【課題】マスターから基板に微視的パターンを複製する方法を提供する。
【解決手段】本発明では、マスター上のトポグラフィ構造の複製物が形成され、必要とされるときに、種々の印刷技術又はインプリント技術の１つを用いて、受け基板上に転写され、次いで溶解される。ナノ構造、マイクロデバイス又はその一部の形成を含む付加的な処理工程もまた、転写前に、複製物を用いて行うことができる。次いで、これらの構造もまた、複製物が転写されるときに基板上に転写され、該複製物が溶解されるときには基板に残る。これは、集積回路その他のマイクロデバイスの製造における種々のリソグラフィ処理工程の相補的な工程として、又は置換工程として適用することができる技術である。 （もっと読む）

【課題】剥離層の付着効率が上がり、剥離層の耐久性が改善され、モールド耐久性が向上し、パターン成形性が良好なインプリント用モールド構造体、並びにインプリント方法、磁気記録媒体及びその製造方法の提供。
【解決手段】円板状の基板と、該基板の一の表面上に、該表面を基準として複数の凸部が配列されたことによって形成された凹凸部を有してなるインプリント用モールド構造体であって、前記インプリント用モールド構造体の凹凸側面に剥離層を有し、該剥離層の厚みが１．０５ｔ〜１．５ｔ（ただし、ｔは、剥離層材料の単分子層厚み（ｎｍ）を表す）であり、かつ１０ｎｍ以下であるインプリント用モールド構造体とする。 （もっと読む）

【課題】光インプリントリソグラフィにより、基板と光硬化層とからなり耐光性を有し着色が少ない複合体を少ない工程で製造する方法を提供する。
【解決手段】凹凸のパターンが形成されたモールド及び可視光に対して実質的に透明で３７０ｎｍ未満の波長領域の全領域における各波長の光の透過率が１０％以下である基板を用いて光インプリントリソグラフィにより基板と光硬化層とからなる複合体を製造する方法であって、前記基板又は前記モールド上に、少なくとも１つの光重合性基を有する化合物と、３７０ｎｍ以上の波長領域の光に感光して前記光重合性基を有する化合物の重合開始剤として作用すると共に構造が変化して可視光領域にある吸収強度が減少する特性を有する光重合開始剤とを含有する液状の光硬化性組成物からなる光硬化性組成物層を形成する工程と、前記基板及びモールドで前記光硬化性組成物層を挟み込む工程と、前記基板及び前記モールドで挟み込まれた状態のままの前記光硬化性組成物層を前記基板側から３７０ｎｍ以上の波長領域を含む光で露光して光硬化層とする工程と、この光硬化層から前記モールドを離型する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】微細ガラスパターンを高いパターン精度で形成することができるインプリントモールド用マスクブランクを提供する。
【解決手段】ガラス基板１と該基板上に形成された薄膜２とを有するインプリントモールド用マスクブランク１０であって、上記薄膜２は、Ｔａ又はＴａ化合物、或いはＳｉまたはＳｉ化合物の何れかを主成分とし、フッ素系ガスを用いたドライエッチング処理によりエッチング加工が可能な材料で形成された上層４と、Ｃｒ又はＣｒ化合物で形成された下層３との積層膜からなる。 （もっと読む）

【課題】転写型の表面形状を精度よく、速やかに転写して、効率よく表面形状転写樹脂シートを製造し得る方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、樹脂を加熱溶融状態でダイから連続的に押し出して連続樹脂シートを製造するシート製造工程と、連続樹脂シートと送出しロールにより連続的に送出される転写型とを第一押圧ロールと第二押圧ロールとで挟み込む押圧工程とを含み、上記押圧工程は、転写型を、連続樹脂シートと、第一押圧ロールまたは第二押圧ロールとの間に挟み込む第１工程と、転写型と連続樹脂シートとを密着させて搬送させる第２工程と、転写型を連続樹脂シートの表面温度がビカット軟化点以下の状態で連続樹脂シートから剥離する第３工程とを含み、転写型は、有機材料で構成されていることを特徴とする表面形状転写樹脂シートの製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】低コストで提供可能な樹脂スタンパを安価に製造することができる技術を提供する。
【解決手段】表面にパターンが形成されたマザースタンパに対して樹脂製の基材を押し付けて成形し、該基材にパターンを転写するとともに、前記基材を打ち抜き加工して板状の樹脂スタンパを製造する方法であり、前記樹脂製の基材２５を少なくとも表層２５ｂと基層２５ａを具備する複層構造として前記表層２５ｂを２５℃における引張弾性率が１．５ＧＰａ以上、かつガラス転移温度が４０℃以上である熱可塑性樹脂から形成し、前記基層２５ａを２５℃における引張弾性率１．０ＧＰａ以下である低弾性樹脂から形成し、前記圧縮成形を行う際、前記表層２５ｂを構成する樹脂のガラス転移点Ｔｇ_Ａに対し、（Ｔｇ_Ａ−１０）℃以上の温度で前記表層２５ｂを前記マザースタンパに押し付けることを特徴とする樹脂スタンパの製造方法。 （もっと読む）

【課題】耐久性、及び基板に対する転写性が高く、ディスクリートトラックメディアや、パターンドメディアに高品質なパターンを転写形成するモールド構造体の提供。
【解決手段】厚みが０．３ｍｍ〜２．０ｍｍであり、表面にインプリントレジスト層が形成された基板に対し、表面に凹凸パターンが形成され、該凹凸パターンを前記インプリントレジスト層に対向させて該インプリントレジストに前記凹凸パターンを転写するモールド構造体であって、該モールド構造体の厚み（Ｄｍ）と、前記基板の厚み（Ｄｓ）と、該モールド構造体のカール量（Ｃ）とが、数式：０．０１≦１０，０００×（Ｄｍ^３／Ｄｓ^３）^１／２×Ｃ^２≦２５０を満たすことを特徴とするモールド構造体等である。 （もっと読む）

【課題】効率よく精度の高いパターン形成を実施させ得るパターン付樹脂シート製造方法の提供を課題としている。
【解決手段】軸周りに回転可能なローラを有し、凹凸形状によってパターン形成されたパターン形成部が前記ローラの外周部に設けられている型材を用いて、レーザービームにより前記外周部が加熱された状態で樹脂シートの表面に前記外周部を圧接させることにより前記パターン形成部と凹凸方向が逆転されたパターンを前記樹脂シートの表面に形成させ、しかも、前記ローラを回転させて前記外周部により圧接される箇所を移動させることにより前記樹脂シートの表面に前記パターンを連続的に形成させることを特徴とするパターン付樹脂シート製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】
樹脂製モールドからナノインプリント法により微細構造を転写する際に、転写パターンへの損傷を抑制し、生産性に優れた微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】
モールド樹脂の表面に高分子化合物等の被覆膜を設けて未反応基を高分子膜中に埋没させ、モールド樹脂表面に残存する未反応重合性基と被転写体樹脂との反応を防止する。また、被覆膜の表面ないしは内部に、高分子化合物との間で共有結合などの強い化学結合を持たない離型性分子を含ませることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ブロック共重合体を利用した半導体素子の微細パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】基板上に複数の反復単位を有するブロック共重合体を含むコーティング層を形成するステップと、複数のリッジ及び溝からなる第１パターンが形成されたモールドを利用して、コーティング層に第１パターンを転写するステップと、モールドの溝内にコーティング層が充填された状態で、コーティング層内のブロック共重合体の反復単位を相分離によって再配列させ、モールドのリッジ及び溝によってガイドされる方向に沿って配向された複数のポリマーブロックからなる自己組立構造を形成するステップと、複数のポリマーブロックのうちの一部のポリマーブロックを除去して、残りの一部のポリマーブロックからなる自己組立微細パターンを形成するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】
シート状樹脂基材をガラス転移温度以上に保持したまま、金型からの離型を良好に行うことができる微細形状転写用シートを提供することである。
【解決手段】
シート状樹脂基材の少なくとも一方の面に離型層が設けられ、シート状樹脂基材の該一方の面側部分を構成する樹脂のガラス転移温度をＴｇとしたとき、離型層の（Ｔｇ−５）℃〜（Ｔｇ＋１５）℃における明細書中で定義する離型強度が８０〜１２０ｇ／４０ｍｍである微細形状転写用シートである。 （もっと読む）

【課題】低コストで提供可能な樹脂スタンパを安価に製造することができる技術の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は表面にパターンが形成されたマザースタンパに対して樹脂製の複合基材を押し付けて圧縮成形し、該複合基材に前記マザースタンパのパターンを転写するとともに、前記複合基材を打ち抜き加工して板状の樹脂スタンパを製造する方法であって、前記樹脂製の複合基材は少なくとも一層の硬化性の樹脂が形成され、前記圧縮形成を行う際、活性エネルギー線を照射、または加熱して複合基材の一部を硬化させてパターンを転写して複合基材を打ち抜き加工することにより樹脂スタンパを得ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱インプリント性、耐エッチング性の良好なエッチングマスク、エッチングマスク付き基材、および微細加工品およびその製造方法の提供。
【解決手段】特定の環状オレフィンの開環重合体もしくはその水素化物を少なくとも１種類含有する熱可塑性樹脂からなるエッチングマスク。 （もっと読む）

【課題】 光転写方式の微細構造転写装置において使用されるスタンパであって、自動搬送及び自動位置決めが可能なスタンパを提供する。
【解決手段】 ＵＶナノインプリントに使用される樹脂スタンパであって、光透過性材料からなり、機械的強度を有する支持部材と、光透過性材料からなる中間層と、光透過性材料からなる樹脂パターン層とからなり、
前記支持部材のサイズが前記中間層及び樹脂パターン層のサイズよりも大きく、
前記中間層が前記樹脂パターン層よりも柔軟性が高く、
前記樹脂パターン層の表面には原盤の凹凸パターンと反対の凹凸パターンが形成されていることを特徴する樹脂スタンパ。 （もっと読む）

少なくとも１つの凸部又は少なくとも１つの凹部を有する物品、及び該物品の製造方法が記載される。少なくとも１つの凹部を有する第１の物品は、少なくとも１個の気泡を含む成形面を使用して作製される。少なくとも１つの凸部を有する第２の物品は、第１の物品を成形型として使用し作製される。
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本発明は（Ａ）１つ以上の不飽和二重結合を有する活性エネルギー波−硬化型化合物、及び、（Ｂ）前記成分（Ａ）１００重量部を基準として光開始剤０．１〜２０重量部を含むパターン形成用モールドシート組成物、及び前記組成物が、活性エネルギー波−硬化型化合物を含み、所望のパターンの陰刻が形成されているパターン形成用モールドシートを提供する。
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感熱・熱可塑性プラスチック受容材料に、像形成材料を、デザインされたパターン状に付着させること、および該熱可塑性プラスチック受容材料のサイズを少なくとも約６０％縮小させる条件下で該材料を加熱することによって、受容材料上に１つまたはそれ以上のマイクロ流体チャンネルを調製するための方法が提供される。代わりの様態において、感熱・熱可塑性プラスチック受容材料・支持体中に、デザインされたパターンをエッチング加工すること、および次に、熱可塑性プラスチック受容材料のサイズを少なくとも約６０％縮小させる条件下で、該材料を加熱することによって、受容材料上にマイクロ流体チャンネルが調製される。
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【課題】表面プラズモンを利用したナノパターニング方法、これを利用したナノインプリント用マスター及び離散トラック磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）基板上にエッチング対象物質層、フォトレジスト層及び所定周期で反復配列された構造の第１パターン形状にパターニングされた金属層を順次形成する工程と、（ｂ）パターニングされた金属層に表面プラズモンが励起されてフォトレジスト層が第２パターン形状に露光されるように光を照射する工程と、（ｃ）パターニングされた金属層を除去し、フォトレジスト層を現像する工程と、（ｄ）第２パターンにパターニングされたフォトレジスト層をマスクとしてエッチング対象物質層をエッチングする工程と、を含むナノパターニング方法である。 （もっと読む）

【課題】優れたコントラストを有する模様を転写し得る型であって、優れた生産効率で安価に製造され得る型を提供する。
【解決手段】型１０は、シート状部材５０に凹凸模様１２を形成するための型である。型は、シート状の基材２２と、前記基材の一方の表面上に積層された金属層２４と、を備える。前記シート状部材に転写されるべき凹凸模様が、前記金属層の側の表面から前記金属層および前記基材を変形させて形成されている。 （もっと読む）

【課題】優れた利便性を有する型を提供する。
【解決手段】型１０は、被加工体５０に凹凸模様１１，１２を形成するための型である。型は、第１表面１８ａと、前記第１表面とは反対側の第２表面１８ｂと、を含むシート状の基材１８と、前記基材の前記第１表面上に積層された第１の被覆層２０と、前記基材の前記第２表面上に積層された第２の被覆層３０と、を備える。前記被加工体に転写されるべき第１の凹凸模様１１が、前記第１の被覆層の側の表面１０ａから形成されている。前記被加工体に転写されるべき第２の凹凸模様１２が、前記第２の被覆層の側の表面１０ｂから形成されている。 （もっと読む）