【課題】光学システムにおけるミラーホルダの調整や直動ステージの可動テーブルの位置決めの自動操作に適し、全長が短く、小形で高精度な位置・角度調整、位置決めが可能な圧電アクチュエータ機構を提供する。
【解決手段】この圧電アクチュエータ機構は、送りネジ１１と送りネジナット１４によるネジ送り機構と、この送りネジナット１４の後端面に取り付けられた円盤形ロータ１７と、ロータ１７の周面に接当する圧電振動子２１を有する超音波モータ１８と、ばね力で送りネジ１１の先端に押圧され、かつ該送りネジの送り動作で変位、位置出しされる被動マウント部とを有している。被動マウント部は、例えば光学システムで用いられるミラーホルダ１や直動ステージ１０の可動テーブル２１とすることができる。 （もっと読む）

【課題】シンプル且つコンパクトな構成ながら、位置決めを容易に行えるリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】嵌合部材２に対するシャフト１の位置を検出する差動トランスが完全にリニアアクチュエータ内に組み込まれており、全体として小型軽量で容易に実装できるものであるため、高精度・高信頼性かつ低コストな構成を提供できる。差動トランスを内蔵している嵌合部材２に対するシャフト１の位置は、アナログ電圧として高精度に検出することができ、この検出信号によりシャフト１を位置決め駆動することで、精度の高い送り機構として使用することができる。 （もっと読む）

【課題】シャフト（被駆動部材）と枠体を変形させることなく互いに連結させることができ、これにより連結による特性の劣化を減少し、かつ、安定した駆動特性を得ることができる超音波モータ機構を提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により相対的に駆動される被駆動部材と、被駆動部材と連結する複数の連結部材と、連結部材と連結する枠体と、超音波振動子を被駆動体に付勢する付勢部材と、被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、被駆動部材をベース部材に対して移動可能に支持する球状の転動部材と、を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータにおいて、複数の連結部材は、それぞれ枠体の位置を決める位置決め部を備え、枠体を挟み込むように点接触にて固定することができる形状となっている。 （もっと読む）

【課題】良好な性能を有する振動波モータ、レンズ鏡筒およびカメラを提供する。
【解決手段】本発明の振動波モータ、レンズ鏡筒およびカメラは、電気機械変換素子１３の励振により、弾性体１４に振動を発生する振動子１１と、前記振動子１１に加圧接触され、前記振動により、その振動子１１との間で相対運動を行う相対運動部材２０と、前記振動子１１と前記相対運動部材２０とを加圧接触させる加圧部材５０と、を備えた振動波モータ１０において、前記振動子１１と前記相対運動部材２０の摺動部１６ａ，２５の動摩擦係数が０．０２〜０．１５であり、前記相対運動部材２０の外径がφ５〜２０ｍｍであり、前記加圧部材の横弾性係数が７０×１０^３Ｎ／ｍｍ^２〜８５×１０^３Ｎ／ｍｍ^２であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、駆動性能の良好な振動アクチュエータ、これを備えるレンズ鏡筒及びカメラを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ１０は、振動を発生する振動子１３，２３と、前記振動子１３，２３と加圧接触され、前記振動によって前記振動子１３，２３に対して相対移動する相対移動部材１５，２５と、を備え、前記振動子１３，２３の前記相対移動部材１５，２５に対する接触面と前記相対移動部材１５，２５の前記振動子１３，２３に対する接触面との少なくとも一方が、ポリアミドイミド樹脂とフッ素樹脂により形成された熱硬化性樹脂膜１８，３１であり、他方がアルマイト皮膜１９，３２であること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】良好な駆動性能を得ることのできる振動波モータを提供する。
【解決手段】本発明の振動波モータは、駆動信号により励振される電気機械変換素子１３と、電気機械変換素子に接合される接合面１５が設けられたベース部１８、ベース部から電気機械変換素子側に連続するとともに径方向に延びる溝部１７が周方向に一定の間隔で形成され、励振により振動波を生じる駆動面１６ａが設けられた櫛歯部１９、を有する弾性体１４を備える振動波モータ１０において、弾性体１４の前記駆動面１６ａと交差する側面１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１７ａには、潤滑膜３０が形成された第１の領域６０が形成され、側面での、一組の溝部１７と突起部１９ａとで形成される単位領域における第１の領域６０の形状が、全ての単位領域において同じ形状であること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエーターの高出力での駆動を安定して行うことができる圧電アクチュエーターの制御装置を提供する。
【解決手段】圧電素子に所定の周波数の駆動信号を供給する駆動手段３１０と、圧電素子の機械的な変位を検出する変位検出部３３０と、変位信号Ｖ１，Ｖ２を逐次記憶する記憶部３４０と、変位検出部３３０が検出した変位及び記憶部３４０が記憶している変位に基づき駆動手段３１０を介して駆動信号の周波数を制御する駆動周波数制御部３２０とを有し、駆動周波数制御部３２０は、駆動信号の周波数をスイープさせ、圧電アクチュエーターの最大変位を検出するとともに、最大変位に基づき定められる目標変位に対応する駆動周波数に向けて周波数をスイープさせる。目標変位に対応する駆動周波数に達した後、駆動信号の周波数を変動させることで変位信号が目標変位に追従するように周波数を制御する。 （もっと読む）

【課題】好適な駆動性能を得ることができ、且つ静寂に駆動可能な振動波モータを提供する。
【解決手段】本発明の振動波モータ１０は、駆動信号により励振される電気機械変換素子１３と、前記電気機械変換素子１３に接合され、前記励振により駆動面１８ａに進行性振動波を生じる弾性体１４と、前記弾性体１４の駆動面１８ａに加圧接触される摺動面を有し、前記進行性振動波によって駆動される相対運動部材１２と、前記電気機械変換素子１３に前記駆動信号を与える駆動装置５０と、を備える振動波モータ１０において、前記駆動装置５０は、前記弾性体１４の前記駆動面１８ａに発生する振動振幅をａ値と定義し、前記弾性体１４の前記駆動面１８ａに発生する進行波の波長をλと定義した時、ａ値／λ≦０．０００２５を満たす進行性振動波を前記駆動面１８ａに発生させる駆動信号を前記電気機械変換素子１３に与えること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】好適な駆動性能が得られ、静寂に駆動可能な振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラを提供する。
【解決手段】本発明の振動波モータ（１０）は、電気機械変換素子（１３）の励振により駆動面（１８ａ）に進行性振動波を生じる振動子（１２）と、前記振動子（１２）の駆動面（１８ａ）に加圧接触される摺動面（１２ａ）を有し、前記進行性振動波によって駆動される相対運動部材（１２）と、を備える振動波モータ（１０）において、前記振動子（１２）の前記駆動面（１８ａ）に加圧接触した前記相対運動部材（１２）の前記摺動面（１２ａ）の加圧方向の変形量をｂ、前記振動子（１２）の駆動面（１８ａ）に発生する進行波の波長をλと定義した時、０．００９≦ｂ／λ≦０．０３（％）であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化しても耐久性能が得られ、低温時や高温時の駆動性能を満足した動波モータ、レンズ鏡筒およびカメラを提供する。
【解決手段】本発明の振動波モータ１０は、駆動信号により励振される電気機械変換素子１３に接合され、前記励振により駆動面１６ａに振動波を生じるとともに前記駆動面１６ａには薄膜３０が形成されている弾性体１４と、前記弾性体１４の前記駆動面１６ａに加圧接触される摺動面２５および前記摺動面２５と交差する方向に延びる側面２１，２１Ａ，２１Ｂを有し、前記振動波によって駆動される相対運動部材１１と、を備える振動波モータ１０において、前記相対運動部材１１における前記摺動面２５と前記側面２１，２１Ａ，２１Ｂとを繋ぐ部分は、曲面２４，２４Ａ，２４Ｂになっていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 コンパクト化、低コスト化、エネルギー消費量の低減を図ることが可能な超音波リニアモータと駆動・案内装置を提供すること。
【解決手段】 振動梁に進行波を励起し、その振動によりスライダーを駆動する超音波リニアモータにおいて、 上記振動梁の一部にはより大きな質量を持つ振動体が構成されている超音波リニアモータ。
又、１本の進行波振動梁の周りに摩擦板や摺動部材により構成されるスライダーを移動可能に設置した駆動・案内装置。 （もっと読む）

【課題】簡略な構造で組み立て容易性の高い超音波モータを提供すること。
【解決手段】中心軸に垂直な断面が矩形状を呈し、前記中心軸方向に伸縮する縦振動と、前記中心軸を捻れ軸とする捻れ振動と、が同時に励起されることで楕円振動を発生する振動子であって、前記矩形状を構成する短辺Tと長辺Wとの長さの比率が、当該振動子に励起される縦振動の共振周波数と捻れ振動の共振周波数とが略一致する値に設定された振動子40を超音波モータに具備させる。そして、振動子40に、縦振動の節部に対応する領域に形成され、当該振動子に縦振動を励起する為の第１の分極部101Lと、前記捻れ振動の腹部に対応する領域に形成され、当該振動子に捻れ振動を励起する第２の分極部101A1,101A2,101A3,101A4,101B1,101B2,101B3,101B4と、を備えさせる。 （もっと読む）

【課題】振動子先端の摩擦接触部の形状により初期動作が持続して安定な速度、推力、安定な共振周波数が保たれ、安定した動作特性が長期にわたって得られる超音波モータ用振動子を提供する。
【解決手段】被駆動体２を摩擦接触で駆動する超音波モータ用振動子１の摩擦接触部材において、振動子先端の接触子を前記被駆動体との摩擦接触で摩耗する際に軸方向に沿って横断面の外形と横断面積が同一の状態を保つピン形部材で構成したことを特徴とする超音波モータ用振動子摩擦接触部材、およびその超音波モータ用振動子摩擦接触部材を備えた超音波モータ用振動子。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって、超音波モータ駆動時に駆動子と摺動部材との摺動によって発生した摩耗粉を摺動部材に付着させないようにする。
【解決手段】駆動装置は、固定台１と、固定台１に対して移動可能に支持された移動体３と、移動体３に固定された摺動部材４と、摺動部材４との摩擦により移動体３と固定台１とを相対移動させる超音波モータ５と、摺動部材４に発生する静電気を除去する、接地されたブラシ毛９ａ、１０ａと、を備える。 （もっと読む）

【課題】被駆動体の多自由度の駆動を安定して行い得る超音波モータを提供すること。
【解決手段】被駆動体１４を多自由度に駆動可能な超音波モータは、２つの異なる振動モードを同時に励起して、出力面２４に楕円振動を発生する振動子１２と、上記出力面で発生する上記楕円振動を駆動力として駆動される被駆動体１４と、上記出力面と上記被駆動体との間に介在する駆動子３２と、を備え、上記被駆動体は、少なくとも上記出力面に上記駆動子を介して接触する接触部分の面形状が球面を有し、上記楕円振動は、上記出力面上の位置により振動振幅が異なり、上記出力面は、上記楕円運動の振動振幅が周囲と比較して大きい領域を複数有し、上記駆動子は、上記振動振幅が周囲と比較して大きい領域を少なくとも２以上含むような接触部３６を有して、上記出力面上に形成される。 （もっと読む）

【課題】駆動装置の低背化を実現する。
【解決手段】本発明の駆動装置は、一部が固定され、電気的制御により屈曲変位が励起される屈曲変位部材９１Ａと、屈曲変位部材９１Ａに連結されているとともに、鏡筒４’と接触し、屈曲変位部材９１Ａの屈曲変位方向と異なる方向に変位方向を変換して鏡筒４’を駆動する駆動方向変換部材９９とを備え、駆動方向変換部材９９に対し鏡筒４’を付勢する予圧バネ９８と、屈曲変位部材９１Ａの屈曲変位を制御する制御手段とを備えているので、駆動装置の小型化・低背化を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】良好な振動特性を有する圧電振動体、圧電アクチュエーター、電子機器及び当該圧電振動体の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２が積層される補強板３３とを有する圧電振動体３０であって、補強板３３は、圧電素子３１，３２と平面視略同形状であり、圧電素子３１，３２が積層される補強板本体３３１と、当該補強板３３を所定位置に固定する固定部３３３とを有し、補強板本体３３１及び圧電素子３１，３２は、平面視略矩形状に形成され、各長辺に沿う第１側面３１１，３２１，３３１１及び第２側面３１２，３２２，３３１２と、各短辺に沿う第３側面３１３，３２３，３３１３及び第４側面３１４，３２４，３３１４とを有し、固定部３３３は、第１側面３３１１のみから圧電素子３１，３２より外側に突出し、各第２側面３１２，３２２，３３１２は平面視で揃っている。 （もっと読む）

【課題】操作対象物に加わる力を正確に操作者に伝達させて操作性の向上を図ることができるようにする。
【解決手段】コントローラ１は、略球状の回転子４と、複数の駆動力発生部３Ａ〜３Ｃと、回転子４に取り付けられ、回転子４を転動させる操作アーム５と、位置検出部６と、マスタ側力センサ７と、制御部８とを備えている。複数の駆動力発生部３Ａ〜３Ｃは、回転子４を転動可能に支持すると共に、超音波振動を発生させて回転子４を転動させる。位置検出部６は、操作アーム５の位置情報を検出する。マスタ側力センサ７は、操作アーム５に取り付けられ操作アーム５から回転子４に加えられる力を検出している。そして、制御部８は、操作対象物１００に作用する外力とマスタ側力センサ７によって検出した操作アームの力情報ｆｍに基づいて複数の駆動力発生部３Ａ〜３Ｃを制御する。 （もっと読む）

【課題】高い駆動力を得ることができると共に駆動軸周りにおける設置スペースを小さくできるリニア駆動装置を提供する。
【解決手段】振動部材１７と、振動部材１７に基端を固定した駆動軸２１と、駆動軸２１を振動自在に保持する支持部材４１ａと備え、振動部材１７の振動により駆動軸２１がその軸線方向に振動することにより、駆動軸２１に摩擦係合した移動体５が駆動軸２１の軸線方向に沿って摺動するリニア駆動装置７において、振動部材１７は、通電により伸縮する圧電素子２３と、弾性を有する板状の振動子１９とを有し、振動子１９は圧電素子２３の一側面に板面を重ねて固定してあり、駆動軸２１は平面における振動部材１７の中心位置からずれた位置に固定してある。 （もっと読む）

【課題】厚み方向の小型化を実現する駆動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】駆動装置５０は、第１枠体５１と、第２枠体５２と、第３枠体５３と、第１駆動機構５４と、第２駆動機構５５とを備えている。第２駆動機構５５において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する方向は、第２方向Ｂと垂直である。第１駆動機構５４の駆動受部２２は、第１方向Ａに延び第１駆動機構５４の駆動発生部２１により第１方向Ａに駆動されるシャフト５を有している。第２駆動機構５５の駆動受部２２は、第２方向Ｂに延び第２駆動機構５５の駆動発生部２１により第２方向Ｂに駆動されるシャフト５を有している。第１駆動機構５４のシャフト５は、第２駆動機構５５のシャフト５と同一平面上に配置されている。 （もっと読む）