【課題】希土類窒化物は、イットリア以上の耐蝕性を持つ半導体製造装置用部材を作製できると期待されるが、希土類窒化物単体では酸化しやすい性質であり、例えば大気中では希土類酸化物に変化してしまう問題があった。
【解決手段】希土類窒化物からなるプラズマ耐蝕性材料であって、金属元素としてＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎの中から少なくとも１種類の元素を金属元素の割合として０．１〜２０原子％含有することを特徴とするプラズマ耐蝕性材料は、プラズマに対する耐性が高く、このようなプラズマ耐蝕性材料は、希土類窒化物粉末に金属を混合した粉末を使用して溶射膜を形成することで製造することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 内部に流体を流すための流路を有するウエハ保持体について、長期にわたって使用しても液漏れのない、信頼性の高い接続構造を提供する。
【解決手段】 内部に流体を流すための流路が形成されたウエハ保持体であり、流路に接続して外部から流体を供給し排出するためのパイプ部材と、流路の両端部付近の内周面に形成された雌ネジ部と、パイプ部材の先端部付近に形成された雄ネジ部と、雄ネジ部のパイプ部材先端と反対側の端部に設けたフランジ部と、パイプ部材の先端から挿入されてフランジ部に当接するＯ−リングとを有する。ウエハ保持体及びフランジ部のＯ−リングと接触する各接触面の表面粗さは、Ｒａで２.０μｍ以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【解決手段】炭化珪素粉末と炭化珪素繊維とから形成される炭化珪素−炭化珪素繊維複合体。
【効果】本発明の炭化珪素−炭化珪素繊維複合体は、耐酸化性に優れた材料であり、耐熱材料としての使用範囲が広がり、種々の用途に使用することが可能となった。また、炭化珪素化する方法も簡便であり、しかも品質のバラツキの少ない炭化珪素−炭化珪素繊維複合体を得ることが可能であり、工業的規模の生産にも十分耐え得るものである。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム固有の特性を保持して低抵抗化された窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ユウロピウム（Ｅｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、及び酸素（Ｏ）を少なくとも含み、Ｘ線回折プロファイルがＳｒ_３Ａｌ_２Ｏ_６相と略一致するピークを有する粒界相を窒化アルミニウム焼結体内に３次元的に連続化させることにより、窒化アルミニウム固有の諸特性を損なうことなく低抵抗化を実現できることを知見した。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム固有の特性を保持し、広い範囲で抵抗制御された窒化アルミニウム耐食性部材を提供する。
【解決手段】カルシウム（Ｃａ）、アルミニウム（Ａｌ）、及び酸素（Ｏ）を少なくとも含む連続化した粒界相を窒化アルミニウム内に形成することにより、窒化アルミニウム固有の特性を損なうことなく低抵抗化を実現できることを知見した。 （もっと読む）

【課題】高温特性及び破壊靭性に優れたＳｉＣ繊維結合型セラミックスの特性を維持したまま、製造装置の有効面積を効率的に活用したＳｉＣ繊維結合型セラミックスの製造方法を提供する。
【解決手段】ポリシラン又はその加熱反応物に２Ａ族、３Ａ族及び３Ｂ族の金属元素のうち少なくとも１種以上の金属元素を含有する化合物を添加し、不活性ガス中で加熱反応して金属元素含有有機ケイ素重合体を得たのち、これを溶融紡糸、さらに不融化及び無機化して所定の無機化繊維を得る。この無機化繊維を織物として予備成形体を作製し、カーボン製上下パンチ間に側面を開放して配置し、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素いずれかの雰囲気中において、１７００〜２２００℃の温度及び予備成形体の垂直方向に１００〜１０００ｋｇ／ｃｍ^２の加圧下で加熱加圧処理を行って、ＳｉＣ繊維結合型セラミックスを製造する。 （もっと読む）

【課題】 実用的な条件によって加工変質層を除去するＳｉＣ基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のＳｉＣ基板１１は、実質的に平行な第１および第２の主面１１ａ、１１ｂを有し、第２の主面１１ｂのみが鏡面仕上げされており、反りが±５０μｍ以下であるＳｉＣ基板であって、第２の主面１１ｂの表面粗度Ｒａは１ｎｍ以下であり、第１の主面１１ａの加工変質層が除去されている。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生が少ない耐食性部材、例えばガスノズルを提供すること。
【解決手段】窒化アルミニウム質焼結体からなる基体の表面の一部をなす複数の柱状の窒化アルミニウム結晶粒子を有し、前記柱状の窒化アルミニウム結晶粒子の頂点と、該頂点を中心とした２０μｍ四方における柱状以外の窒化アルミニウム結晶粒子の頂点との最大高低差が４μｍ以上である領域を有すること。 （もっと読む）

【課題】上面から這い出た溶融金属やスラッジが側面を伝って下面に到達することを軽減したボートを提供すること、特に両面キャビティボートにおける堆積スラッジの生成を抑制したボートを提供すること。
【解決手段】直方体形状の導電性セラミックス焼結体から構成された金属蒸発発熱体の通電方向となる二側面に、幅０．２〜１．０ｍｍ、深さ０．１〜１．５ｍｍ、長さ５０ｍｍ以上の溝を通電方向と平行方向に１本以上設けてなる金属蒸発発熱体。この場合、（１）二側面のそれぞれの側面に設けられた溝の本数が２本以上であり、溝同士の辺間距離、すなわち隣接する溝同士の距離であって溝幅を含まない距離が０．５〜１．５ｍｍである。（２）金属蒸発発熱体の上面及び下面の少なくとも一方にキャビティを設けることなどが好ましい。 （もっと読む）

【課題】炉材を消耗させることなく体積抵抗率が低い炭化珪素焼結体を製造する。
【解決手段】粉砕粉を窒素雰囲気下で焼成することにより焼成粉を生成し、焼成粉を粉砕することにより再粉砕粉を生成し、再粉砕粉を焼結させることにより炭化珪素焼結体を生成する。 （もっと読む）

【課題】反りのない炭化ケイ素焼結体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】炭化ケイ素微粉末を含むスラリー状の混合粉体を調製する工程と、スラリー状の混合粉体を成形用型に流し込み乾燥させて仮成形体を得る工程と、焼成炉の底部に断熱材を介して仮成形体を配置する工程と、仮成形体を不活性ガス雰囲気下において１８００℃以上で仮焼して仮焼体を得る工程と、仮焼体を不活性ガス雰囲気下において最高温度２１００℃で焼結して炭化ケイ素焼結体を得る工程と、を有する炭化ケイ素焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 印加された電圧に対して一定範囲の体積抵抗率を有することができる静電チャック用窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】 静電チャック用窒化アルミニウム焼結体は、クロム酸化物０．１〜１．０重量％と、あるいはさらにイットリウム酸化物１．０〜３．０重量％を加え、残部が窒化アルミニウムで全体を１００重量％とした組成でなっている。この静電チャック用窒化アルミニウム焼結体は、体積抵抗率が常温で１×１０^１３〜１×１０^１５Ωｃｍであり、また印加電圧に対して体積抵抗率の変化が小さく、１００Ｖ／ｍｍの電場における体積抵抗率に対し、３０００Ｖ／ｍｍの電場における体積抵抗率の変化率が、５％以内である。 （もっと読む）

【課題】色むらのない窒化アルミニウム焼結体を生産性良く製造する。
【解決手段】窒化アルミニウム粉末、焼結助剤および有機バインダーを含有してなる成形体を、非酸化性雰囲気中で脱脂と焼成を連続して行う窒化アルミニウム焼結体の製造方法において、体積基準累積粒度分布の累積９０％粒子径（ｄ９０）と累積１０％粒子径（ｄ１０）の差が３．０μｍ以下である窒化アルミニウム粉末を用い、焼成工程において１６００〜１７５０℃の温度域で４〜１０時間保持した後、焼結温度まで昇温することを特徴とする、色むらのない窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ナノメータ単位の粒子径を有するＷ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｓｉの炭化物粉末の合成手段を提供する。
【解決手段】金属アルコキシドと、Ｃ、Ｈ、Ｎ、Ｏ以外の元素を実質的に含まない有機物の炭素源とを溶媒に溶解した後に、乾燥し得られた組成物を、非酸化雰囲気中、１０００〜１９００℃にて炭化処理する。アルコキシドに存在する配位子と、炭素源の官能基を液相中で置換し、安定に存在させることにより、金属の酸化物生成を抑制できる。得られた金属炭化物は最大粒子径が１５０ｎｍ以下で遊離炭素含有量が０．５重量％以下である。この焼結体は強度や破壊靭性（耐クラック発生・伝播性）にも優れており、加工時のクラック発生や粒子脱落（プルアウト）が無い材料である。また、炭化物が微細な為、２〜１５重量％の炭化物含有量でも従来のセラミックス複合材料焼結体と同等以上の機械的特性や加工特性が得られる。 （もっと読む）

【課題】任意形状の炭化珪素を安価に製造可能にする。
【解決手段】密度３．１５［ｇ／ｃｍ_３］以上の炭化珪素焼結体をアルゴン雰囲気下で加熱処理する。 （もっと読む）

【課題】体積抵抗率が低い窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】マイエナイト（mayenite）相を含有し、かつカルシウムを５００〜２００００ｐｐｍ含有することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体、ならびに１００質量部の窒化アルミニウム、およびカルシウム原子に換算して０．０１〜５．０質量部のカルシウム含有焼結助剤を含有する混合物を、中性雰囲気下、１５００〜１７００℃で、５０時間以上焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い熱伝導率を有し、しかもチッピング幅の分布が小さい窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】下記条件（１）および（２）を充足する窒化アルミニウム粒子からなることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。 （１）Ｄ₉₀−Ｄ₁₀＝３．０〜６．０μｍ〔Ｄ₉₀は、窒化アルミニウム粒子の粒度分布における累積個数％が９０％のときの粒子径であり、Ｄ₁₀は、窒化アルミニウム粒子の粒度分布における累積個数％が１０％のときの粒子径である。〕 （２）平均粒子径（Ｄ_av）＝３．０〜７．０μｍ （もっと読む）

【課題】熱伝導率の高い窒化アルミニウム焼結体を提供できる窒化アルミニウムスラリーを提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム粉末、有機溶剤及び酸化防止剤を含む窒化アルミニウムスラリー並びにそれから得られる窒化アルミニウム顆粒、窒化アルミニウム成形体及び窒化アルミニウム焼結体に係る。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム焼結体に反りなどの変形を引き起こすことなく、焼結助剤を除去することのできる、窒化アルミニウムの焼成方法を提供することである。
【解決手段】焼結助剤を含有する窒化アルミニウム焼結体、または、窒化アルミニウム脱脂体を、酸化アルミニウムおよび窒化ホウ素ならびに不活性ガスの存在下で、１７００℃以上の温度で熱処理することを特徴とする窒化アルミニウムの焼成方法。更には、窒化ホウ素からなる容器内で、酸化アルミニウム及び不活性ガスの存在下で１７００℃以上の温度で熱処理する方法である。 （もっと読む）

【課題】加熱冷却サイクルでクラックが発生し難く進展し難い高い耐久性をもったセラミックス基板と、これを用いたセラミックス回路基板及び半導体モジュールを提供する。
【解決手段】本発明は破壊靭性が６．０ＭＰａ・ｍ^１／２以上であり、曲げ弾性率が２３０ＧＰａ以上であるセラミックス基板である。セラミックス基板表面のビッカース硬度を１６００以上とすることにより曲げ弾性率２３０ＧＰａ以上とすることができる。又はセラミックス基板表面の残留応力を−４０ＭＰａ以下とすることにより曲げ弾性率２３０ＧＰａ以上とすることができる。 （もっと読む）