物の一部が他の障害物によって隠れているような状況下でも、その検知対象物の形状を正確に識別することができるようにする。
【解決手段】検知対象物上の各点の法線を算出する法線算出処理部３と、検知対象物上の各点を通過する直線を生成する直線生成処理部４と、３次元空間内の一定範囲の区切りである格子の中で、直線生成処理部４により生成された直線が通過する格子を特定する通過格子特定処理部５と、通過格子特定処理部５により特定された格子に対する投票を行う投票処理部６とを設け、形状推定処理部７が、３次元空間内の各格子に対する投票処理部６の投票結果から検知対象物の形状を推定する。 （もっと読む）

【課題】被検出形状に縁部における輝度変化を除去し、欠けや異物の検出を確実に行える孔形状検査方法および孔形状検査プログラムを提供する。
【解決手段】孔形状良否を判定する孔形状検査方法およびプログラムであって、前記孔の孔形状撮像工程と、前記孔形状画像の２値化画像形成工程と、前記孔の面積が既定値であるかを判定する孔面積判定工程と、前記孔の内形状の孔重心を求める孔重心演算工程と、前記孔形状画像に前記孔重心を中心とする同心フィルターをかけ、前記孔重心を中心とする同心形状上の画素の平均輝度と、１画素の画素輝度と、の差によるフィルタリング画像形成工程と、前記フィルタリング画像の２値化フィルタリング画像形成工程とを有し、前記２値化フィルタリング画像の画素数が所定の値以下である場合、前記孔を良品と判定する良否判定工程を有する孔形状検査方法、およびその検査方法をコンピューターに実行させるプログラム。 （もっと読む）

【課題】容易且つ安価に計測対象物の変位量を表示可能な歪量表示方法等を提供する。
【解決手段】歪量表示方法は、模様１１ｂ、１２ｂが形成された模様領域１１ａ、１２ａを有する一対の基体１１、１２の前記模様領域１１ａ、１２ａが重なり合うようにして、所定の間隔を有して計測対象物に固定され、前記模様１１ｂ、１２ｂの干渉によって発生するモアレ縞５によって前記計測対象物にかかる歪量を表示する。また、そのモアレ縞を撮影して、計測対象物の健全性を評価する。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ表面の薄広凸欠陥を高精度に検出することができるタイヤの欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１を開始するまでに、予め連続的にスリット光像を含む２次元画像を取得しておく。ステップＳ１では、撮像された複数の２次元画像データから、スリット光像を抽出する。ステップＳ２では、抽出されたスリット光像から偏心によるぶれである偏心成分を除去する。ステップＳ３では、偏心成分を除去した光像に基づいて特徴量を算出し、ステップＳ４で、算出された特徴量に基づいて薄広凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】自動的に基準軌跡の抽出と許容領域の生成とを実行することができ、容易に部品形状の変更に対応することができる塗布位置検査装置を提供する。
【解決手段】シール剤Ｓが塗布されたワークＷを撮像する撮像装置２と、撮像装置２によって撮像された撮影画像から、シール剤Ｓの塗布軌跡を抽出する軌跡抽出部４−１と、所定の基準軌跡を記憶する記憶部５と、軌跡抽出部４−１により抽出されたシール剤Ｓの塗布軌跡が、記憶装置５に記憶されている所定の基準軌跡を中心とする許容領域内に収まっているか否かを判定する形状判定部４−２とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成にて巻締め検査を精度よく行える金属缶端部の巻締検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】カメラ３２からの取得画像から極座標展開画像１１２を形成し（Ｓ４）、巻締め部３内側側面６１の内側フランジエッジ１２２と（Ｓ５）、外側側面６２の外側フランジエッジ１２４を認識して（Ｓ６）、内側フランジエッジ１２２から外側フランジエッジ１２４までの幅寸法１３１が閾値内にあるか否かを判断する（Ｓ８）。閾値内の場合、内側側面６１の内帯幅１６１の長さ方向での変化量、及び外側側面６２の外帯幅１６２の長さ方向での変化量を検査し（Ｓ９）、これらの変化が大きい場合、巻締不良フラグをセットして（Ｓ１０）終了する一方、変化が小さい場合には、巻締不良フラグをリセットして（Ｓ１１）終了する。 （もっと読む）

【課題】マスクの歪の影響によらずパターンの良否を正確に判定することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】マスク上の任意の少なくとも４点の座標を測定する（Ｓ１０１）。次いで、これらの少なくとも４点について、それぞれ対応する設計データの各座標との差を求め、最も差の大きい１点を選択する（Ｓ１０２）。次に、選択した１点と設計データの座標との差が予め設定した閾値を超えるか否かを判定する（Ｓ１０３）。閾値以下であれば、少なくとも４点全てを用いて、光学画像と参照画像との位置合わせを行う（Ｓ１０４）。一方、閾値を超える場合には、この点を除外し、残りの少なくとも３点を用いて位置合わせを行う（Ｓ１０５）。 （もっと読む）

【課題】ビードスティフナーの接合部分の検査において、基準形状と比較することなくビードスティフナーの形状を正確に測定して良否判定の精度を向上させるビードスティフナーの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】環状のビードコアと、帯状に成形され、延長方向の端部と端部とを互いに接合させてビードコアの外周に巻きつけられたスティフナーとを有するビードスティフナーの良否を判定する検査方法であって、ビードスティフナーの断面形状の形状データを取得する工程と、形状データからビードコアの頂点を検出する工程と、頂点から指定された領域内にスティフナーの端部の有無を検出する工程とを含み、スティフナーの端部の有無に基づいてビードコアとスティフナーとの接合の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】同一仕様で形成され同一方法で保持された複数の平面基板上の、同一箇所に形成された同一パターンの形状を確実に順次検査するための簡単な方法を提供すること。
【解決手段】１枚目の検査対象基板に対して、検査のためのカメラと検査対象となるパターンとの撮像距離を順次変化させて各撮像距離で撮像して合計で複数の画像情報を入力し、入力した複数の画像情報を予め登録してある登録画像情報と比較して、登録画像情報に最も類似した一画像の情報を複数の画像情報の中から選択して、検査判定するとともに、選択した画像情報に対応する撮像距離をカメラ最適高さとして特定し、２枚目以降の平面基板上の同一箇所に形成された同一パターンの形状検査において、カメラ最適高さとした撮像距離で検査することを特徴とするパターン検査方法。 （もっと読む）

【課題】検査員の主観に依らずして客観的な基準により鏡面球体のショット玉を検出し、安定した検査精度を実現でき、検査の自動化によりインラインで全数検査を実施できる鋳物穴加工品の鏡面球体残留検査装置および方法を提供する。
【解決手段】鋳物穴加工品１１の加工穴１２の内部を照らす照明部と、加工穴内を撮像可能なＣＣＤカメラ２１と、ボアスコープ２２を撮像対象加工穴１２に挿入するＸＹステージ３０と、ＣＣＤカメラ２１で撮像した画像を画像処理する画像処理装置５２を備え、画像処理装置５２は、撮像した取得画像において、ハイライト領域を有し、かつハイライト領域を囲む周辺部位にハイライト領域よりも輝度値の低い環状の暗領域を有する画像領域を、鏡面球体像の候補領域として選択し、候補領域におけるハイライト領域の輝度値が上位閾値より高く、かつ暗領域の輝度値が下位閾値より低い場合に候補領域が真の鏡面球体像であると判断する。 （もっと読む）

【課題】物体の誤検出を抑えたい領域と、物体の見逃しを抑えたい領域とが、混在する検出空間に対して、領域毎に、その領域に合わせた物体の検出が行える物体検出ユニットを提供する。
【解決手段】発光部３１を発光させて入出口の幅方向に検出波を照射し、受光部３２で反射波を検出する。記憶部５、物体の仮検出に用いる受光部３２の受光光量の下限を設定する仮検出レベル、および仮検出した物体の本検出に用いる受光部３２の受光光量であって、仮検出した物体までの距離に応じて下限を設定する本検出レベルを記憶する。測距部３は、受光部３２で検出した反射波の受光光量が、記憶部５に記憶している仮検出レベルを超えているときに、物体を仮検出するとともに、この仮検出した物体までの距離を算出する。制御部２は、本検出レベルを用いて、仮検出した物体が物体であるかどうかを判定する。 （もっと読む）

【課題】炭化珪素基板又は炭化珪素基板に形成されたエピタキシャル層に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥を分類する検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、微分干渉光学系を含む走査装置を用いて、炭化珪素基板の表面又はエピタキシャル層の表面を走査する。炭化珪素基板からの反射光はリニアイメージセンサ（２３）により受光され、その出力信号は信号処理装置（１１）に供給する。信号処理装置は、炭化珪素基板表面の微分干渉画像を形成する２次元画像生成手段（３２）を有する。基板表面の微分干渉画像は欠陥検出手段（３４）に供給されて欠陥が検出される。検出された欠陥の画像は、欠陥分類手段（３６）に供給され、欠陥画像の形状及び輝度分布に基づいて欠陥が分類される。欠陥分類手段は、特有の形状を有する欠陥像を識別する第１の分類手段（５０）と、点状の低輝度欠陥像や明暗輝度の欠陥像を識別する第２の分類手段（５１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】光切断法を用いた形状測定装置の投光手段または撮影手段に付着した異物を容易に検出する技術を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗにスリット光を投光する投光手段１，２と、撮像面を有し、スリット光が投光された被測定物Ｗを撮影する撮影手段３，４と、撮影手段３，４により撮影された画像の中のスリット光の像である光切断線に基づいて被測定物Ｗの形状を算出する形状算出部と、を備えた形状測定装置Ａは、スリット光が直線として投光される面を有する被測定物Ｗにそのスリット光が投光された状態で撮影された画像の中の光切断線の連続性を判定することにより投光手段１，２または撮影手段３，４に付着した異物の有無を判定する。 （もっと読む）