【課題】 許容負荷荷重の増大と装置のコンパクト化も図ることが可能な超音波浮上装置を提供すること。
【解決手段】 固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、 上記固定部又は可動部に設けられた超音波振動発生装置と、を具備し、上記超音波振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記超音波振動発生装置を圧電素子から構成し、該圧電素子を上記固定部に直接接合するように構成したことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】圧電素子と補強板とを強固に接着して信頼性を大きく向上させることができる圧電振動体の提供。
【解決手段】圧電アクチュエータの圧電振動体３０において、圧電素子３１，３２および補強板３３の積層方向と交差する方向に窪む凹部３３１１を補強板３３の側面に形成した。このため、圧電素子３１，３２と補強板３３とを積層して接着する際に、圧電素子３１，３２と補強板３３との間から流出しようとする接着剤ＡＤが凹部３３１１に案内され、接着剤ＡＤを凹部３３１１内に留めて、圧電素子３１，３２および補強板３３の間からの接着剤ＡＤの流出を抑制することができる。したがって、圧電素子３１，３２と補強板３３との間の接着剤ＡＤが不足することなく、圧電素子３１，３２と補強板３３とを強固に接着でき、秒クロノグラフ針を連続的に駆動するための高パワーの投入にも耐え得る信頼性を実現できる。 （もっと読む）

【課題】金属チューブの外面に圧電素子が付着された圧電超音波モーターが提供される。
【解決手段】上記圧電超音波モーターは中空形状の金属チューブと、上記金属チューブの外側面に装着される複数個の圧電素子を具備し、上記圧電素子に電気場が印加される時屈曲変形を発生させる圧電ステーターと、上記金属チューブの中空部に挿入される回転バーと、上記圧電ステーターの上面または下面と面接触するよう上記回転バーの外周面に周り方向に形成され上記圧電ステーターの屈曲変形によって回転する回転部材と、上記回転バーの一側に形成され上記回転部材の回転力を移送物に伝達する動力伝達部材を具備するローター、及び上記圧電素子の駆動に必要な電源を印加する電源印加部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換素子と駆動摩擦部材を連結部材を介して連結することによって、形状の自由度が向上するアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１０は、圧電素子１６と、圧電素子１６の伸縮方向の端面１６Ａに固着された連結部材２０と、連結部材２０に取りつけられた駆動軸１８と、駆動軸１８に摩擦係合された連結駒２２を備える。圧電素子１６と駆動軸１８は平行に配置され、連結部材１４は、圧電素子１６と駆動軸１８の間に設けられた作用点を中心として揺動自在に支持される。 （もっと読む）

【課題】インパクト駆動アクチュエータの体積を増やすことなく小型すること。
【解決手段】固定部材１にその一端が固定され他端が伸縮する変位発生手段２の上記他端に固定され、上記変位発生手段の伸縮方向に移動できるように支持された振動部材４と、該振動部材上に配置され、固定部材に対して所望の方向に相対的移動する移動体３と、上記移動体と上記振動部材との摩擦力を変化させる摩擦調整部材６とを備え、上記摩擦調整部材６は、上記移動体の上記振動部材に対向する面に設置された第１の電極１０と、上記第１の電極と電気的に絶縁された上記振動部材の上記移動体に対向する面に設置された第２の電極２０と、を有し、上記第１の電極と上記第２の電極との間に静電気力を作用させることで、上記振動部材と上記移動体との間の静電気力を変化させることによって上記摩擦力を変化させる。 （もっと読む）

【課題】 移動体の加圧機構とガイド機構とを備えると同時に薄型化を実現できるようにし、さらに復元力の影響を除去できるようにする。
【解決手段】 互いに固定された永久磁石１と圧電素子３とからなる弾性振動体４と、永久磁石１に設けられた複数の運動抽出部２Ａ，２Ｂと、複数の運動抽出部２Ａ，２Ｂに加圧接触される移動体５とを有し、複数の運動抽出部２Ａ，２Ｂを介して弾性振動体４と移動体５とを結ぶ磁束の閉磁路を形成し、かつ移動体５中の磁束の流れ方向と移動体５の移動方向とを一致させるようにする。 （もっと読む）

【課題】 駆動力の伝達機構などに存在するガタなどの影響を適切に除去して超音波モータの駆動を制御する超音波モータ制御装置を提供すること。
【解決手段】
超音波モータ制御装置は、超音波モータ３を駆動することにより制御対象５を動かす。まず、超音波モータ３の駆動力を伝達する機構に存在するガタを取るため、オープンループ制御によるガタ取り用駆動信号で超音波モータ３を駆動する。ガタが詰まった後、フィードバック制御による通常駆動信号を出力して制御対象５を動かす。通常駆動信号を出力しているとき、制御対象５が、ガタ取り用駆動信号で制御対象５を動かしたとしたときの速度になったことを検出したとき、そのときの通常駆動信号の値を記憶する。次にガタ取りのため超音波モータ３を駆動するとき、記憶した通常駆動信号の値をガタ取り用駆動信号の値として超音波モータ３を駆動する。 （もっと読む）

【課題】一つの圧電素子に二度の分極工程を遂行する必要がないので製作時間及び費用を節減することができる圧電振動子及びこれを備えた超音波モータを提供することができる。
【解決手段】四角形の断面を有する弾性部材と、弾性部材の各面に附着されて電気信号が入力されると弾性部材を縦方向及び屈曲方向に振動させる圧電素子を含んで、圧電素子はすべて同じ大きさを有して弾性部材より長さが短い圧電振動子が提供される。また、上記圧電振動子において、弾性部材の対向する面に附着された一対の圧電素子は互いに同じ方向に分極されて、別の一対は互いに反対方向に分極される。また、上記圧電素子の一端部は弾性部材の一端部と整列してもよい。 （もっと読む）

【課題】 平面性に問題のあるレール部であっても振動体からの駆動力を確実に受けることができ、信頼性の高い、低コストの振動アクチュエータを得ること及び、信頼性の高い、小型、低コストのレンズ鏡胴を得る。
【解決手段】 複数の圧電素子を互いに所定角度で交差するよう配置された振動体と、この振動体に相対して配置されたレール部と、を有し、駆動方向に略平行な方向を軸にしてレール部を回転可能に保持した振動アクチュエータとする。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータ装置及びそのアクチュエーティング方法を提供する。
【解決手段】制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御する静電型アクチュエータにおいて、アクチュエータ駆動信号及び所定の搬送信号を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成するアクチュエータ制御信号生成部と、固定くし形電極及び移動くし形電極を備え、アクチュエータ制御信号によって電圧が調節されるアクチュエータと、を備えることを特徴とするアクチュエータ装置である。これにより、アクチュエータ駆動信号の電圧が高く、搬送信号の周波数が高い場合にも、パルス幅変調されたアクチュエータ駆動信号により容易に制御され得る。 （もっと読む）

【課題】 振動波駆動装置の性能を確保したままで、積層圧電素子の外形加工を容易化すると共に、積層圧電素子の不良の発生を抑制し、積層圧電素子及び振動波駆動装置のコスト低減を実現可能とした積層圧電素子、振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】 積層圧電素子１は、圧電層１１、複数の圧電層１２、複数の圧電層１３を備える。振動波モータ５０は、積層圧電素子１、第１の弾性体５２、第２の弾性体５３、第３の弾性体５４を有する振動子５１、シャフト５５、ロータ５９、ギア６０を備える。積層圧電素子１における第１及び第２の弾性体５２、５３と対向する挟持接触部の外周側角部に面取りを施し、内部電極の外形寸法を、積層圧電素子１における挟持接触部の外形寸法と同一か又は該外形寸法よりも大きく設定し、内部電極の外周側端部を、積層圧電素子１の外周面に対して非露出状態とする。 （もっと読む）

【課題】真空中に配され、作業テーブルとともに移動する駆動モータなどの発熱源を有する直動案内装置で、発熱源で発生する熱を真空槽の所定位置まで金属ベルトを介して熱伝導によって搬送して放熱することにより、発熱源近傍の温度上昇を効率よく防止し、直動案内装置の機能を損なうことなく、低コストで計測や加工などの精度を高く維持することにある。
【解決手段】真空槽内に、駆動モータによって作業テーブルを所定の方向に移動させる案内機構を設けた直動案内装置において、直動案内装置の運転時に、作業テーブルに前記駆動モータなどの発熱部を有し、発熱部で発生した熱を前記真空槽外に除去するための放熱部を備え、かつ発熱部と放熱部とを伝熱手段で連結し、該伝熱手段を介して発熱部で発した熱を放熱部まで熱伝導するようにした。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で位置決め精度を向上させる。
【解決手段】 圧電アクチュエータの変位に応じて移動する位置決めステージ１０と、位置決めステージ１０の位置変化を静電容量の変化として検出する静電容量型位置検出センサ１１と、静電容量型位置検出センサから出力された検出値を、位置決めステージの現在位置を示す数値に変換するセンサアンプ１２と、ホスト１４から入力された位置指令値と位置決めステージの実際の移動位置との差分値に対し、大きさが概略同等で符号が逆である補正値を、位置決めステージの現在位置を示す数値に加算して修正値を出力する補正部１３ｄと、位置指令値および修正値に基づいて位置決めステージの変位量を決定し、圧電アクチュエータを駆動させることにより位置決めステージを移動させる位置決めコントローラ１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能であり、組み立てが容易であり、かつ、落下衝撃に強い光学モジュールおよびこれを備えた撮影装置を提供する。
【解決手段】 ガイド板１４は、光軸方向に延びた第１のガイド板１４ａと、第１のガイド板１４ａと直交して設けられた第２のガイド板１４ｂとにより構成されている。第２のガイド板１４ｂに、圧電素子１１の被写体側の面が接着されている。これにより圧電素子１１の伸縮に応じて、ガイド板１４は光軸方向に前後して移動する。付勢ばね１５により、第１のガイド板１４ａをレンズホルダ１０の平面壁１０ｆ側に付勢することにより、第１のガイド板１４ａと平面壁１０ｆとの間に、静止摩擦力が生じたり、圧電素子１１の伸縮にともなってガイド板１４を介してレンズホルダ１０に移動力が加えられる。 （もっと読む）

【課題】摩擦接触面の磨耗を少なくし、駆動性能を安定化し、異音の発生が無く、長寿命化を図ることができる振動波モータを提供する。
【解決手段】圧電体１１の励振により振動を発生する弾性体１２と、弾性体１２に加圧接触し、その振動により駆動される移動体１３とを備える振動波モータ１０において、弾性体１２と移動体１３との摩擦接触面を含む部分の少なくとも一方は、無電解Ｎｉ−Ｐ／ＰＴＦＥ複合メッキ皮膜層１７であり、他方は、アルマイト皮膜層１８であり、無電解Ｎｉ−Ｐ／ＰＴＦＥ複合メッキ皮膜層１７及びアルマイト皮膜層１８は、ともにビッカース硬度が２５０以上であり、かつ、そのビッカース硬度差が１００以下であるものとする。 （もっと読む）

【課題】小型化を達成させつつ、作動部材の高精度な移動を可能にした駆動装置及びその駆動装置を用いたレンズ駆動ユニットを提供する。
【解決手段】駆動装置１は、圧電素子３に固定されたガイド部材７を備え、このガイド部材は、圧電素子３の伸縮方向Ｘに対して直交する方向にＳ極とＮ極とが着磁された永久磁石Ｍ１を有する。このガイド部材７で支持される、駆動装置１の作動部材９は、ガイド部材７のＳ極に対面する第１の面１１ａとガイド部材のＮ極に対面する第２の面１１ｂとを有しガイド部材に対する磁気吸着と磁気反発とが発生する電磁石Ｍ２を含んでいる。そして、駆動装置１は、電磁石Ｍ２のコイル１３及び圧電素子３に電気的に接続された制御手段５を更に備えており、制御手段５によって、圧電素子３にパルス電圧Ｐを印加すると共に、コイル１３に流れる電流を制御することで、作動部材９を圧電素子３の伸縮方向に前進又は後退させる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、超音波モータの駆動を容易かつ確実に制御することができ、駆動効率の高い超音波モータの駆動回路およびアクチュエータを提供する。
【解決手段】超音波モータ２の駆動回路５は、交流電圧の印加により伸縮する圧電素子と、被駆動体に対して当接する接触部とを有する振動体を備える超音波モータを駆動する駆動回路であって、パルス信号を周期的に生成するパルス生成手段と、単位期間を周期的に設定する単位期間設定手段と、前記パルス信号の周期を保持しつつ、該パルス信号の前記単位期間内のパルス数を調節するパルス数調節手段と、前記調節されたパルス信号に対応する交流電圧を前記圧電素子に印加して前記超音波モータ２を駆動する駆動手段とを有し、前記パルス数調節手段によって前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記超音波モータ２の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】 主に振動減衰を抑制することのできる振動体を提供する。
【解決手段】 相互に接触する複数の弾性体（２、３）と、電気信号が供給されることにより弾性体に振動を励起する電気−機械エネルギ変換素子（４）とを有し、複数の弾性体間の隙間に、樹脂材料が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 部品数を少なくして小型化を図ることができるとともに、駆動力が大きな駆動装置を提供する。
【解決手段】 電圧の印加と除去によって変形する電気機械エネルギ変換素子５２と、前記電気機械エネルギ変換素子５２が接合されて前記変形に伴う運動が伝達される支持体５１と、前記支持体５１に形成された内周部６０に挿入される移動体５３とを有している。前記電気機械エネルギ変換素子５２が変形前状態から前記変形後状態になるときの変形速度と、前記変形後状態から前記変形前状態になるときの変形速度が異なっており、前記変形速度のうち前記電気機械エネルギ変換素子５２が遅い速度で変形するときに、前記移動体５３が前記内周部６０との間で生じた摩擦力によって前記支持体５１とともに移動する。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの特性にバラツキがあっても、駆動対象を所定速度で駆動でき、制御が容易でコストも低減できる圧電アクチュエータの駆動装置の提供。
【課題手段】 圧電アクチュエータの駆動装置は、圧電素子に加える駆動信号の周波数を所定範囲でスイープさせる周波数制御手段５１を備える。周波数制御手段５１は、駆動信号の周波数のスイープ方向を制御するスイープ方向制御部６１、スイープ速度を制御するスイープ速度制御部６３、周波数分解能を制御する分解能制御部６２を備える。スイープ方向、スイープ速度、周波数分解能を適宜制御するだけで圧電アクチュエータの駆動速度を簡単に制御できる。 （もっと読む）