【課題】コストが高騰することなく、トルクや回転速度などの回転特性を可変可能な圧電モーター、液体噴射装置及び時計を提供する。
【解決手段】圧電体層４０と該圧電体層４０を挟んで両側にそれぞれ設けられた第１電極５０及び第２電極６０とを有する圧電素子３０と、圧電素子３０が固定される振動部材２０と、を有する圧電アクチュエーター１０と、前記振動部材２０の長手方向の一端部に設けられた当接部２１が当接されて回転駆動する回転軸３と、前記圧電アクチュエーター１０を前記回転軸３に向かって付勢する付勢手段８０と、を具備する圧電モーター１であって、前記回転軸３の前記当接部２１が当接する領域が、前記圧電素子３０と前記振動部材２０の積層方向に対して傾斜した傾斜面３ａとなっており、前記圧電素子３０に駆動信号を印加すると共に、前記駆動信号の電圧をオフセットする制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの出力を高める。
【解決手段】移動子を移動させるアクチュエータであって、前記移動子から前記移動子の移動方向と直交する方向に離れた位置から前記移動子へ向けて延び、前記移動子から遠い側の端から前記移動子の側へ設けられた溝により前記移動子の移動方向に分岐された一対の脚部を有する突起部と、前記一対の脚部の一方を支持し、電力を供給されることにより、前記移動子の移動方向と交差する方向に伸縮する第１電気機械変換部と、前記一対の脚部の他方を支持し、電力を供給されることにより、前記移動子の移動方向と交差する方向に前記第１電気機械変換部とは異なる位相で伸縮することにより、前記第１電気機械変換部と協働して、前記突起部を、前記移動子の側に変位しながら前記移動子の移動方向に揺動させる第２電気機械変換部と、を備えるアクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエーターの起動時の効率を大幅に向上することができる圧電駆動装置、圧電駆動方法および電子機器を提供する。
【解決手段】圧電駆動装置は、圧電アクチュエーターと、駆動制御手段とを備える。駆動制御手段は、圧電アクチュエーターの起動初期に行う初期駆動制御と、初期駆動制御後に行う定常駆動制御Ｓ５とを実行する。初期駆動制御では、圧電素子に初期駆動信号を印加する初期駆動信号印加制御Ｓ１を実行後、圧電素子に駆動信号を印加しない非印加制御Ｓ２を実行する。初期駆動信号印加制御から非印加制御に切り替えるタイミングは、初期駆動信号の印加による被駆動体の動作が開始されるまでに設定し、初期駆動制御から定常駆動制御に切り替えるタイミングは、初期駆動信号の印加による被駆動体の動作開始時以降でかつ被駆動体の動作停止時および／または前記圧電素子の放電完了時までに設定する。 （もっと読む）

【課題】小型でも高速、高耐久、高出力である直動型のアクチュエータを実現する。
【解決手段】中間部と端部で直径の異なる円筒状の振動体２と同軸に、２つの円筒状の圧電素子３ａ、３ｂを配置し、振動体２の両端部に圧電素子３ａ，３ｂを固定する。圧電素子３ａ、３ｂの内側に配置した電極４ａ、４ｂにそれぞれ振動電圧をかけて振動体２を加振し、進行波の波頭を、振動体２を嵌合させた筒状部材１に接触させる。振動体２の接触部における摩擦によって、振動体２と圧電素子３ａ、３ｂからなる移動体を筒状部材１の軸方向へ移動させる。 （もっと読む）

【課題】整定範囲に入ったときに外乱などによる印加電圧の変化で整定が大きく乱れるのを防止する位置決め装置、位置決め方法および位置決めプログラムを提供する。
【解決手段】圧電素子を用いた位置決め装置であって、圧電素子への印加電圧が限度値に到達したか否かを判定し、到達したときには印加電圧をもとの方向に戻す印加電圧判定部１０７と、限度値を設定する限度値設定部１０５と、圧電素子により駆動される被駆動体が、所定範囲内に入ったか否かを判定する位置判定部１０２と、を備え、限度値設定部１０５は、被駆動体が、所定の小駆動範囲内に入ったと判定されたときには、限度値を現在値より小さく設定し、被駆動体が小駆動範囲内に含まれる整定範囲内に入ったと判定されたときには、限度値を現在値より大きく設定するか、または設定を解除する。 （もっと読む）

【課題】移動対象物をより効率的に変位させること。
【解決手段】駆動装置は、ピエゾ素子４２及び伝達軸４４が連結した連結体と、伝達軸４４の長手方向に沿って摺動可能な状態で直接的又は間接的に伝達軸４４が係合したケース５０と、デューティー比が１０％以下のパルス信号に基づいて、ピエゾ素子４２に対して印加される駆動電圧を生成する駆動電圧生成回路と、を備える。デューティー比が１０％以下のパルス信号に基づいて駆動電圧を生成し、これをピエゾ素子に印加する。パルス信号に含まれるパルスのパルス幅を狭めることによってピエゾ素子を短時間に伸張又は収縮させる。これによって、移動対象物を効率的に変位させることができる。また、パルス信号の周波数帯域を拡大することができる。なお、移動対象物は、連結体に対して固設しておくと良い。 （もっと読む）

【課題】振動波モータの実際の回転速度と目標回転速度の回転速度差に応じて、振動波モータに供給する交流電圧の周波数を適切に制御する振動波モータの駆動方法を提供する。
【解決手段】交流電圧により振動体４０１に振動を発生させて移動体４０３を駆動する振動波モータ１０１を、移動体４０３の目標回転速度Ｎ_objnを設定し、交流電圧の周波数更新量Δｆ_nに対する移動体４０３の回転速度の増減量ΔＮ_nの割合Ｔ_nを求め、目標回転速度Ｎ_objnと移動体４０３の実際の回転速度Ｎ_nとの回転速度差Ｎ_objn−Ｎ_nを求め、回転速度差Ｎ_objn−Ｎ_nを割合Ｔ_nで除することにより周波数更新量Δｆ_nを求め、周波数更新量Δｆ_nを用いて交流電圧の周波数ｆ_nを更新する処理を行うことにより、駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】 超音波モータを長時間、共振駆動させた場合において、積層型圧電素子の外部電極が破断する。
【解決手段】 圧電体と内部電極を交互に積層した圧電素子を備えたランジュバン型の２個の超音波振動子と、前記２個の超音波振動子を所定の角度で保持する保持部材と、略Ｖ字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部で前記２個の超音波振動子と接続された接触部材と、を備えた超音波モータであって、該圧電素子の側面には複数の四角形状或いは長方形状の外部電極が形成されており、該外部電極における４つの端部の対角線が交わる複数の点及び該圧電素子に形成された２本の円柱孔の軸が全て同一の仮想面上に含まれることがないこと。 （もっと読む）

【課題】振動アクチュエータに対する入力電力の損失を低減し、効率的に電力を供給する振動アクチュエータ駆動装置を提供する。
【解決手段】振動アクチュエータ駆動装置（１００）は、電圧を印加される１次側インダクタ（３１１Ａ、３１１Ｂ）と、電気機械エネルギー変換素子（４１Ａ、４１Ｂ）に電圧を印加する２次側インダクタ（３１４Ａ、３１４Ｂ）とを有するトランス部（３１Ａ、３１Ｂ）と、２次側インダクタ（３１４Ａ、３１４Ｂ）と、電気機械エネルギー変換素子（４１Ａ、４１Ｂ）との間に流れる電流の通電状態を切り替えるスイッチング部（３４Ａ、３４Ｂ）と、１次側インダクタ（３１１Ａ、３１１Ｂ）に流れる電流の方向に応じて、スイッチング部（３４Ａ、３４Ｂ）により２次側インダクタ（３１４Ａ、３１４Ｂ）に流れる電流の通電状態を切り替える制御部（２）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 積層型圧電素子に均等且つ簡易に予圧できる超音波モータを提供すること。
【解決手段】 棒状弾性体１２と、棒状弾性体１２に両端を保持され、変位方向と棒状弾性体１２の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で正面１２ａと裏面１２ｂとに配設され、さらに棒状弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して棒状弾性体１２に配置される一対の積層型圧電素子１８と、棒状弾性体１２の先端部に接合されている摩擦子２６と、を具備し、一対の積層型圧電素子１８にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、摩擦子２６に超音波楕円運動を励起させる超音波モータ１であって、超音波モータ１は、積層型圧電素子１８を棒状弾性体１２に密着固定するために、積層型圧電素子１８を積層型圧電素子１８の積層方向に沿って同時に且つ均等に予圧する予圧機構８０を具備する。 （もっと読む）

【課題】所望形状の均質な微小構造体を形成することのできる微小構造物の製造方法等を提供する。
【解決手段】表面に複数の凸部５を有する基材１を、凸部５の先端部によって形成される基材１表面の凸部の向き４が蒸着粒子３の入射方向に対して対向する方向より偏向して基材１を設置して蒸着材料を成長させる。これにより、凸部５の先端部から蒸着材料の構造体を成長させて個々の構造体がギャップによって隔てられ物理的に独立した微小構造物２の集合体を形成する。 （もっと読む）

【課題】 板状圧電素子と弾性体とを容易に位置決めできる超音波モータを提供すること。
【解決手段】 超音波モータ１は、平面１２４ａと斜面１２４ｂと貫通口１２４ｃとを有する中空の柱形状の中部基本弾性体１２４と、貫通口１９ａを有し斜面１２４ｂに傾斜した状態で積み重なる積層型圧電素子１８と、平面１２６ａと斜面１２６ｂと貫通口１２６ｃとを有し、斜面１２６ｂにて積層型圧電素子１８に積み重なり、斜面１２４ｂと斜面１２６ｂとの間で積層型圧電素子１８を挟み込む中空の柱形状の上部基本弾性体１２６と、平面１２６ａの上方に配設される摩擦子２６と、摩擦子２６によって駆動されるロータ５３と、ロータ５３を摩擦子２６に押圧する押圧機構７０と、上部基本弾性体１２６と積層型圧電素子１８と中部基本弾性体１２４とに配設され、それぞれの積層方向に対する周方向における積層型圧電素子１８の位置決めを行う位置決め機構１４０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】何らかの要因により、圧電アクチュエータの圧電素子に供給される鋸歯状波形の電圧が変化してしまうことがあっても、圧電アクチュエータの反転位置を確実に認識すること。
【解決手段】圧電アクチュエータのベースプレートに圧電素子を有する駆動体が回転自在に配置され、駆動体の圧電素子に接続される電力制御部が、反転指令部からの反転指令信号を受けて圧電素子に駆動電力を供給し、第１支持柱ストッパ部材の間で駆動体を往復駆動させ、反転指令部が第１支持柱及びストッパ部材での駆動体の反転位置を認識する際、たとえば駆動体の駆動開始直後の所定の基準電圧データ取得区間で検出した基準電圧データに基づき基準電圧を設定し、所定の電圧検出タイミングにて検出した圧電素子の駆動電圧が基準電圧に対し一定値以上の差になったことを検出することにより、駆動体の反転位置を認識するようにした。 （もっと読む）

【課題】駆動効率が高く安定して駆動する駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る駆動装置は、被駆動体を駆動方向に変位可能に保持する筐体と、筺体に対し往復運動する往復運動手段と、往復運動手段の往復運動方向と異なる方向に運動方向を変換して被駆動体を駆動する駆動方向変換手段とを備える駆動装置であって、駆動方向変換手段は、被駆動体に接触する接触部と、往復運動手段に固定され、接触部を固定する基部と、筐体に固定され、基部を被駆動体の方向に付勢する付勢部とを有し、前記付勢部は基部を往復回転可能に支持することを特徴とする。上記の構成によれば、前記基部に固定された接触部が往復運動手段の往復運動の運動方向と異なる方向に往復運動し、被駆動体を駆動するので、被駆動体の駆動方向と異なる方向への接触部の変位が小さくなり、駆動効率が向上し、駆動が安定化する。 （もっと読む）

【課題】低速駆動を行う場合であっても、速度特性のばらつきを小さくした超音波モータを提供すること。
【解決手段】パルスデューティ比と駆動速度との関係を示す特性直線上の駆動点を切り替えて駆動速度を制御する制御CPU22を、超音波モータに具備させる。この制御CPU22は、パルスデューティ比、駆動周波数、及び駆動速度の関係を示す特性直線上の駆動点のうち、所望の駆動速度の駆動点のうちパルスデューティ比が最も大きい値である駆動点と、駆動速度が零であり且つパルスデューティ比が最も小さい値である駆動点と、を結んで成る理想速度特性直線上の駆動点または該直線近傍の駆動点を順次切り替えて、駆動速度を変化させる。 （もっと読む）

【課題】組立が容易な、多自由度（複数の軸）に駆動可能な超音波モータ駆動装置を提供すること。
【解決手段】複数の圧電活性領域を有し、複数の圧電活性領域に交番信号を印加して縦振動および屈曲振動を励起する圧電素子１０７と、縦振動および屈曲振動とに共通の節付近と、圧電素子の長手方向略中心部の全周を覆い固定する圧電素子ホルダ１０８と、複数の開口部を有する振動子ホルダ１０３と、略球形状の被駆動体１０４と、被駆動体１０４に取り付けられ、被駆動体の出力を取出す出力軸１０６と、第３の方向に沿って被駆動体１０４に圧電素子を押圧接触させるための押圧部材１０２と、開口部１０５ａを有するキャップ１０５と、第３の方向に沿って一方を押圧部材１０２と接続され、他方を他の装置に接続可能な連結部材１０１と、圧電素子に交番信号を印加する制御部６００とを有する。 （もっと読む）

【課題】 積層された圧電振動子の振動方向のバラツキ、振動ロスを防止し、積層構造の小型化、簡略化を図ると共に、合成振動の高出力化を図る。
【解決手段】 電圧の印加により屈曲振動する圧電屈曲振動部材と、前記圧電屈曲振動部材に一体的に積層され、電圧の印加により伸縮振動する圧電伸縮振動部材とを備え、前記圧電屈曲振動部材の屈曲振動と前記圧電伸縮振動部材の伸縮振動との合成振動により可動体を可動させる。また、前記圧電屈曲振動部材の積層面と対向する面のうち、前記圧電屈曲振動部材の分極処理する部分に設けられた第一の電極と、前記圧電伸縮振動部材の積層面と対向する面のうち、前記圧電伸縮振動部材の分極処理する部分に設けられた第二の電極と、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材との積層面に設けられ、前記第一の電極と前記第二の電極との基準となる基準電極と、を備える。 （もっと読む）

【課題】低速駆動を行う場合であっても、不感帯の影響を小さくして良好な制御性且つ高い速度分解能で駆動可能な超音波モータを提供すること。
【解決手段】駆動位相差と駆動速度と特性直線上の駆動点を切り替えて駆動速度を制御する制御CPU22を、超音波モータに具備させる。この制御CPU22は、駆動速度を減少させる場合、駆動周波数の値を変化させずに駆動位相差を増加させ、該駆動点で所定時間だけ駆動した後、駆動位相差を変化させずに駆動周波数の値を前記振動子の共振周波数により近付ける値に切り替える制御を、所望の駆動速度に達するまで繰り返し実行し、駆動速度を増加させる場合、駆動周波数の値を変化させずに駆動位相差を減少させ、該駆動点で所定時間だけ駆動した後、駆動位相差を変化させずに駆動周波数の値を前記振動子の共振周波数からより遠ざける値に切り替える制御を、所望の駆動速度に達するまで繰り返し実行する。 （もっと読む）

【課題】駆動子と被当接部材との間に異物が入り込んでも、駆動子と被当接部材との間の駆動力の伝達を良好に行わせる。
【解決手段】駆動装置１は、ベース１０と、ステージ１１と、ベース１０に取り付けられてステージ１１を駆動する超音波アクチュエータ２を備えている。超音波アクチュエータ２は、圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体４と、アクチュエータ本体４に設けられて所定の駆動方向へ駆動力を出力する駆動子５，５と、駆動子５，５がステージ１１に当接した状態でアクチュエータ本体４を支持する支持バネ６とを有している。支持バネ６は、駆動子５が周回運動する周回面Ｐに交差する方向への剛性が駆動方向への剛性よりも低い。 （もっと読む）

【課題】高真空中においても優れた耐久性能を有する超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータのロータ１２の接触面１２ａに、シリコンの非晶質薄膜から成る下地層１４ａとこの下地層１４ａの表面に形成される銀薄膜から成る摩擦層１４ｂとを有する、適度な摩擦係数を有し、かつ、潤滑性にも優れた摩擦材層１４を形成することで、ステータ１１の弾性体１５に設けられた櫛歯１５ｋとロータ１２との接触によって発生するロータ１２表面及びステータ１１表面の凹凸を大幅に低減するようにした。 （もっと読む）