【課題】装置寸法の増加を抑制しつつも、収納器の収容数を増やして装置の高スループットを生かすことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理ユニット１１と収納器収容・搬送ユニット７との間に収納器収容ユニット９を備え、搬送ロボット１９によりロードポート５と棚配列３３との間の搬送を行う。搬送ロボット３１により、棚配列３３と棚配列６９と載置部２７との間における搬送とを行う。ロードポート５と棚配列３３との間の搬送と、棚配列６９と、棚配列３３と、載置部２７との間の搬送とをほぼ並行できる。よって、ＦＯＵＰ３の搬送効率を向上させて、スループットを向上できる。その上、収納器収容・搬送ユニット７と基板処理ユニット１１との間に収納器収容ユニット９を配置するだけであり、装置寸法の増加を抑制でき、ＦＯＵＰ３の収容数を増やして装置の高スループットを生かすことができる。 （もっと読む）

【課題】加熱された基板を、より均一かつ迅速に冷却する冷却方法、および真空処理装置を提供する。
【解決手段】実施形態の基板冷却方法は、減圧状態が維持可能な処理室において加熱された基板を、前記処理室から減圧状態が維持可能なロードロック室内に搬送するステップと、前記ロードロック室内に搬送された前記基板の外周を前記ロードロック室内に設けられたガイド機構に支持させるステップと、前記ガイド機構に支持された前記基板の主面に冷却体を接触させずに接近させて、前記基板の温度が前記ロードロック室内に搬送された直後の温度Ｔ_１よりも低い温度Ｔ_２になるまで前記基板を冷却するステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板が少ない枚数のロットも効率的に搬送することができるとともに、ロット内に基板の抜けがあっても各基板の間隔を一定にすることができる基板移載装置を提供する。
【解決手段】ＦＯＵＰに収納可能な基板Ｗの枚数より少なく、かつ２個以上の支持アーム１７を備えている。３個の支持アーム１７により、ＦＯＵＰ内の不等間隔で収容されていた３枚の基板を、姿勢変換部に一度に搬送するとともに、３枚の基板の間隔を一定にすることができる。したがって、基板が少ない場合であっても複数の支持アーム１７によって効率的に搬送することができる。また、処理部における処理を３枚の基板について均一化することができる。 （もっと読む）

【課題】装置稼働率を向上することができる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板処理装置は、基板の表面に向かってマイクロ波を供給する
マイクロ波供給部、及び、基板の表面に向かって不活性ガスを供給するガス供給部を少な
くとも備える処理室と、前記処理室において処理がなされた基板を冷却する冷却機構を備
える搬送室、及び、前記冷却機構によって冷却された基板を搬送する搬送機構を少なくと
も備える搬送室とより少なくとも構成される。 （もっと読む）

【課題】良好な露光精度が得られると共にタクトタイムの短縮を図ることができる露光ユニット及びそれを用いた露光方法を提供する。
【解決手段】露光ユニット１０は、マスクＭを保持するマスクステージ２１と、フラットパネルディスプレイ用基板Ｗ１，Ｗ２をそれぞれ保持する第１及び第２のワークチャック２２，２３を備える基板ステージ２４と、第１及び第２のワークチャック２２，２３に保持された基板Ｗ１，Ｗ２がマスクＭと対向するように、第１及び第２のワークチャック２２，２３を同期して移動可能なステージ移動機構２５と、マスクＭを介して基板Ｗ１，Ｗ２に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置１１と、基板Ｗ１、Ｗ２をそれぞれ保持し、且つ、第１及び第２のワークチャック２２，２３に対して基板Ｗ１，Ｗ２を搬入及び搬出可能な第１及び第２の搬送装置１２，１３と、基板Ｗ１，Ｗ２の搬入及び搬出動作が同期して行われるように第１及び第２の搬送装置１２，１３を制御する制御部２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内に配置された動力源から有効に放熱をすることが可能な回転駆動装置を提供すること
【解決手段】本発明の回転駆動装置は、隔壁と、駆動ユニットと、支持体とを具備する。隔壁は、搬送機構が収容されるチャンバに固定され、チャンバに導通する真空室を画成する。駆動ユニットは、真空室に収容され、搬送機構を駆動する。支持体は、上記真空室の外部に臨む放熱面を有し、上記隔壁に固定され上記駆動ユニットを支持する。
この構成により、真空室に収容された駆動ユニットにおいて発生する熱は、支持体に伝導し、放熱面から大気中に放熱される。このため、駆動ユニットにおいて発生する熱を有効に放熱させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板の高速搬送に適した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板を保持するハンド２３Ａ，２３Ｂと、ハンド２３Ａ，２３Ｂを駆動するハンド駆動機構２０，２６，２７と、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助するように気体を噴射する気体ノズルを有する動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂとを含む。動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂは、ハンド２３Ａ，２３Ｂに備えられており、気体噴射により生じる反力によって、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助する。 （もっと読む）

【課題】直動搬送機構を用いることなく省スペース化を図ること。
【解決手段】搬送ロボット１０は、スイングアーム部１１と、アームユニット１２とを備える。スイングアーム部１１は、基端部に設けられたスイング軸Ｐ１を中心として水平方向に揺動する。アームユニット１２は、スイングアーム部１１の先端部に設けられた鉛直な旋回軸Ｐ２を中心として回転する本体部１２１と、本体部１２１に連結され水平方向に伸縮する右伸縮アーム部１２２Ｒおよび左伸縮アーム部１２２Ｌと、右伸縮アーム部１２２Ｒおよび左伸縮アーム部１２２Ｌの先端にそれぞれ設けられたワーク保持部１２３Ｒ，１２３Ｌとを備える。 （もっと読む）

【課題】 表面処理装置において、搬入、搬出手段の選択の自由度を高められるようにする。
【解決手段】
表面処理装置３は、上側構造部１０と下側構造部２０とを備えている。下側構造部２０は昇降機構３０により、上側構造部１０に当接し上側構造部１０と協働して密封された処理室を形成する閉じ位置と、上側構造部１０から離間した開き位置との間で昇降され、この昇降に際して、垂直の複数のガイドシャフト４１，４２により案内される。下側構造部１０が開き位置にある時、構造部１０，２０間の搬入・搬出空間Ｓは、３方向にわたって連続した開口１００を有している。この連続開口１００に対応する位置に配置された第１のガイドシャフト４１は第２ガイドシャフト４２より短く、その上端が上側構造部１０から離れている。上側構造部１０は、第２ガイドシャフト４２の上端部に支持されるとともに、連続開口１００を横切らない支持機構５０により支持される。 （もっと読む）

【課題】保持部に対する基板の位置合わせを正確に行う。
【解決手段】基板保持部によって基板を保持させる際に基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように基板を位置合わせ可能に構成され、各々の基端部３２同士が回動可能に連結されると共に各基端部３２と基板保持部との位置関係が固定された状態で基板保持部に取り付けられる一対のアーム３１ａ，３１ｂ、および各々の先端部４２同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部４５が各アーム３１ａ，３１ｂの各中間部位３５に対して回動可能にそれぞれ連結されて各アーム３１ａ，３１ｂを連結する一対の連結部４１ａ，４１ｂを有するリンク機構２１ａ，２１ｂと、各連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２と各アーム３１ａ，３１ｂの各基端部３２との離間距離を変化させて各アーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離を伸縮させる駆動機構２３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 基板処理装置のスループットを向上させつつ、基板に処理液の濡れ残りが発生するのを防止できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】裏面処理部において、基板Ｗに処理液を供給して洗浄処理を行った後に乾燥処理を行う。その後、メイン搬送ロボットにより裏面処理部から第２反転ユニットの上方に配置された第１反転ユニット２３へ基板Ｗを搬送する。この第１反転ユニット２３では、基板Ｗを裏面から表面へ反転させている際にフィルターファンユニット５２からのダウンフローが開始されるとともに、反転機構の上下に配置された加熱装置５０が基板Ｗへの加熱処理を行う。基板Ｗの反転動作及び乾燥処理が終了すると、メイン搬送ロボットは第１反転ユニット２３から基板Ｗを搬出する。 （もっと読む）

【課題】基板処理(ＪＯＢ)開始時に基板処理で使用される処理室に対して、予め必要と思われる前処理を一括で実施することにより、大気搬送ロボットの待機状態を解消し、基板処理(ＪＯＢ)の処理スループットの向上を図る。
【解決手段】基板を処理する処理室と、前記処理室に連接され、前記基板を搬送する搬送手段を備える搬送室と、基板を格納する基板収容器が載置される基板載置台と、前記基板収容器から最初の基板を搬出するときに、前記基板を処理する際に使用される全ての処理室を前処理するように制御する制御手段で少なくとも構成されている。 （もっと読む）

【課題】本来構成を有効利用して、物品載置体に載置する物品の重量を適切に検出することができるスタッカークレーンを提供する。
【解決手段】走行台車から立設されたマスト１３に案内された状態で昇降駆動される昇降台１４に、車体横幅方向に出退する屈伸リンク機構３０の基端部が連結され、且つ、その屈伸リンク機構３０の先端部に、物品載置体２９の基端部が連結されて、屈伸リンク機構３０の出退作動により、物品載置体２９が昇降台側に引退させた引退位置と外方に突出する突出位置とに出退操作されるように構成され、引退位置に位置する物品載置体２９の下方側への撓み量を検出する撓み量検出手段Ｑが設けられ、物品載置体２９が物品載置状態で引退位置に位置するときに、その物品載置体２９に載置した物品の重量情報として、撓み量検出手段Ｑが検出する撓み量を取得する撓み量取得手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】低床化を維持しつつ高速でのワーク搬送を行うのに適したワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に支持されて昇降する昇降ベース２と、昇降ベース２に対して垂直軸Ｏ１周りに回動可能に支持された第１アーム３と、第１アーム３の先端に対して垂直軸Ｏ２周りに回動可能に支持された第２アーム４と、第２アーム４の先端に対して垂直軸Ｏ３周りに回動可能に支持されたハンド５Ａと、ハンド駆動機構６Ａと、を備え、ハンド駆動機構６Ａは、第１アーム３の内部に配置されたモータ６１ａと、第１ないし第２アーム３，４の内部に配置され、モータ６１ａの出力をハンド５Ａに伝達する伝動機構６２ａと、を含む。モータ６１ａと伝動機構６２ａの一部とを第１アーム３の内部空間に配置することで、第２アーム４先端の伝動機構６２ａの高さおよび固定ベース１ないし昇降ベース２の高さが低くなる。 （もっと読む）

【課題】基板搬送を効率的に行うとともに、精度の高い基板の搬送処理に対応することができる基板処理装置、基板処理方法ならびに、プログラムを提供する。
【解決手段】複数のアーム１０３ａ、１０３ｂにより、同一水平線上で且つ水平位置と高さとが互いに異なる位置で把持した基板を処理室２００に搬送する。処理室２００に搬送された基板は、複数のアーム１０３ａ、１０３ｂの基板把持位置に対応する高さを有し、水平方向に並列に配置された複数の基板載置台２０６ａ、２０６ｂに載置される。また、排気処理は、第１室２０７の排気を第２室２０８の排気が開始する前に開始する。 （もっと読む）

【課題】効率よく荷物の入出庫を行うことのできる自動倉庫を提供すること。
【解決手段】複数の棚７５を有する第一ラック７０ａと、移載装置３０と、コントローラ１００とを備える自動倉庫１であって、コントローラ１００は、複数の指令情報を順次受信する受信部１０２と、複数の指令情報を蓄積する蓄積部１０４と、第一指令情報に示される所定の荷物を載置する棚である入庫棚を複数の棚の中から決定する決定部１０６と、第一指令情報の次に実行すべき第二指令情報に示される指令が実行可能であるか否かを判定する判定部１０８とを有し、決定部１０６は、（ａ）第二指令情報に示される指令が実行可能であると判定された場合、第二指令情報に示される指令の内容に基づいて入庫棚を決定し、（ｂ）第二指令情報に示される指令が実行可能でないと判定された場合、第二指令情報の次に実行すべき第三指令情報に示される指令の内容に基づいて入庫棚を決定する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の板状部材に貼付された接着シートの接着剤層が当接手段に接触することを防止できるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、半導体ウエハＷの外縁に当接可能な複数の当接手段１３と、これら当接手段１３を離間接近して半導体ウエハＷを把持可能な把持手段１５と、この把持手段１５及び当接手段１３を支持する支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能な移動手段１２とを備えて構成されている。接着シートＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層されてなり、半導体ウエハＷの外縁に達する位置まで貼付される。当接手段１３は、半導体ウエハＷの外縁側に当接したとき、当該半導体ウエハＷに貼付された接着シートＳ外縁側の接着剤層ＡＤに非接触となる逃げ部２３を備えた形状に設けられる。 （もっと読む）

【課題】可動範囲が広く、位置決め精度やメンテナンス性に優れた搬送アーム装置を提供する。
【解決手段】基台２上に基部１１１を枢設された第１アーム１１と、その先端部１１２に基部１２１を枢設された第２アーム１２と、その先端部１２２に基部１３１を枢設されたハンド部１３と、第１アーム回動手段６と、第２アーム回動手段７とを有し、基台２に対する第１アーム１１および第２アーム１２の角度をそれぞれ変化させることでハンド部１３の基部１３１を所定の位置に移動させる搬送アーム装置１であって、第２アーム回動手段７が、基台２上に枢設され第１アーム１１と同一の回動中心１１４を有する回動部材１４と、回動部材１４と第２アーム１２とを連結する連結手段２０とを備えており、基台２に対して回動部材１４および第２アーム１２が同一方向に同一角度連動して回動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】互いに仕切られ、積層された基板搬送領域にて気流の滞留を防ぐと共に各搬送領域のメンテナンス作業を容易に行うことができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】
積層された第１の基板搬送領域及び第２の基板搬送領域を仕切る仕切り位置に設けられ、内部に気体拡散室を備える仕切り板と、基板搬送領域の幅方向中央部から周縁部に寄った位置にて、前記仕切り板に前記気体拡散室に連通する清浄気体供給口に気体を供給する気体供給路と、前記気体供給路に設けられ、前記清浄気体供給口に供給する気体を清浄化するためのフィルタと、仕切り板の下面に形成され、気体拡散室にて拡散した気体を基板搬送領域に吐出するための多数の吐出口と、を備え、仕切り板は、メンテナンス時に第２の基板搬送領域から第１の基板搬送領域が見通せる開放状態とするために前記仕切り位置から退避できるように装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを対向するチャンバ間でスムーズに移動することのできる搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ウエハ搬送ロボット１００は、２本のリンク１２、１３で構成されているアーム１０を備える。アーム１０の先端にはウエハホルダ６が備えられている。アーム１０の基部に相当する駆動リンク１３は筐体２に回転可能に連結されている。アーム１０は、駆動リンク１３の回転に伴うアーム先端の運動が直線又は曲線の軌道に制限される構造を有しているとともに、その軌道は、始点Ｗｓと終点Ｗｅが駆動リンク１３の回転中心から等距離の位置にあり、始点におけるアーム先端の向きと終点におけるアーム先端の向きが、始点と終点の間の中点と前記回転中心を通る直線に対して鏡像の関係を満たしている。 （もっと読む）