【課題】円筒状部材を確実に固定することが可能な円筒状部材固定機構およびそれを備えた転写装置を提供する。
【解決手段】気体導入部材１の気体導入空間１ｃに導入された気体は、複数の気体導出孔１ｂを通して気体導入部材１の外部、すなわち気体導入部材１と可撓性シート２との間の空間に導かれる。気体導入部材１の一端部と可撓性シート２の一端部との間、および気体導入部材１の他端部と可撓性シート２の他端部との間は気密に封止されている。それにより、一定以上の圧力で気体が導入されると、その気圧によって可撓性シート２が外方に膨張する。したがって、可撓性シート２の外周面が金属箔４の内周面の全体を外方に押圧する状態になる。その結果、金属箔４が気体導入部材１に固定される。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、使用可能な被転写体のサイズが制限されないように微細構造転写装置に十分な保持力で保持させることができ、耐久性に優れた微細構造転写モールドを提供することにある。
【解決手段】本発明の微細構造転写モールド１ａは、表面に微細な凹凸が形成されたパターン部２ａと、このパターン部２ａの外側に形成された固定部３ａと、前記パターン部２ａが前記固定部３ａよりも突出するように前記パターン部２ａと前記固定部３ａとの間に設けられる傾斜部４ａと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微小な凹凸が形成された転写層を有する転写シート、その製造方法及びその転写シートを用いて製造された樹脂成形品を提供する。
【解決手段】図１の（１）を参照して、本発明の転写シート２０は、光透過性材料から構成された基体シート１上に光硬化性材料から構成された離型層３が形成され、その離型層３の一部または全部の表面に微小な凹凸６が設けられ、その微小な凹凸６の凸部２上に金属薄膜層または金属酸化物層５などの転写層１０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】光方向変換物品およびその形成方法を提供する。
【解決手段】光方向変換物品を形成する方法が提供され、基体の表面が埋め込み物質の層を適用することによりコンディショニングされる。マイクロ球体の最密充填層が、乾燥支援自己組織化を用いて組織化され、コンディショニングされた表面に適用される。マイクロ球体は、次いで、埋め込み物質の層の表面に中間的に埋め込まれる。 （もっと読む）

【課題】被転写基板の形状の波長が大きく異なる反り及び表面突起（異物）の双方に同時に追従し、欠陥が少なく均一な転写を行うことができる新規な構造を有するナノインプリント用スタンパを提供する。
【解決手段】ナノインプリント用スタンパ１であって、光透過性硬質基板７と、光透過性弾性体プレート９と、光透過性で可撓性の硬質スタンパベース１１と、光透過性スタンパ緩衝層１３と、光透過性スタンプパターン層１５とから構成されており、前記スタンパ緩衝層のヤング率が前記スタンプパターン層のヤング率よりも低いことを特徴とするナノインプリント用スタンパ。 （もっと読む）

【課題】寸法精度に優れたインプリントに用いられるモールドを製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】ドライエッチング装置を用いて石英製の基板１０をドライエッチングすることにより、インプリントに用いるモールドの製造方法において、基板１０に凹凸パターンを有したエッチングマスク２０を形成するマスク形成ステップと、エッチングマスク２０の側壁への保護膜３０の形成と基板１０のエッチングとを同時に行うエッチングステップとを含む。これにより、基板１０をエッチングすると共にエッチングマスク２０の側壁に保護膜３０が形成されるので、エッチングマスク２０の側壁の侵食が阻止される。 （もっと読む）

【課題】
ハジキ欠点の少ない離型コート層を具備してなる微細形状転写用シートを提供する。
【解決手段】
支持層と、支持層の少なくとも片面に設けられ該支持層を構成する樹脂の融点以下の温度で熱成形が可能なポリエステル樹脂で構成された成形層とを含む二軸延伸積層ポリエステルフィルムの該成形層の表面に、ハジキ防止コート層、離型コート層がこの順に積層された微細形状転写用シートである。
また、前記シートの離型コート層に、微細形状が形成された金型を押圧し、離型コート層表面に微細形状を転写することを特徴とする微細形状転写シートの製造方法および同方法で作成された微細形状転写シートである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、転写不良を抑制することができ、型寿命の長いインプリント型、インプリント装置、インプリント型の製造方法、及び構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】金属及び無機材料の少なくともいずれかを含む基部と、前記基部の第１の主面上に設けられ、金属及び無機材料の少なくともいずれかを含むパターン部と、前記基部の前記第１の主面とは反対の第２の主面上に設けられ、有機材料を含む緩衝部と、を備え、前記基部と、前記緩衝部と、が撓むことで被転写層が設けられた基板の主面の形状に前記パターン部が倣うこと、を特徴とするインプリント型が提供される。 （もっと読む）

テンプレート、およびリソグラフィを目的とした、ナノ構造を用いてナノスケールで高アスペクト比テンプレート、スタンプおよびインプリンティングを製造する方法、ならびに材料および製品に穿孔するためのテンプレートの使用。
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【課題】レジストパターンへのスパッタ法を用いることなしに電流シード層を形成し、それによって高品質なモールドが得られる、ナノインプリント用モールドの製造方法の提供。
【解決手段】（１）導電性表面を有する基板を準備する工程と；（２）導電性表面を有する基板上に凹凸パターンを有するレジスト層を形成し、レジスト層のパターンの凹部において、導電性表面を露出させる工程と；（３）レジスト層のパターンの凹部に露出した導電性表面上に電鋳を行って、レジスト層の膜厚よりも大きい膜厚を有する電鋳膜を形成する工程と；（４）導電性表面を有する基板およびレジスト層を除去する工程とを有することを特徴とするナノインプリント用モールドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸パターンが形成された基板から、容易に他の基板等に正確なパターン転写を行うことができる微細パターン形成方法を提供する。
【解決手段】少なくとも片側に凹凸パターンが形成された第一の基板１１上に、誘電体膜１５を形成する。第一の基板１１とパターン転写先の第二の基板１４とを、第一の基板１１側から順にフッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２及びフッ素未含有の第二の紫外線硬化性樹脂１３を介して結合させる。第一の基板１１と第二の基板１４とを、誘電体膜１５とフッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２との境界で分離し、フッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２に凹凸パターンを転写する。 （もっと読む）

【課題】成形型と転写層の剥離工程における成形型の破損を抑制し、かつ成形時における反りが小さい成形型を提供する。
【解決手段】成形型１は、一方の面側に凹凸パターンを有する第１の基板１１と、前記第１の基板１１の前記凹凸パターン形成面の反対側に接合された第２の基板１２と、前記第２の基板１２を前記第１の基板１１とで挟持して配置され、前記第２の基板１２と接合された第３の基板１３と、を具備し、前記第１の基板１１と前記第３の基板１３は熱膨張係数が同一あるいは略同一の材料からなる。 （もっと読む）

【課題】転写ロールの円筒状外周面に凹凸状の微細パターンを形成する際に、この微細パターンの始端部と後端部との繋ぎ目を目立たなくさせる。
【解決手段】ロール本体１２ａと、ロール本体１２ａを回転させる軸１２ｂと、ロール本体１２ａの外周に沿って設けられ且つ転写フィルムＦ上に転写するための微細パターンＰを始端部Ｐｓから終端部Ｐｅにかけて形成した円筒状外周面１２ｃとを有し、且つ、微細パターンＰの始端部Ｐｓと終端部Ｐｅとを円筒状外周面１２ｃ上で軸１２ｂの方向に沿って互に向かい合わせるように転写ロール１２を構成した際に、転写ロール１２の円筒状外周面１２ｃ上で微細パターンＰの始端部Ｐｓと終端部Ｐｅとの間の僅かな区間Ｋに微細パターンＰを形成せずに、この僅かな区間Ｋを平滑な曲面又は凹曲面としている転写ロール１２を提供する。 （もっと読む）

【課題】被転写基板の局所的な突起に追従し、パターン転写不良領域を低減することが可能で、耐久性のあるスタンパおよび転写方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸形状が形成されたインプリント用スタンパ１０１において、前記凹凸形状が形成された樹脂製のパターン層１０２と、前記パターン層１０２の裏面に配置された樹脂製の緩衝層１０３と、前記緩衝層１０３の裏面に配置された基材層１０４とを有し、前記緩衝層１０３のヤング率が前記パターン層１０２のヤング率よりも小さく、前記基材層１０４のヤング率が前記緩衝層１０３のヤング率よりも大きいことを特徴とするインプリント用スタンパ１０１。 （もっと読む）

【課題】明りょうで加工精度の高い点字エンボスを短時間で大量に形成することが可能なフレキシブルダイを提供する。
【解決手段】一対のフレキシブルベース２ａ、２ｂを、対向配置される一対の円筒状のローラにそれぞれ巻き付け、これら一対のローラ間に加工対象シートを通過させて点字用エンボス加工を行うエンボス加工装置に使用されるフレキシブルダイであって、一対のフレキシブルベース２ａ、２ｂは、互いに雌雄嵌合する雌側フレキシブルベース２ａと雄側フレキシブルベース２ｂとから構成され、雄側フレキシブルベース２ｂには加工対象シートに刻印する点字に対応する雄側凸部３ｂが形成されており、雌側フレキシブルベース２ａには雄側凸部３ｂに嵌まり合う凹部３０を備えた雌側凸部３ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】ジンバル機構を構成する２つの部材間におけるまわり止めを的確に行うことができる転写装置を提供する。
【解決手段】型Ｍに形成されている微細な転写パターンを被成型品Ｗに転写する転写装置１において、被成型品Ｗを保持する被成型品保持体３と、被成型品保持体３に対して接近・離反する方向で相対的に移動位置決め自在な可動体５と、型Ｍを保持し、ジンバル機構１１によって可動体５に支持されている型保持体７と、ジンバル機構１１によって支持されている型保持体７の姿勢の調整を容易ならしめる一方で、型保持体７の回り止めを行うように型保持体７を支持する支持体９とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表面に微細パターンを有する、高光透過性フッ素樹脂フィルムの提供。
【解決手段】一方または両方の表面に錐体状、半球状、柱状、または放物面体状のいずれかの形状を有する微細な凹部または凸部から構成されるパターンを有し、該パターンのピッチが３０ｎｍ〜５μｍであり、凸部または凹部の幅が３０ｎｍ〜５μｍであり、アスペクト比が０．２〜１５とすることによって、可視光線の光透過率が９４％以上であり、かつ可視光線の反射率が３％以下である高光透過性フッ素樹脂フィルム。 （もっと読む）

【課題】低コストであり、大面積化（シームレス化）が可能であるフィルム状レプリカモールド、その製造方法、および微細凹凸構造を有するフィルム製品を低コストで、大面積（シームレス）で製造できる方法を提供する。
【解決手段】表面に微細凹凸構造を有するフィルム状レプリカモールド１０であって、微細凹凸構造が、陽極酸化アルミナの表面の微細凹凸構造を転写して形成されたものであるフィルム状レプリカモールド１０；および、フィルム状レプリカモールド１０の表面の微細凹凸構造を、フィルム状の基材の表面に転写する、微細凹凸構造を有するフィルム製品の製造方法。 （もっと読む）

【課題】モールド構造体の複製を１回のインプリントで高精度に行え、欠陥の発生が少なく、微細パターンを効率よく形成することができるパターン形成方法、基板加工方法、モールド構造体の複製方法、及びモールド構造体の提供。
【解決手段】被パターン形成体、及び表面に凹凸部を有するモールド構造体の少なくともいずれかに活性種供給源を付与する活性種供給源付与工程と、前記モールド構造体の凹凸部を前記被パターン形成体に押圧して、前記活性種供給源を前記モールド構造体の凹部に封入する押圧工程と、前記モールド構造体及び前記被パターン形成体のいずれかを通して励起光を照射し、前記凹部に対応する被パターン形成体を酸化分解する酸化分解工程と、を少なくとも含むパターン形成方法である。 （もっと読む）

（a）第一の面上に規定のインプリント表面パターンおよび第一の面と反対側の第二の面上に規定のインプリント表面パターンを有するインプリント基板金型を提供する段階;（b）ポリマー構造をインプリント基板金型の第一の面に押圧して、その上にインプリントを形成する段階;ならびに（c）別のポリマー構造をインプリント基板金型の第二の面に押圧して、その上にインプリントを形成する段階を含む、ポリマー構造上にインプリントを作製する方法が開示される。

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