搬送装置
【課題】 ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハを略真直ぐ入れることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置１は、旋回ベース１３と、２つのハンド機構１３,１４と、２つのハンド用駆動機構３０，４０とを有する。２つのハンド機構１３，１４は、旋回ベース１３に回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に夫々設けられ、ハンド駆動機構３０，４０により個別に回動動可能に構成されている。ハンド機構１３，１４は、アーム２０と、ハンド２１と、連動機構２６とを有している。アーム２１は、回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に前記旋回リンクに夫々設けられ、ハンド２０は、ハンド用軸線Ｌ４，Ｌ５を中心に回動可能に前記アーム２１に夫々設けられている。連動機構２６は、アーム２０に対する前記ハンド２１の減速比が１．５５でアーム２０と前記ハンド２１とを連動させるように構成されている。
【解決手段】 搬送装置１は、旋回ベース１３と、２つのハンド機構１３,１４と、２つのハンド用駆動機構３０，４０とを有する。２つのハンド機構１３，１４は、旋回ベース１３に回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に夫々設けられ、ハンド駆動機構３０，４０により個別に回動動可能に構成されている。ハンド機構１３，１４は、アーム２０と、ハンド２１と、連動機構２６とを有している。アーム２１は、回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に前記旋回リンクに夫々設けられ、ハンド２０は、ハンド用軸線Ｌ４，Ｌ５を中心に回動可能に前記アーム２１に夫々設けられている。連動機構２６は、アーム２０に対する前記ハンド２１の減速比が１．５５でアーム２０と前記ハンド２１とを連動させるように構成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ及びガラスウエハ等のウエハを搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からマルチチャンバシステムという半導体処理設備が知られている。このマルチチャンバシステムは、複数の半導体処理室及びロードロック室を備えている。半導体処理室及びロードロック室は、ゲートを介して１つの搬送室に夫々接続されており、搬送室には、搬送装置が配置されている。搬送装置としては、例えば特許文献１に開示されているような２つのハンドを備えた搬送装置が知られている。
【０００３】
この搬送装置は、旋回ベースと、２つのアームとを有している。旋回ベースは、旋回駆動手段により回動される。旋回ベースには、２つのアームが回動可能に取り付けられている。２つのアームは、伝動ベルト等を介して１つのアーム駆動手段に接続されている。アーム駆動手段は、伝動ベルトを動かして２つのアームを連動して回動させるように構成されている。このように連動して動く各アームの先端部には、ウエハを保持可能なハンドが形成されている。
【０００４】
このように構成された搬送装置は、旋回駆動手段により旋回ベースを回動させながらアーム駆動手段によりアームを回動させることで、ハンドに保持された半導体ウエハを搬送する。このように半導体ウエハを搬送可能な搬送装置は、ロードロック室及び半導体処理室から半導体ウエハを取り、その半導体ウエハを次の半導体処理室の所定の載置位置まで搬送し、その載置位置に載置する。載置位置に搬送された半導体ウエハは、所定のプロセス処理が施され、更に搬送装置により次の載置位置に搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−５０９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の搬送装置は、その構成上、旋回ベースの旋回中心である旋回軸線を中心に放射線状にしか半導体ウエハを搬送することができない。従って、載置位置が放射状に配置されてゲートが旋回中心に向いている場合、特許文献１に記載の搬送装置により半導体ウエハを搬送しても半導体ウエハやアームがゲートに当たることがない。しかし、載置位置及びゲートの向きは、プロセス処理の内容、半導体処理室の形状及び配置等に応じて変わるため、必ずしもゲートが旋回中心に向いているとは限らない。ゲートが旋回中心に向いていない場合、特許文献１に記載される搬送装置により半導体ウエハを搬送すると、ハンドがゲートに対して斜めに進入し、半導体ウエハやアームがゲートに接触してしまう。半導体処理室のゲートを広くすることで、半導体ウエハ及びアームの接触を避けることができるが、そうすると搬送室の外径寸法が大きくなってしまい半導体処理設備が大型化してしまう。
【０００７】
そこで本発明は、ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハをゲートに略真直ぐ入れることができるような搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の搬送装置は、予め定められた旋回軸線を中心に旋回可能に構成された旋回リンクと、ウエハを夫々保持可能で、前記旋回軸線に並行な２つの回動軸線を中心に夫々回動可能に前記旋回リンクに取り付けられた２つのハンド機構と、前記２つのハンド機構を夫々回動駆動する２つのハンド駆動機構と、を備え、前記ハンド機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに取り付けられ、前記ハンド駆動機構により回動されるアームと、前記回動軸線と平行なハンド用軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられた前記ウエハを保持するためのハンドと、前記アームの回動に連動して前記ハンドを回動させる連動機構と、を有し、前記連動機構は、前記アームの回動に対する前記ハンドの回動の減速比が１．３５以上１．６５以下になるように構成されているものである。
【０００９】
本発明に従えば、ハンドがアームに回動可能に設けられているので、ハンド機構を屈伸させることができる。これにより、ハンドの可動範囲が広くなる。ハンドとアームとは、連動しており、それらの減速比が１．３５以上１．６５以下の範囲で設定されている。これにより旋回ベースの回動量を調整しながらアームを回動させることで、ハンドを様々な方向に向け、且つその方向に略直線的に動かすことができる。これにより、ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハをゲートに略真直ぐ入れることができる。
【００１０】
上記発明において、前記連動機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに固定された回動軸線側プーリーと、前記ハンド軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられたハンド軸線側プーリーと、該ハンド軸線側プーリーと前記回動軸線側プーリーとに巻き掛けられたハンド用ベルトと、を有し、前記ハンドは、前記ハンド軸線側プーリーに固定されていることが好ましい。
【００１１】
上記構成に従えば、ハンド駆動機構によりアームを回動させると、回動軸線側プーリーが回動し、更にハンド用ベルトを介してハンド軸線側プーリーが回動する。これにより、ハンド軸線側プーリーに固定されたハンドが回動し、アームとハンドとが連動する。このように２つのプーリーを用いてアームとハンドとが連動するので、２つのプーリー間の変速比を選択するだけでアームとハンドとの減速比を設定でき、減速比を前述の範囲に設定することが容易である。
【００１２】
上記発明において、前記ハンド駆動機構は、アーム用駆動モータと、前記アーム用駆動モータにより回動されるアーム用出力軸と、前記アーム用出力軸に連動して回動する中間プーリーと、前記アームに固定され、前記回動軸線を中心に回動可能なアーム用プーリーと、前記中間プーリーと前記アーム用プーリーとに巻き掛けられたアーム用ベルトと、を有し、前記２つのハンド駆動機構の夫々の前記中間プーリーは、前記旋回リンクの内部空間に同じ高さで配置されていることが好ましい。
【００１３】
上記構成に従えば、アーム用駆動モータが回動すると、アーム用出力軸を介して中間プーリーが回動する。中間プーリーは、アーム用ベルトを介してアーム用プーリーを回動させる。これにより、アーム用プーリーに固定されたアームが回動する。このようにアームを回動させる中間プーリーは、２つのハンド駆動機構に夫々１つずつ備わっており、それらが同じ高さに配置されている。それ故、２つの中間プーリーを上下方向に並べて配置する場合に比べて、搬送装置の高さを低くすることができる。これにより、搬送装置が配置される搬送室の高さを低くし、搬送装置を備える設備の高さを低く抑えることができる。
【００１４】
上記発明において、前記２つのハンド駆動機構の夫々のアーム用出力軸のうち一方のアーム用出力軸は筒状に形成され、一方のアーム用出力軸に他方の前記アーム用出力軸が嵌挿されていることが好ましい。
【００１５】
上記構成に従えば、２つのアーム用出力軸が旋回軸線に沿って並設され、一方が他方のアーム用出力軸に挿通されている。これにより、２つのアーム用出力軸の接地スペースを低減することができる。
【００１６】
上記発明において、前記旋回リンクを旋回駆動する旋回用駆動機構と、
前記旋回用駆動機構及び前記２つのアーム用駆動モータの動作を制御する制御手段とを更に備え、前記制御手段は、前記アーム用駆動モータにより前記アーム及び前記ハンドを回動させて前記ハンド機構を伸張させながら前記旋回用駆動機構により前記旋回リンクを旋回させることで前記ハンドが向いている方向に該ハンドを直線的に移動させるように構成されていることが好ましい。
【００１７】
上記構成に従えば、制御手段により旋回ベースの回動を調整しながらハンド機構の伸張させることで、ハンドが向いている方向に直線的に動かすことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハをゲートに略真直ぐ入れることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送装置を備える半導体処理設備を示す平面図である。
【図２】図１の搬送装置を斜め上方から見た斜視図である。
【図３】図１の搬送装置を旋回リンクに垂直な方向に切断したときの断面を拡大して示す拡大断面図である。
【図４】図１の搬送装置の要部を旋回リンクに平行な方向に切断したときの断面を拡大して示す拡大断面図である。
【図５】図３に示す搬送装置を部分的に破断して旋回リンクに平行な方向における切断面を示す拡大断面図である。
【図６】第２ハンド機構の動作を示す平面図である。
【図７】半導体処理設備において偏心状に配置された載置位置に第１ハンド機構によりウエハを搬送する前における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図８】図７の状態から第１ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを近づけた時の搬送装置を示す平面図である。
【図９】図８の状態から第１ハンド機構をさらに伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図１０】図９の状態から第１ハンド機構をさらに伸ばして部屋にハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図１１】図１０の状態から第１ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１２】図１１の状態から第１ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１３】半導体処理設備において偏心状に配置された載置位置にあるウエハを第２ハンド機構により取りに行く前における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図１４】図１３の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを近づけた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１５】図１４の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図１６】図１５の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして部屋にハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図１７】図１６の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１８】図１７の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１９】半導体処理設備において放射状に配置された載置位置にあるウエハを第２ハンド機構により取りに行く前における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図２０】図１９の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図２１】図２０の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図２２】図２１の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図２３】減速比が１．０の時における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図２４】図２３の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図２５】図２４の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図２６】図２１の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして第２ハンド機構がチャンバと接触した時の搬送装置を示す平面図である。
【図２７】減速比が１．３５の時における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図２８】図２７の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図２９】図２８の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３０】図２９の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３１】減速比が１．６５の時における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図３２】図３１の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図３３】図３２の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３４】図３３の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３５】減速比が２．０の時における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図３６】図３５の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３７】図３７の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして第２ハンド機構がチャンバと接触した時の搬送装置を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の実施形態である搬送装置１を備える半導体処理設備２について説明する。なお、実施形態における上下、左右、及び前後等の方向の概念は、説明の便宜上使用するものであって、搬送装置１及び半導体処理設備２に関して、それらの構成の配置及び向き等をその方向に限定することを示唆するものではない。また、以下に説明する搬送装置１は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明は実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。
【００２１】
［半導体処理設備］
半導体処理設備２は、ウエハ３に熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理及び平坦化処理等の各種プロセス処理を施すための設備である。なお、本発明において、ウエハ３は、例えば半導体ウエハ及びガラスウエハであり、半導体ウエハとしては、例えば、シリコンウエハ、サファイヤ（単結晶アルミナ）ウエハ、その他の各種のウエハ等がある。ガラスウエハとしては、例えば、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）用ガラス基板、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）用ガラス基板等がある。
【００２２】
半導体処理設備２は、搬送されたウエハ３を待機させておくロードロック室や、ウエハ３に各種プロセス処理を施すための処理室等の部屋４が夫々形成された複数のプロセスチャンバ５を有している。本実施形態において、半導体処理設備２は、７つの部屋４Ａ〜４Ｇを有しており、７つのプロセスチャンバ５Ａ〜５Ｇを備えている。これら７つの部屋４Ａ〜４Ｇは、１つの搬送室６に繋がっている。搬送室６は、搬送チャンバ７内に形成されている。搬送チャンバ７の外形は、平面視で多角形になっており、その辺の数は、半導体処理設備２が有するプロセスチャンバ５の数と同数又はそれ以上の数になっている。本実施形態では、搬送チャンバ７は、略正七角形になっている。
【００２３】
搬送チャンバ７の各辺には、ゲート８が形成されると共にプロセスチャンバ７が設けられており、各プロセスチャンバ５内に形成される部屋４Ａ〜４Ｇは、ゲート８を介して搬送室６に繋がっている。各部屋４Ａ〜４Ｇは、前述する各種プロセス処理を施す際や待機させる際にウエハ３を載置する載置位置９が予め定められている（２点鎖線参照）。搬送室６と部屋４Ａ〜４Ｇとを夫々繋ぐゲート８Ａ〜８Ｇは、このような載置位置９Ａ〜９Ｇにウエハ３を真直ぐ挿入できるように形成されている。
【００２４】
具体的には、ゲート８Ａ〜８Ｇは、部屋４Ａ〜４Ｇの奥行き方向（前後方向）に一致しかつ搬送チャンバ７の各辺に直交する方向に開口している。このようにして形成された７つのゲート８Ａ〜８Ｇのうち５つゲート８Ａ〜８Ｅは、搬送チャンバ７の重心Ｇの方に向いているが、残りの２つのゲート８Ｆ，８Ｇは、重心Ｇと異なる位置Ｈに向いている。このように重心Ｇと異なる方向を向いている２つのゲート８Ｆ，８Ｇに夫々接続している２つの部屋４Ｆ，４Ｇの載置位置９Ｆ，９Ｇは、重心Ｇに対して偏心状に位置することになる。逆に、重心Ｇに向いている５つのゲート８Ａ〜８Ｅに夫々接続している５つの部屋４Ａ〜４Ｅの載置位置９Ａ〜９Ｅは、重心Ｇに対して放射状に位置することになる。
【００２５】
搬送室６は、平面視で大略円形状（又は正多角形状）になっており、その中心が搬送チャンバ７の重心Ｇと略一致している。このように形成された搬送室６には、搬送装置１が配置されており、搬送室６の内径は、後述する搬送装置１の旋回リンク１２の旋回半径より少しだけ大きく形成されている。搬送装置１は、前述するような偏心状に配置される載置位置９Ｆ，９Ｇ及び放射状に配置される載置位置９Ａ〜９Ｅのどちらにもウエハ３を搬送し、またそこからウエハ３を取ることができるように構成されている。以下では、図１乃至図５を参照しつつ搬送装置１の具体的な構成について説明する。
【００２６】
＜搬送装置＞
搬送装置１は、図２に示すように、固定ベース１１と、旋回リンク１２と、第１ハンド機構１３と、第２ハンド機構１４とを備えている。固定ベース１１は、大略的に円筒状に形成されており、搬送チャンバ７の底面部に立設されている。固定ベース１１内には図３及び４に示すような昇降機構１５及び昇降ベース１６が収容されている。なお、図３及び図４では固定ベース１１の記載が省略されている。昇降機構１５は、いわゆるボールねじ機構であり、ボールねじ軸１５ａとスライダ部１５ｂとを有している。ボールねじ軸１５ａは、上下方向に延在し、固定ベース１１に回動可能に支持されている。ボールねじ軸１５ａは、図示しない昇降モータにより回動駆動可能に構成されている。また、ボールねじ軸１５ａには、スライダ部１５ｂが螺合されており、スライダ部１５ｂには、筒状の昇降ベース１６が一体的に設けられている。
【００２７】
昇降ベース１６には、旋回用駆動機構１７が設けられている。旋回用駆動機構１７は、旋回用モータ１８と、旋回軸１９とを有している。旋回用モータ１８は、図３に示すように昇降ベース１６内に該昇降ベース１６に固定されて、その出力軸１８ａに駆動ギヤ１８ｂが取付けられている。駆動ギヤ１８ｂには、旋回軸１９に取付けられた従動ギヤ１９ａが歯合している。旋回軸１９は、上下方向に延びる旋回軸線Ｌ１を中心に回動可能に昇降ベース１６に設けられ、昇降ベース１６を突き抜けるように上方に延在している。旋回軸１９の下端には、前述の従動ギヤ１９ａが取付けられ、上端には、旋回リンク１２が固定されている。また、旋回軸１９は筒状に形成されている。
【００２８】
旋回リンク１２は、中空の板状部材であり、平面視で大略短冊状に形成されている。旋回リンク１２は、左右対称に形成されており、その中心が旋回軸１９の軸線と一致するように旋回軸１９の上端に固定されている。旋回リンク１２の左右両側端部には、第１ハンド機構１３と第２ハンド機構１４とが左右対称に夫々設けられている。第１ハンド機構１３と第２ハンド機構１４とは、配置位置が異なるだけで構成等は同一である。以下では、旋回リンク１２の右端部に設けられている第１ハンド機構１３だけを説明し、旋回リンク１２の左端部に設けられている第２ハンド機構１４については同一の符合を付して説明を省略する。
【００２９】
第１ハンド機構１３は、図１及び図２に示すように、アーム２０と、ハンド２１とを有している。アーム２０は、中空の板状部材であり、平面視で大略短冊状に形成されている。アーム２０は、図４に示すように長手方向一端部（図４の右端部）の底面に円筒状のアーム用プーリー２２が固定されている。旋回リンク１２内の左右両側には、上方に延在する回動軸２３が形成されており、アーム用プーリー２２は、回動軸２３に回動可能に装着されている。このように旋回リンク１２に取付けられたアーム２０は、回動軸２３の軸線であって上下方向に延びる回動軸線Ｌ２（第２ハンド機構１４では、回動軸線Ｌ３）を中心に回動可能に構成されている。このように構成されたアーム２０の長手方向他端部（図４の左端部）にハンド２１が取付けられている。
【００３０】
ハンド２１は、板状の部材である。ハンド２１の先端は、二股状に形成され、ウエハ３を載置して保持できるように構成されている。また、ハンド２１の基端側の底面には、円筒状のハンド用プーリー２５が固定されている。アーム２０内の長手方向他端（図４の左端）側には、上方に延在するハンド用軸２４が形成されており、ハンド用プーリー２５は、ハンド用軸２４に回動可能に装着されている。このようにアーム２０に取付けられたハンド２１は、ハンド用軸２４の軸線であって上下方向に延びるハンド用軸線Ｌ４（第２ハンド機構１４では、ハンド用軸線Ｌ５）を中心に回動可能に構成されている。
【００３１】
また、第１ハンド機構１３は、ハンド２１とアーム２０とを連動させる連動機構２６を有している。連動機構２６は、前述のハンド用プーリー２５と、回動軸側プーリー２７及びハンド用ベルト２８とによって構成される。回動軸側プーリー２７は、その軸線が回動軸線Ｌ２に一致するように回動軸２３に固定されている。回動軸側プーリー２７には、ハンド用ベルト２８が巻き掛けられている。ハンド用ベルト２８は、更にハンド用プーリー２５にも巻き掛けられており、回動軸側プーリー２７とハンド用プーリー２５との間に張架されている。
【００３２】
このように構成される第１ハンド機構１３を駆動すべく、昇降ベース１６には、第１ハンド用駆動機構３０が設けられている。第１ハンド用駆動機構３０は、図５に示すように第１回動用モータ３１と、第１駆動軸３２とを有している。第１回動用モータ３１は、図５に示すように昇降ベース１６内に該昇降ベース１６に固定されている。第１回動用モータ３１の出力軸３１ａには、駆動ギヤ３１ｂが取付けられている。駆動ギヤ３１ｂには、第１駆動軸３２に取付けられた従動ギヤ３２ａが歯合している。第１駆動軸３２は、既述のように筒状に形成された旋回軸１９に挿通されており、その下端及び上端が旋回軸１９から上方及び下方に夫々突出している。第１駆動軸３２の下端側は、旋回軸線Ｌ１を中心に（すなわち、旋回軸１０と同軸に）回動可能に昇降ベース１６に支持され、下端に前述の従動ギヤ３２ａが取付けられている。第１駆動軸３２の上端側は、旋回軸１９に回動可能に支持され、上端に第１伝動ギヤ３２ｂが取付けられている。また、第１駆動軸３２は筒状に形成されている。
【００３３】
第１伝動ギヤ３２ｂは、円環形状の薄板状に形成され、旋回軸線Ｌ１を中心に回動するように旋回リンク１２内に配置されている。第１伝動ギヤ３２ｂは、第１中間ギヤ３３に歯合している。第１中間ギヤ３３は、第１伝動ギヤ３２ｂと同様に薄板状に形成され、旋回リンク１２内において該旋回リンク１２に回動可能に設けられている。第１中間ギヤ３３は、第１伝動ギヤ３２ｂと共に旋回リンク１２の長手方向に並べられ、第１伝動ギヤ３２ｂと共に第１ギヤ列３４を構成している。第１中間ギヤ３３の上部には、第１中間プーリー３５が固定されている。第１中間プーリー３５には、アーム用ベルト３６が巻き掛けられている。アーム用ベルト３６は、更にアーム用プーリー２２にも巻き掛けられており、第１中間プーリー３５とアーム用プーリー２２との間に張架されている。
【００３４】
また、第２ハンド機構１４を駆動すべく、昇降ベース１６には、第２ハンド用駆動機構４０が設けられている。第２ハンド用駆動機構４０は、図５に示すように第２回動用モータ４１と、第２駆動軸４２とを有している。第２回動用モータ４１は、図５に示すように昇降ベース１６内に該昇降ベース１６に固定されている。第２回動用モータ４１の出力軸４１ａには、駆動ギヤ４１ｂが取付けられている。駆動ギヤ４１ｂには、第２駆動軸４２に取付けられた従動ギヤ４２ａが歯合している。第２駆動軸４２は、上述のように筒状に形成された第１駆動軸３２に挿通されており、その下端及び上端が第１駆動軸３２から上方及び下方に夫々突出している。第２駆動軸４２の下端側は、旋回軸線Ｌ１を中心に（すなわち、第１駆動軸３２及び旋回軸１９と同軸に）回動可能に昇降ベース１６に支持され、下端に従動ギヤ４２ａが取付けられている。第２駆動軸４２の上端側は、第１駆動軸３２に回動可能に支持され、上端はさらに第１伝動ギヤ３２ｂを貫通している。この上端に第２伝動ギヤ４２ｂが取付けられている。
【００３５】
第２伝動ギヤ４２ｂは、薄板状に形成されている。第２伝動ギヤ４２ｂは、旋回リンク１２内において、平面視で第１伝動ギヤ３２ｂに重なるように配置され、旋回軸線Ｌ１を中心に回動するように構成されている。第２伝動ギヤ４２ｂは、第２中間ギヤ４３に歯合している。第２中間ギヤ４３は、第２伝動ギヤ４２ｂと同様に薄板状に形成され、旋回リンク１２内に該旋回リンク１２に回動可能に設けられている。第２中間ギヤ４３は、平面視で第２伝動ギヤ４２ｂ及び第２中間ギヤ４３と共に旋回リンク１２の長手方向に並べられており、第２伝動ギヤ４２ｂを挟んで第１中間ギヤ３３の反対側に配置されている。第２中間ギヤ４３は、第２伝動ギヤ４２ｂと共に第２ギヤ列４４を構成している。また、第２中間ギヤ４３の上部には、第２中間プーリー４５が固定されている。第２中間プーリー４５には、アーム用ベルト４６が巻き掛けられている。アーム用ベルト４６は、更にアーム用プーリー２２にも巻き掛けられており、第２中間プーリー４５とアーム用プーリー２２との間に張架されている。このようにアーム用ベルト４６が張架された第２中間プーリー４５は、第１中間プーリー３５と同じ高さに配置されている。
【００３６】
また、搬送装置１は、外部から隔離するように旋回軸１９、第１駆動軸３２及び第２駆動軸４２を被覆する蛇腹状のベローズ５１を備えている。ベローズ５１は、大略円筒状に形成されている。ベローズ５１の中には、旋回軸１９、第１駆動軸３２及び第２駆動軸４２が挿通されており、下端部が昇降ベース１６に気密に取付けられている。また、ベローズ５１の上端部には、フランジ部５２が設けられている。フランジ部５２は、大略円板状に形成され、旋回軸１９、第１駆動軸３２及び第２駆動軸４２が貫通している。フランジ部５２は、旋回軸１９の上端よりに位置しており、旋回リンク１２に対向している。
【００３７】
このように構成された第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４は、図６の実線で示すような初期姿勢をとる。初期姿勢では、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４が共に鋭角に屈曲し、ハンド２１の先端が略同じ方向（前方）に向いている。このように屈曲する第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４では、アーム２０が斜め後方に延在し、そこから前方へと延びるハンド２１が互いに略並行、且つ左右に延在する旋回リンク１２に略直交するように位置している。このように構成された第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４は、ハンド２１にて保持されたウエハ３が互いに当たらないように、アーム２０の長さが規定されている。その長さは、ウエハ３を載置する載置位置９に応じて設定され、少なくとも旋回リンク１２の長さの半分以下となっている。
【００３８】
このように構成された第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４を夫々駆動する第１回動用モータ３１及び第２回動用モータ４１、並びに旋回リンク１２を旋回駆動する旋回用モータ１８は、制御器５０に制御配線を通じて接続されている。制御手段である制御器５０は、予め定められたプログラムに基づいて、旋回用モータ１８、第１回動用モータ３１及び第２回動用モータ４１の駆動を制御する機能を有する。また、制御器５０は、図示しない昇降モータに制御配線を通じて接続され、昇降モータの駆動を制御することで昇降ベース１６を昇降する機能を有している。更に、制御器５０は、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４のアーム２０が初期姿勢より後側に回動しないように第１回動用モータ３１及び第２回動用モータ４１の駆動を制御している。なお、このような回動の規制は、制御器５０だけでなく、回動規制用のピン等を設けて機械的に実施してもよい。以下では、制御器５０により第１ハンド機構１３の動作を制御した際の搬送装置１の動作について説明する。
【００３９】
＜搬送装置の動作について＞
搬送装置１では、制御器５０が初期位置から第１回動用モータ３１を動作させて第１駆動軸３２を回動させると、第１ギヤ列３４を介して第１中間プーリー３５が回動する。第１中間プーリー３５が回動することで、アーム用ベルト３６によりアーム用プーリー２２が回動し、第１ハンド機構１３のアーム２０が回動軸線Ｌ２を中心に回動する。アーム２０が回動すると、ハンド用プーリー２５が回動軸線Ｌ２を中心に回動する。このようにハンド用プーリー２５が回動軸線Ｌ２を中心に回動すると、回動軸側プーリー２７が回動軸２３に固定されているためハンド用ベルト２８がハンド用軸線Ｌ４を中心にハンド用プーリー２５を回動させる。これにより、第１ハンド機構１３のハンド２１がハンド用軸線Ｌ４を中心に回動する。このように第１ハンド機構１３のハンド２１は、アーム２０に連動して回動する。ハンド２１は、アーム２０が時計回りに回動すると反時計回りに回動し、逆にアーム２０が反時計回りに回動すると時計回りに回動する。従って、第１ハンド機構１３は、アーム２０を時計回りに回動させると伸張し、逆にアーム２０を反時計回りに回動させると屈曲する。
【００４０】
また、制御器５０が第２回動用モータ４１を駆動すると、第１ハンド用駆動機構３０と同様に、第２ハンド機構１４のアーム２０が回動し、アーム２０に連動して第２ハンド機構１４のハンド２１が回動する。このように第２ハンド機構１４のアーム２０及びハンド２１が連動して回動することで、第２ハンド機構１４が屈伸する。
【００４１】
＜アーム２０の回動に対するハンド２１の回動の減速比＞
このように屈伸する第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４は、初期姿勢において、各ハンド２１及びそこに保持されたウエハ３が互いに当たらないようになっている。このような初期状態から各ハンド機構１３，１４のアーム２０を前側に回動させると、ハンド２１は、図６の一点鎖線、点線及び二点鎖線で示すように他方のハンド機構１４（又は１３）を避けるようにアーム２１に連動して動くようになっている。このような退避動作は、回動軸側プーリー２７とハンド用プーリー２５との変速比（ギヤ比）、つまりアーム２０に対するハンド２１の減速比を調整することで実現している。減速比は、１．３５以上１．６５以下の範囲で設定されており、このような減速比になるように回動軸側プーリー２７とハンド用プーリー２５との変速比（ギヤ比））が設定されている。このような範囲内で減速比を設定すると、退避動作が実現できるだけでなく、後述するようにハンド２１及びそこに保持されたウエハ３を略直線的に動かすことができる。このようにハンド２１を直線的に動かすことで、ハンド２１及びそこに保持されたウエハ３が搬送中にゲート８に干渉することを防ぐことができる。なお、本実施形態において、減速比が例えば、１．５５になるように変速比（ギヤ比）が設定されている。以下では、半導体処理設備２における搬送装置１のハンド２１の動きについて詳しく説明する。
【００４２】
［半導体処理設備におけるハンドの動き］
以下では、搬送チャンバ７の左前方に設けられているプロセスチャンバ５Ｆ内の処理室４Ｆにウエハ３を搬送する場合について、図７乃至図１２を参照しつつ説明する。まず、制御器５０は、初期姿勢の搬送装置１の旋回リンク１２を旋回させ、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４のハンド２１の先端部を搬送先の処理室４Ｆ側に向ける（図７参照）。この際、旋回リンク１２は、左右方向に延在している。
【００４３】
次に、制御器５０は、旋回用モータ１８を駆動して旋回リンク１２を反時計回りに回動させる。旋回リンク１２を回動させている間、制御器５０は、第１回動用モータ３１を駆動して第１ハンド機構１３のアーム２０及びハンド２１を回動させ、第１ハンド機構１３を伸張させる。このように、制御器５０は、旋回リンク１２を回動させながら第１ハンド機構１３を伸張させ、ハンド２１及びウエハ３を処理室４Ｆに繋がるゲート８Ｆの方へと移動させる。この際、制御器５０は、ハンド２１がゲート８Ｆに対して略真直ぐになるように（ゲート８Ｆの開口方向に略一致する方向を向くように）旋回用モータ１８及び第１回動用モータ３１を制御する。制御器５０は、ゲート８Ｆに近づくと（図８参照）、第１ハンド機構１３を伸張させつつ旋回用モータ１８の回動速度を落とす。そして、その回動速度を調整しながらハンド２１に保持されたウエハ３をゲート８Ｆに挿入する（図９参照）。この際、ウエハ３がゲート８Ｆに当たらないように、ハンド２１は、ゲート８Ｆの中心付近に略真直ぐな状態で挿入される。挿入後も、制御器５０は、旋回用モータ１８の回動速度を調整しながら第１ハンド機構１３を伸張させ、ハンド２１及びウエハ３を載置位置９Ｆに向かって略一直線に移動させる（図７〜図１２参照）。
【００４４】
その後、ウエハ３が処理室４Ｆの載置位置９Ｆに達すると、制御器５０は、旋回用モータ１８及び第１回動用モータ３１を停止する。更に、制御器５０は、昇降モータを動作させて昇降ベースを下降させ、ウエハ３を載置位置９Ｆに載置する。載置後、制御器５０は、旋回用モータ１８を動作させつつ第１ハンド機構１３を屈曲させ、移動してきた軌道を辿ってハンド２１を後退させていき、搬送装置１を初期姿勢まで戻す。
【００４５】
このようにして載置位置９Ｆに載置されたウエハ３は、第２ハンド機構１４のハンド２１により取り出される。次に、第２ハンド機構１４によりプロセスチャンバ５Ｆの処理室４Ｆからウエハ３を取り出す場合について、図１３及び図１８を参照しつつ説明する。まず、制御器５０は、初期姿勢にある搬送装置１（図１３参照）の旋回リンク１２を時計回りに回動させながら第２ハンド機構１４を伸張させる。これにより、ハンド２１を処理室４Ｆに繋がるゲート８Ｆの方へと移動する（図１４参照）。その後、制御器５０は、旋回リンク１２の回動速度を調整しながらハンド２１をゲート８Ｆに挿入し（図１５参照）、挿入後、ハンド２１及びウエハ３を搬送路に沿って略一直線に移動させる（図１６〜図１８参照）。そして、ウエハ３が処理室４Ｆの載置位置９Ｆに達すると、制御器５０は、旋回用モータ１８及び第１回動用モータ３１を停止して昇降モータを動作させて昇降ベース１６を上昇させ、載置位置９Ｆにあるウエハ３をハンド２１で保持する。保持後、制御器５０は、旋回用モータ１８を動作させつつ第１ハンド機構１３を屈曲させ、移動してきた軌道を辿ってハンド２１を後退させていき、搬送装置１を初期姿勢まで戻す。
【００４６】
このように搬送装置１は、偏心状に配置された載置位置９Ｆまで第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４のハンド２１を略直線的に移動させることができるので、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４、並びにそれらに保持されたウエハ３を搬送チャンバ７に接触させることなく、載置位置９Ｆにウエハ３を載置したり、そこにあるウエハ３を取ったりすることができる。搬送装置１は、図示しないが、同じように偏心状に配置された載置位置９Ｇにもウエハ３を載置したり、そこあるウエハ３を取ったりすることができる。また、搬送装置１は、載置位置９Ｆよりも更に奥の方にまでハンド２１を略直線的に移動させることができ（図７及び図１３の２点鎖線参照）、偏心状に配置された様々な位置に向かって略直線的にハンド２１を移動させることができる。
【００４７】
また、搬送装置１は、偏心状に配置される位置だけでなく、放射状に配置された載置位置８Ａ〜８Ｅにもウエハ３を搬送することができる。その一例として第１ハンド機構１３がウエハ３を載置位置８Ｃに搬送する場合について、図１９〜図２２に示す。なお、制御器５０が実行する制御は、初めにハンド２１を向ける方向（図１９参照）、旋回用モータ１８の回動量、及び第１回動用モータ３１の回動量を除いて、第１ハンド機構１３のハンド２１を載置位置９Ｆに移動させる際の制御と同じである。このような制御が実行されて移動した第１ハンド機構１３のハンド２１は、ゲート８Ｃに略真直ぐに挿入され（図２０参照）、そのまま略真直ぐに移動して載置位置９Ｃに達する（図２１及び図２２参照）。挿入前においてハンド２１の向きを変えることにより、搬送装置１は、同様に載置位置９Ａ，９Ｂ，９Ｄ，９Ｅに向かって略真直ぐに移動させることができる。それ故、搬送装置１は、放射状に配置された載置位置９Ａ〜９Ｅについても、そこまで第１ハンド機構１３のハンド２１を略直線的に移動させ、そこにウエハ３を載置したり、そこにあるウエハ３を取ったりすることができる。
【００４８】
このように、ウエハ３を載置したり、取ったりする２つのハンド機構１３，１４のハンド２１の軌跡は、回動軸側プーリー２７とハンド用プーリー２５との変速比（ギヤ比）により変えることができる。即ち、ハンド２１の軌跡は、アーム２０とハンド２１との減速比に応じて調整することができる。以下では、減速比を１．０、１．３５、１．６５及び２．０に夫々設定したときに、第２ハンド機構１４のハンド２１がどのような動きをして搬送チャンバ７の右側に設けられているプロセスチャンバ５Ａ内の処理室４Ａにウエハ３を搬送するか説明する。
【００４９】
［異なる減速比の動作に関する対比］
減速比が１．０に設定された場合について説明する。まず、制御器５０は、初期姿勢の搬送装置１の旋回リンク１２を回動させ、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４のハンド２１の先端部を搬送先の処理室４Ａ側に向ける（図２３参照）。その後、制御器５０は、旋回用モータ１８及び第２回動用モータ４１を制御して第２ハンド機構１４のハンド２１を処理室４Ａに挿入していく（図２４及び図２５参照）。第２ハンド機構１４のハンド２１は、ゲート８Ａに挿入された時、略真直ぐな姿勢で挿入されているが、載置位置９Ａの方へと進むにつれて徐々にその姿勢がゲート８Ａに対して平面視で斜めに傾いていく。そのままハンド２１を前進させていくと、やがてハンド２１が搬送チャンバ７（正確にはゲート８Ａの開口の向かって左側の部分）と接触する（図２６参照）。このように、減速比を１．０に設定すると、ゲート８Ａに挿入された後、第２ハンド機構１４のハンド２１は、その姿勢を傾けながら前進するので、搬送チャンバ７と接触してしまう。
【００５０】
次に、減速比が１．３５に設定された場合について説明する。制御器５０は、減速比が１．０に設定された場合と同様の制御を行い、第２ハンド機構１４のハンド２１を処理室４Ａに挿入していく（図２７及び図２８参照）。ゲート８Ａに挿入された第２ハンド機構１４のハンド２１は、ゲート８Ａに挿入した時及び挿入した後もゲート８Ａに対して略真直ぐに前進していく（図２９参照）。それ故、アーム２０、ハンド２１及びハンド２１に保持されたウエハ３が搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５Ａに接触することなく、第２ハンド機構１４のハンド２１を載置位置９Ａまで移動させることができる（図３０参照）。このように、減速比を１．３５に設定すると、第２ハンド機構１４のハンド２１は、ゲート８Ａに対して略真直ぐに前進していき、ハンド２１自身やアーム２０、更にはウエハ３が搬送チャンバ７に接触することを防ぐことができる。
【００５１】
次に、減速比が１．６５に設定された場合について説明する。制御器５０は、減速比が１．０に設定された場合と同様の制御を行い、第２ハンド機構１４のハンド２１を処理室４Ａに挿入していく（図３１及び図３２参照）。ゲート８Ａに挿入された第２ハンド機構１４のハンド２１は、減速比が１．３５に設定された場合と同様に、ゲート８Ａに挿入した時及び挿入した後もゲート８Ａに対して略真直ぐに前進する（図３３参照）。そして、アーム２０、ハンド２１及びハンド２１に保持されたウエハ３が搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５Ａに接触することなく、第２ハンド機構１４のハンド２１が載置位置９Ａまで達する（図３４参照）。このように、減速比を１．６５に設定した場合もまた、第２ハンド機構１４のハンド２１は、ゲート８Ａに対して略真直ぐに前進していき、ハンド２１自身やアーム２０、更にはウエハ３が搬送チャンバ７に接触することを防ぐことができる。
【００５２】
最後に、減速比が２．０に設定された場合について説明する。制御器５０は、減速比が１．０に設定された場合と同様の制御を行い、第２ハンド機構１４のハンド２１を処理室４Ａに挿入していく（図３５及び図３６参照）。ゲートに挿入する際、第２ハンド機構１４は、アーム２０とハンド２１とが屈曲した状態のままハンド２１をゲート８Ａに挿入する。そのため、ハンド２１は、やや傾いた姿勢でゲート８Ａに挿入されている。挿入後、ハンド２１を載置位置９Ａに前進させていくが、減速比が大きいため第２ハンド機構１４が十分に伸張せずにゲート８Ａに挿入される。それ故、第２ハンド機構１４のアーム２０とハンド２１とが接続されている接続部分がゲート８Ａの幅方向に張出してしまう。そのため、ハンド２１を載置位置９Ａに前進させていくと、やがて前記接続部分が搬送チャンバ７（正確には搬送室６からゲート８Ａの開口に向かって右側の部分）と接触する（図３７参照）。このように、減速比を２．０に設定すると、第２ハンド機構１４は、十分に伸張しないままゲート８Ａに挿入されるので、搬送チャンバ７と接触してしまう。
【００５３】
なお、図示はしないが、他のプロセスチャンバ５Ｂ〜５Ｇにハンド２１を挿入する場合、前述と同様の結果が得られる。つまり、減速比が１．０及び２．０に設定されたとき、第２ハンド機構１４が搬送チャンバ７に接触し、減速比が１．３５及び１．６５に設定されたとき、第２ハンド機構１４が搬送チャンバ７に接触することなく載置位置９にたどり着くことができる。また、第１ハンド機構１３についても同様である。
【００５４】
このように、減速比が１．３５及び１．６５に設定された場合、ハンド２１がゲート８から載置位置９に向かって略真直ぐに移動し、そこに保持するウエハ３を搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５に接触させることなく搬送させることができる。全ての範囲について図示しないが、減速比を変えていくと、ハンド２１の姿勢は、１．３５及び１．６５から１．５５付近に近づくにつれてより真直ぐになっていく。つまり、減速比は、１．５５付近が好ましく、１．３５以上１．６５以下の範囲で設定されれば、ハンド２１がゲート８から載置位置９に向かって略真直ぐに移動し、そこに保持するウエハ３を搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５に接触させることなく搬送させることができる。
【００５５】
このように減速比を１．３５以上１．６５以下の範囲することで、搬送装置１は、ハンド２１をゲート８から載置位置９に向かって略真直ぐに移動させ、そこに保持するウエハ３を搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５に接触させることなく搬送させることができる。このように略直線的にハンド２１を移動させることができるので、減速比が１．０や２．０に設定された場合に比べて、ゲート８の幅を狭めることができ、搬送チャンバ７及びプロセスチャンバ５の外形寸法を小さくすることができる。
【００５６】
また、本実施の形態の搬送装置１によれば、第１中間プーリー３５と第２中間プーリー４５とが同じ高さに配置されている。それ故、２つの中間プーリー３５，４５を上下方向に並べて配置する場合に比べて、搬送装置１の高さを低くすることができる。これにより、搬送装置１が配置される搬送室６の高さを低くし、搬送チャンバ７及び半導体処理設備２の高さを低く抑えることができる。
【００５７】
更に、搬送装置１によれば、２つの駆動軸３２，４２及び旋回軸１９が旋回軸線Ｌ１に沿って並設され、旋回軸１９内に駆動軸３２，４２が挿通されている。さらに、第１駆動軸３２内に第２駆動軸４２が挿通されている。それ故、旋回軸１９の外径を小さくすることができ、旋回軸１９及び２つの駆動軸３２，４２の設置スペースを低減できる。また、旋回軸１９を覆うベローズ５１の外径を小さくすることができる。これにより、製造コストを低く抑えることができる。
【００５８】
［その他の実施形態］
本実施形態では、七角形の搬送チャンバ７を備える半導体処理装置２について説明したが、搬送チャンバ７の形状は、必ずしも前述するような形状に限定されない。搬送チャンバ７は、六角形及び八角形等の多角形、円形や楕円形であってもよく、その形状は問わない。プロセスチャンバ５についても同様である。搬送装置１の旋回ベース１３、アーム２０及びハンド２１についても、上述するような動作が可能であれば形状は問わない。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本件発明は、半導体ウエハ及びガラスウエハ等のウエハを搬送するため搬送装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１ 搬送装置
３ ウエハ
１２ 旋回リンク
１３ 第１ハンド機構
１４ 第２ハンド機構
１７ 旋回用駆動機構
２０ アーム
２１ ハンド
２２ アーム用プーリー
２３ 回動軸
２４ ハンド用軸
２５ ハンド用プーリー
２６ 連動機構
２７ 回動軸側プーリー
２８ ハンド用ベルト
３０ 第１ハンド用駆動機構
３２ 第１駆動軸
３５ 第１中間プーリー
３６ アーム用ベルト
４０ 第２ハンド用駆動機構
４５ 第２中間プーリー
４６ アーム用ベルト
５０ 制御器
５１ ベローズ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ及びガラスウエハ等のウエハを搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からマルチチャンバシステムという半導体処理設備が知られている。このマルチチャンバシステムは、複数の半導体処理室及びロードロック室を備えている。半導体処理室及びロードロック室は、ゲートを介して１つの搬送室に夫々接続されており、搬送室には、搬送装置が配置されている。搬送装置としては、例えば特許文献１に開示されているような２つのハンドを備えた搬送装置が知られている。
【０００３】
この搬送装置は、旋回ベースと、２つのアームとを有している。旋回ベースは、旋回駆動手段により回動される。旋回ベースには、２つのアームが回動可能に取り付けられている。２つのアームは、伝動ベルト等を介して１つのアーム駆動手段に接続されている。アーム駆動手段は、伝動ベルトを動かして２つのアームを連動して回動させるように構成されている。このように連動して動く各アームの先端部には、ウエハを保持可能なハンドが形成されている。
【０００４】
このように構成された搬送装置は、旋回駆動手段により旋回ベースを回動させながらアーム駆動手段によりアームを回動させることで、ハンドに保持された半導体ウエハを搬送する。このように半導体ウエハを搬送可能な搬送装置は、ロードロック室及び半導体処理室から半導体ウエハを取り、その半導体ウエハを次の半導体処理室の所定の載置位置まで搬送し、その載置位置に載置する。載置位置に搬送された半導体ウエハは、所定のプロセス処理が施され、更に搬送装置により次の載置位置に搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−５０９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の搬送装置は、その構成上、旋回ベースの旋回中心である旋回軸線を中心に放射線状にしか半導体ウエハを搬送することができない。従って、載置位置が放射状に配置されてゲートが旋回中心に向いている場合、特許文献１に記載の搬送装置により半導体ウエハを搬送しても半導体ウエハやアームがゲートに当たることがない。しかし、載置位置及びゲートの向きは、プロセス処理の内容、半導体処理室の形状及び配置等に応じて変わるため、必ずしもゲートが旋回中心に向いているとは限らない。ゲートが旋回中心に向いていない場合、特許文献１に記載される搬送装置により半導体ウエハを搬送すると、ハンドがゲートに対して斜めに進入し、半導体ウエハやアームがゲートに接触してしまう。半導体処理室のゲートを広くすることで、半導体ウエハ及びアームの接触を避けることができるが、そうすると搬送室の外径寸法が大きくなってしまい半導体処理設備が大型化してしまう。
【０００７】
そこで本発明は、ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハをゲートに略真直ぐ入れることができるような搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の搬送装置は、予め定められた旋回軸線を中心に旋回可能に構成された旋回リンクと、ウエハを夫々保持可能で、前記旋回軸線に並行な２つの回動軸線を中心に夫々回動可能に前記旋回リンクに取り付けられた２つのハンド機構と、前記２つのハンド機構を夫々回動駆動する２つのハンド駆動機構と、を備え、前記ハンド機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに取り付けられ、前記ハンド駆動機構により回動されるアームと、前記回動軸線と平行なハンド用軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられた前記ウエハを保持するためのハンドと、前記アームの回動に連動して前記ハンドを回動させる連動機構と、を有し、前記連動機構は、前記アームの回動に対する前記ハンドの回動の減速比が１．３５以上１．６５以下になるように構成されているものである。
【０００９】
本発明に従えば、ハンドがアームに回動可能に設けられているので、ハンド機構を屈伸させることができる。これにより、ハンドの可動範囲が広くなる。ハンドとアームとは、連動しており、それらの減速比が１．３５以上１．６５以下の範囲で設定されている。これにより旋回ベースの回動量を調整しながらアームを回動させることで、ハンドを様々な方向に向け、且つその方向に略直線的に動かすことができる。これにより、ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハをゲートに略真直ぐ入れることができる。
【００１０】
上記発明において、前記連動機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに固定された回動軸線側プーリーと、前記ハンド軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられたハンド軸線側プーリーと、該ハンド軸線側プーリーと前記回動軸線側プーリーとに巻き掛けられたハンド用ベルトと、を有し、前記ハンドは、前記ハンド軸線側プーリーに固定されていることが好ましい。
【００１１】
上記構成に従えば、ハンド駆動機構によりアームを回動させると、回動軸線側プーリーが回動し、更にハンド用ベルトを介してハンド軸線側プーリーが回動する。これにより、ハンド軸線側プーリーに固定されたハンドが回動し、アームとハンドとが連動する。このように２つのプーリーを用いてアームとハンドとが連動するので、２つのプーリー間の変速比を選択するだけでアームとハンドとの減速比を設定でき、減速比を前述の範囲に設定することが容易である。
【００１２】
上記発明において、前記ハンド駆動機構は、アーム用駆動モータと、前記アーム用駆動モータにより回動されるアーム用出力軸と、前記アーム用出力軸に連動して回動する中間プーリーと、前記アームに固定され、前記回動軸線を中心に回動可能なアーム用プーリーと、前記中間プーリーと前記アーム用プーリーとに巻き掛けられたアーム用ベルトと、を有し、前記２つのハンド駆動機構の夫々の前記中間プーリーは、前記旋回リンクの内部空間に同じ高さで配置されていることが好ましい。
【００１３】
上記構成に従えば、アーム用駆動モータが回動すると、アーム用出力軸を介して中間プーリーが回動する。中間プーリーは、アーム用ベルトを介してアーム用プーリーを回動させる。これにより、アーム用プーリーに固定されたアームが回動する。このようにアームを回動させる中間プーリーは、２つのハンド駆動機構に夫々１つずつ備わっており、それらが同じ高さに配置されている。それ故、２つの中間プーリーを上下方向に並べて配置する場合に比べて、搬送装置の高さを低くすることができる。これにより、搬送装置が配置される搬送室の高さを低くし、搬送装置を備える設備の高さを低く抑えることができる。
【００１４】
上記発明において、前記２つのハンド駆動機構の夫々のアーム用出力軸のうち一方のアーム用出力軸は筒状に形成され、一方のアーム用出力軸に他方の前記アーム用出力軸が嵌挿されていることが好ましい。
【００１５】
上記構成に従えば、２つのアーム用出力軸が旋回軸線に沿って並設され、一方が他方のアーム用出力軸に挿通されている。これにより、２つのアーム用出力軸の接地スペースを低減することができる。
【００１６】
上記発明において、前記旋回リンクを旋回駆動する旋回用駆動機構と、
前記旋回用駆動機構及び前記２つのアーム用駆動モータの動作を制御する制御手段とを更に備え、前記制御手段は、前記アーム用駆動モータにより前記アーム及び前記ハンドを回動させて前記ハンド機構を伸張させながら前記旋回用駆動機構により前記旋回リンクを旋回させることで前記ハンドが向いている方向に該ハンドを直線的に移動させるように構成されていることが好ましい。
【００１７】
上記構成に従えば、制御手段により旋回ベースの回動を調整しながらハンド機構の伸張させることで、ハンドが向いている方向に直線的に動かすことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハをゲートに略真直ぐ入れることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送装置を備える半導体処理設備を示す平面図である。
【図２】図１の搬送装置を斜め上方から見た斜視図である。
【図３】図１の搬送装置を旋回リンクに垂直な方向に切断したときの断面を拡大して示す拡大断面図である。
【図４】図１の搬送装置の要部を旋回リンクに平行な方向に切断したときの断面を拡大して示す拡大断面図である。
【図５】図３に示す搬送装置を部分的に破断して旋回リンクに平行な方向における切断面を示す拡大断面図である。
【図６】第２ハンド機構の動作を示す平面図である。
【図７】半導体処理設備において偏心状に配置された載置位置に第１ハンド機構によりウエハを搬送する前における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図８】図７の状態から第１ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを近づけた時の搬送装置を示す平面図である。
【図９】図８の状態から第１ハンド機構をさらに伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図１０】図９の状態から第１ハンド機構をさらに伸ばして部屋にハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図１１】図１０の状態から第１ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１２】図１１の状態から第１ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１３】半導体処理設備において偏心状に配置された載置位置にあるウエハを第２ハンド機構により取りに行く前における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図１４】図１３の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを近づけた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１５】図１４の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図１６】図１５の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして部屋にハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図１７】図１６の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１８】図１７の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図１９】半導体処理設備において放射状に配置された載置位置にあるウエハを第２ハンド機構により取りに行く前における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図２０】図１９の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図２１】図２０の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図２２】図２１の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図２３】減速比が１．０の時における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図２４】図２３の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図２５】図２４の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図２６】図２１の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして第２ハンド機構がチャンバと接触した時の搬送装置を示す平面図である。
【図２７】減速比が１．３５の時における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図２８】図２７の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図２９】図２８の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３０】図２９の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３１】減速比が１．６５の時における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図３２】図３１の状態から第２ハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを挿入した時の搬送装置を示す平面図である。
【図３３】図３２の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３４】図３３の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３５】減速比が２．０の時における初期姿勢の搬送装置を示す平面図である。
【図３６】図３５の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして載置位置近傍までハンドを移動させた時の搬送装置を示す平面図である。
【図３７】図３７の状態から第２ハンド機構をさらに伸ばして第２ハンド機構がチャンバと接触した時の搬送装置を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の実施形態である搬送装置１を備える半導体処理設備２について説明する。なお、実施形態における上下、左右、及び前後等の方向の概念は、説明の便宜上使用するものであって、搬送装置１及び半導体処理設備２に関して、それらの構成の配置及び向き等をその方向に限定することを示唆するものではない。また、以下に説明する搬送装置１は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明は実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。
【００２１】
［半導体処理設備］
半導体処理設備２は、ウエハ３に熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理及び平坦化処理等の各種プロセス処理を施すための設備である。なお、本発明において、ウエハ３は、例えば半導体ウエハ及びガラスウエハであり、半導体ウエハとしては、例えば、シリコンウエハ、サファイヤ（単結晶アルミナ）ウエハ、その他の各種のウエハ等がある。ガラスウエハとしては、例えば、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）用ガラス基板、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）用ガラス基板等がある。
【００２２】
半導体処理設備２は、搬送されたウエハ３を待機させておくロードロック室や、ウエハ３に各種プロセス処理を施すための処理室等の部屋４が夫々形成された複数のプロセスチャンバ５を有している。本実施形態において、半導体処理設備２は、７つの部屋４Ａ〜４Ｇを有しており、７つのプロセスチャンバ５Ａ〜５Ｇを備えている。これら７つの部屋４Ａ〜４Ｇは、１つの搬送室６に繋がっている。搬送室６は、搬送チャンバ７内に形成されている。搬送チャンバ７の外形は、平面視で多角形になっており、その辺の数は、半導体処理設備２が有するプロセスチャンバ５の数と同数又はそれ以上の数になっている。本実施形態では、搬送チャンバ７は、略正七角形になっている。
【００２３】
搬送チャンバ７の各辺には、ゲート８が形成されると共にプロセスチャンバ７が設けられており、各プロセスチャンバ５内に形成される部屋４Ａ〜４Ｇは、ゲート８を介して搬送室６に繋がっている。各部屋４Ａ〜４Ｇは、前述する各種プロセス処理を施す際や待機させる際にウエハ３を載置する載置位置９が予め定められている（２点鎖線参照）。搬送室６と部屋４Ａ〜４Ｇとを夫々繋ぐゲート８Ａ〜８Ｇは、このような載置位置９Ａ〜９Ｇにウエハ３を真直ぐ挿入できるように形成されている。
【００２４】
具体的には、ゲート８Ａ〜８Ｇは、部屋４Ａ〜４Ｇの奥行き方向（前後方向）に一致しかつ搬送チャンバ７の各辺に直交する方向に開口している。このようにして形成された７つのゲート８Ａ〜８Ｇのうち５つゲート８Ａ〜８Ｅは、搬送チャンバ７の重心Ｇの方に向いているが、残りの２つのゲート８Ｆ，８Ｇは、重心Ｇと異なる位置Ｈに向いている。このように重心Ｇと異なる方向を向いている２つのゲート８Ｆ，８Ｇに夫々接続している２つの部屋４Ｆ，４Ｇの載置位置９Ｆ，９Ｇは、重心Ｇに対して偏心状に位置することになる。逆に、重心Ｇに向いている５つのゲート８Ａ〜８Ｅに夫々接続している５つの部屋４Ａ〜４Ｅの載置位置９Ａ〜９Ｅは、重心Ｇに対して放射状に位置することになる。
【００２５】
搬送室６は、平面視で大略円形状（又は正多角形状）になっており、その中心が搬送チャンバ７の重心Ｇと略一致している。このように形成された搬送室６には、搬送装置１が配置されており、搬送室６の内径は、後述する搬送装置１の旋回リンク１２の旋回半径より少しだけ大きく形成されている。搬送装置１は、前述するような偏心状に配置される載置位置９Ｆ，９Ｇ及び放射状に配置される載置位置９Ａ〜９Ｅのどちらにもウエハ３を搬送し、またそこからウエハ３を取ることができるように構成されている。以下では、図１乃至図５を参照しつつ搬送装置１の具体的な構成について説明する。
【００２６】
＜搬送装置＞
搬送装置１は、図２に示すように、固定ベース１１と、旋回リンク１２と、第１ハンド機構１３と、第２ハンド機構１４とを備えている。固定ベース１１は、大略的に円筒状に形成されており、搬送チャンバ７の底面部に立設されている。固定ベース１１内には図３及び４に示すような昇降機構１５及び昇降ベース１６が収容されている。なお、図３及び図４では固定ベース１１の記載が省略されている。昇降機構１５は、いわゆるボールねじ機構であり、ボールねじ軸１５ａとスライダ部１５ｂとを有している。ボールねじ軸１５ａは、上下方向に延在し、固定ベース１１に回動可能に支持されている。ボールねじ軸１５ａは、図示しない昇降モータにより回動駆動可能に構成されている。また、ボールねじ軸１５ａには、スライダ部１５ｂが螺合されており、スライダ部１５ｂには、筒状の昇降ベース１６が一体的に設けられている。
【００２７】
昇降ベース１６には、旋回用駆動機構１７が設けられている。旋回用駆動機構１７は、旋回用モータ１８と、旋回軸１９とを有している。旋回用モータ１８は、図３に示すように昇降ベース１６内に該昇降ベース１６に固定されて、その出力軸１８ａに駆動ギヤ１８ｂが取付けられている。駆動ギヤ１８ｂには、旋回軸１９に取付けられた従動ギヤ１９ａが歯合している。旋回軸１９は、上下方向に延びる旋回軸線Ｌ１を中心に回動可能に昇降ベース１６に設けられ、昇降ベース１６を突き抜けるように上方に延在している。旋回軸１９の下端には、前述の従動ギヤ１９ａが取付けられ、上端には、旋回リンク１２が固定されている。また、旋回軸１９は筒状に形成されている。
【００２８】
旋回リンク１２は、中空の板状部材であり、平面視で大略短冊状に形成されている。旋回リンク１２は、左右対称に形成されており、その中心が旋回軸１９の軸線と一致するように旋回軸１９の上端に固定されている。旋回リンク１２の左右両側端部には、第１ハンド機構１３と第２ハンド機構１４とが左右対称に夫々設けられている。第１ハンド機構１３と第２ハンド機構１４とは、配置位置が異なるだけで構成等は同一である。以下では、旋回リンク１２の右端部に設けられている第１ハンド機構１３だけを説明し、旋回リンク１２の左端部に設けられている第２ハンド機構１４については同一の符合を付して説明を省略する。
【００２９】
第１ハンド機構１３は、図１及び図２に示すように、アーム２０と、ハンド２１とを有している。アーム２０は、中空の板状部材であり、平面視で大略短冊状に形成されている。アーム２０は、図４に示すように長手方向一端部（図４の右端部）の底面に円筒状のアーム用プーリー２２が固定されている。旋回リンク１２内の左右両側には、上方に延在する回動軸２３が形成されており、アーム用プーリー２２は、回動軸２３に回動可能に装着されている。このように旋回リンク１２に取付けられたアーム２０は、回動軸２３の軸線であって上下方向に延びる回動軸線Ｌ２（第２ハンド機構１４では、回動軸線Ｌ３）を中心に回動可能に構成されている。このように構成されたアーム２０の長手方向他端部（図４の左端部）にハンド２１が取付けられている。
【００３０】
ハンド２１は、板状の部材である。ハンド２１の先端は、二股状に形成され、ウエハ３を載置して保持できるように構成されている。また、ハンド２１の基端側の底面には、円筒状のハンド用プーリー２５が固定されている。アーム２０内の長手方向他端（図４の左端）側には、上方に延在するハンド用軸２４が形成されており、ハンド用プーリー２５は、ハンド用軸２４に回動可能に装着されている。このようにアーム２０に取付けられたハンド２１は、ハンド用軸２４の軸線であって上下方向に延びるハンド用軸線Ｌ４（第２ハンド機構１４では、ハンド用軸線Ｌ５）を中心に回動可能に構成されている。
【００３１】
また、第１ハンド機構１３は、ハンド２１とアーム２０とを連動させる連動機構２６を有している。連動機構２６は、前述のハンド用プーリー２５と、回動軸側プーリー２７及びハンド用ベルト２８とによって構成される。回動軸側プーリー２７は、その軸線が回動軸線Ｌ２に一致するように回動軸２３に固定されている。回動軸側プーリー２７には、ハンド用ベルト２８が巻き掛けられている。ハンド用ベルト２８は、更にハンド用プーリー２５にも巻き掛けられており、回動軸側プーリー２７とハンド用プーリー２５との間に張架されている。
【００３２】
このように構成される第１ハンド機構１３を駆動すべく、昇降ベース１６には、第１ハンド用駆動機構３０が設けられている。第１ハンド用駆動機構３０は、図５に示すように第１回動用モータ３１と、第１駆動軸３２とを有している。第１回動用モータ３１は、図５に示すように昇降ベース１６内に該昇降ベース１６に固定されている。第１回動用モータ３１の出力軸３１ａには、駆動ギヤ３１ｂが取付けられている。駆動ギヤ３１ｂには、第１駆動軸３２に取付けられた従動ギヤ３２ａが歯合している。第１駆動軸３２は、既述のように筒状に形成された旋回軸１９に挿通されており、その下端及び上端が旋回軸１９から上方及び下方に夫々突出している。第１駆動軸３２の下端側は、旋回軸線Ｌ１を中心に（すなわち、旋回軸１０と同軸に）回動可能に昇降ベース１６に支持され、下端に前述の従動ギヤ３２ａが取付けられている。第１駆動軸３２の上端側は、旋回軸１９に回動可能に支持され、上端に第１伝動ギヤ３２ｂが取付けられている。また、第１駆動軸３２は筒状に形成されている。
【００３３】
第１伝動ギヤ３２ｂは、円環形状の薄板状に形成され、旋回軸線Ｌ１を中心に回動するように旋回リンク１２内に配置されている。第１伝動ギヤ３２ｂは、第１中間ギヤ３３に歯合している。第１中間ギヤ３３は、第１伝動ギヤ３２ｂと同様に薄板状に形成され、旋回リンク１２内において該旋回リンク１２に回動可能に設けられている。第１中間ギヤ３３は、第１伝動ギヤ３２ｂと共に旋回リンク１２の長手方向に並べられ、第１伝動ギヤ３２ｂと共に第１ギヤ列３４を構成している。第１中間ギヤ３３の上部には、第１中間プーリー３５が固定されている。第１中間プーリー３５には、アーム用ベルト３６が巻き掛けられている。アーム用ベルト３６は、更にアーム用プーリー２２にも巻き掛けられており、第１中間プーリー３５とアーム用プーリー２２との間に張架されている。
【００３４】
また、第２ハンド機構１４を駆動すべく、昇降ベース１６には、第２ハンド用駆動機構４０が設けられている。第２ハンド用駆動機構４０は、図５に示すように第２回動用モータ４１と、第２駆動軸４２とを有している。第２回動用モータ４１は、図５に示すように昇降ベース１６内に該昇降ベース１６に固定されている。第２回動用モータ４１の出力軸４１ａには、駆動ギヤ４１ｂが取付けられている。駆動ギヤ４１ｂには、第２駆動軸４２に取付けられた従動ギヤ４２ａが歯合している。第２駆動軸４２は、上述のように筒状に形成された第１駆動軸３２に挿通されており、その下端及び上端が第１駆動軸３２から上方及び下方に夫々突出している。第２駆動軸４２の下端側は、旋回軸線Ｌ１を中心に（すなわち、第１駆動軸３２及び旋回軸１９と同軸に）回動可能に昇降ベース１６に支持され、下端に従動ギヤ４２ａが取付けられている。第２駆動軸４２の上端側は、第１駆動軸３２に回動可能に支持され、上端はさらに第１伝動ギヤ３２ｂを貫通している。この上端に第２伝動ギヤ４２ｂが取付けられている。
【００３５】
第２伝動ギヤ４２ｂは、薄板状に形成されている。第２伝動ギヤ４２ｂは、旋回リンク１２内において、平面視で第１伝動ギヤ３２ｂに重なるように配置され、旋回軸線Ｌ１を中心に回動するように構成されている。第２伝動ギヤ４２ｂは、第２中間ギヤ４３に歯合している。第２中間ギヤ４３は、第２伝動ギヤ４２ｂと同様に薄板状に形成され、旋回リンク１２内に該旋回リンク１２に回動可能に設けられている。第２中間ギヤ４３は、平面視で第２伝動ギヤ４２ｂ及び第２中間ギヤ４３と共に旋回リンク１２の長手方向に並べられており、第２伝動ギヤ４２ｂを挟んで第１中間ギヤ３３の反対側に配置されている。第２中間ギヤ４３は、第２伝動ギヤ４２ｂと共に第２ギヤ列４４を構成している。また、第２中間ギヤ４３の上部には、第２中間プーリー４５が固定されている。第２中間プーリー４５には、アーム用ベルト４６が巻き掛けられている。アーム用ベルト４６は、更にアーム用プーリー２２にも巻き掛けられており、第２中間プーリー４５とアーム用プーリー２２との間に張架されている。このようにアーム用ベルト４６が張架された第２中間プーリー４５は、第１中間プーリー３５と同じ高さに配置されている。
【００３６】
また、搬送装置１は、外部から隔離するように旋回軸１９、第１駆動軸３２及び第２駆動軸４２を被覆する蛇腹状のベローズ５１を備えている。ベローズ５１は、大略円筒状に形成されている。ベローズ５１の中には、旋回軸１９、第１駆動軸３２及び第２駆動軸４２が挿通されており、下端部が昇降ベース１６に気密に取付けられている。また、ベローズ５１の上端部には、フランジ部５２が設けられている。フランジ部５２は、大略円板状に形成され、旋回軸１９、第１駆動軸３２及び第２駆動軸４２が貫通している。フランジ部５２は、旋回軸１９の上端よりに位置しており、旋回リンク１２に対向している。
【００３７】
このように構成された第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４は、図６の実線で示すような初期姿勢をとる。初期姿勢では、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４が共に鋭角に屈曲し、ハンド２１の先端が略同じ方向（前方）に向いている。このように屈曲する第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４では、アーム２０が斜め後方に延在し、そこから前方へと延びるハンド２１が互いに略並行、且つ左右に延在する旋回リンク１２に略直交するように位置している。このように構成された第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４は、ハンド２１にて保持されたウエハ３が互いに当たらないように、アーム２０の長さが規定されている。その長さは、ウエハ３を載置する載置位置９に応じて設定され、少なくとも旋回リンク１２の長さの半分以下となっている。
【００３８】
このように構成された第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４を夫々駆動する第１回動用モータ３１及び第２回動用モータ４１、並びに旋回リンク１２を旋回駆動する旋回用モータ１８は、制御器５０に制御配線を通じて接続されている。制御手段である制御器５０は、予め定められたプログラムに基づいて、旋回用モータ１８、第１回動用モータ３１及び第２回動用モータ４１の駆動を制御する機能を有する。また、制御器５０は、図示しない昇降モータに制御配線を通じて接続され、昇降モータの駆動を制御することで昇降ベース１６を昇降する機能を有している。更に、制御器５０は、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４のアーム２０が初期姿勢より後側に回動しないように第１回動用モータ３１及び第２回動用モータ４１の駆動を制御している。なお、このような回動の規制は、制御器５０だけでなく、回動規制用のピン等を設けて機械的に実施してもよい。以下では、制御器５０により第１ハンド機構１３の動作を制御した際の搬送装置１の動作について説明する。
【００３９】
＜搬送装置の動作について＞
搬送装置１では、制御器５０が初期位置から第１回動用モータ３１を動作させて第１駆動軸３２を回動させると、第１ギヤ列３４を介して第１中間プーリー３５が回動する。第１中間プーリー３５が回動することで、アーム用ベルト３６によりアーム用プーリー２２が回動し、第１ハンド機構１３のアーム２０が回動軸線Ｌ２を中心に回動する。アーム２０が回動すると、ハンド用プーリー２５が回動軸線Ｌ２を中心に回動する。このようにハンド用プーリー２５が回動軸線Ｌ２を中心に回動すると、回動軸側プーリー２７が回動軸２３に固定されているためハンド用ベルト２８がハンド用軸線Ｌ４を中心にハンド用プーリー２５を回動させる。これにより、第１ハンド機構１３のハンド２１がハンド用軸線Ｌ４を中心に回動する。このように第１ハンド機構１３のハンド２１は、アーム２０に連動して回動する。ハンド２１は、アーム２０が時計回りに回動すると反時計回りに回動し、逆にアーム２０が反時計回りに回動すると時計回りに回動する。従って、第１ハンド機構１３は、アーム２０を時計回りに回動させると伸張し、逆にアーム２０を反時計回りに回動させると屈曲する。
【００４０】
また、制御器５０が第２回動用モータ４１を駆動すると、第１ハンド用駆動機構３０と同様に、第２ハンド機構１４のアーム２０が回動し、アーム２０に連動して第２ハンド機構１４のハンド２１が回動する。このように第２ハンド機構１４のアーム２０及びハンド２１が連動して回動することで、第２ハンド機構１４が屈伸する。
【００４１】
＜アーム２０の回動に対するハンド２１の回動の減速比＞
このように屈伸する第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４は、初期姿勢において、各ハンド２１及びそこに保持されたウエハ３が互いに当たらないようになっている。このような初期状態から各ハンド機構１３，１４のアーム２０を前側に回動させると、ハンド２１は、図６の一点鎖線、点線及び二点鎖線で示すように他方のハンド機構１４（又は１３）を避けるようにアーム２１に連動して動くようになっている。このような退避動作は、回動軸側プーリー２７とハンド用プーリー２５との変速比（ギヤ比）、つまりアーム２０に対するハンド２１の減速比を調整することで実現している。減速比は、１．３５以上１．６５以下の範囲で設定されており、このような減速比になるように回動軸側プーリー２７とハンド用プーリー２５との変速比（ギヤ比））が設定されている。このような範囲内で減速比を設定すると、退避動作が実現できるだけでなく、後述するようにハンド２１及びそこに保持されたウエハ３を略直線的に動かすことができる。このようにハンド２１を直線的に動かすことで、ハンド２１及びそこに保持されたウエハ３が搬送中にゲート８に干渉することを防ぐことができる。なお、本実施形態において、減速比が例えば、１．５５になるように変速比（ギヤ比）が設定されている。以下では、半導体処理設備２における搬送装置１のハンド２１の動きについて詳しく説明する。
【００４２】
［半導体処理設備におけるハンドの動き］
以下では、搬送チャンバ７の左前方に設けられているプロセスチャンバ５Ｆ内の処理室４Ｆにウエハ３を搬送する場合について、図７乃至図１２を参照しつつ説明する。まず、制御器５０は、初期姿勢の搬送装置１の旋回リンク１２を旋回させ、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４のハンド２１の先端部を搬送先の処理室４Ｆ側に向ける（図７参照）。この際、旋回リンク１２は、左右方向に延在している。
【００４３】
次に、制御器５０は、旋回用モータ１８を駆動して旋回リンク１２を反時計回りに回動させる。旋回リンク１２を回動させている間、制御器５０は、第１回動用モータ３１を駆動して第１ハンド機構１３のアーム２０及びハンド２１を回動させ、第１ハンド機構１３を伸張させる。このように、制御器５０は、旋回リンク１２を回動させながら第１ハンド機構１３を伸張させ、ハンド２１及びウエハ３を処理室４Ｆに繋がるゲート８Ｆの方へと移動させる。この際、制御器５０は、ハンド２１がゲート８Ｆに対して略真直ぐになるように（ゲート８Ｆの開口方向に略一致する方向を向くように）旋回用モータ１８及び第１回動用モータ３１を制御する。制御器５０は、ゲート８Ｆに近づくと（図８参照）、第１ハンド機構１３を伸張させつつ旋回用モータ１８の回動速度を落とす。そして、その回動速度を調整しながらハンド２１に保持されたウエハ３をゲート８Ｆに挿入する（図９参照）。この際、ウエハ３がゲート８Ｆに当たらないように、ハンド２１は、ゲート８Ｆの中心付近に略真直ぐな状態で挿入される。挿入後も、制御器５０は、旋回用モータ１８の回動速度を調整しながら第１ハンド機構１３を伸張させ、ハンド２１及びウエハ３を載置位置９Ｆに向かって略一直線に移動させる（図７〜図１２参照）。
【００４４】
その後、ウエハ３が処理室４Ｆの載置位置９Ｆに達すると、制御器５０は、旋回用モータ１８及び第１回動用モータ３１を停止する。更に、制御器５０は、昇降モータを動作させて昇降ベースを下降させ、ウエハ３を載置位置９Ｆに載置する。載置後、制御器５０は、旋回用モータ１８を動作させつつ第１ハンド機構１３を屈曲させ、移動してきた軌道を辿ってハンド２１を後退させていき、搬送装置１を初期姿勢まで戻す。
【００４５】
このようにして載置位置９Ｆに載置されたウエハ３は、第２ハンド機構１４のハンド２１により取り出される。次に、第２ハンド機構１４によりプロセスチャンバ５Ｆの処理室４Ｆからウエハ３を取り出す場合について、図１３及び図１８を参照しつつ説明する。まず、制御器５０は、初期姿勢にある搬送装置１（図１３参照）の旋回リンク１２を時計回りに回動させながら第２ハンド機構１４を伸張させる。これにより、ハンド２１を処理室４Ｆに繋がるゲート８Ｆの方へと移動する（図１４参照）。その後、制御器５０は、旋回リンク１２の回動速度を調整しながらハンド２１をゲート８Ｆに挿入し（図１５参照）、挿入後、ハンド２１及びウエハ３を搬送路に沿って略一直線に移動させる（図１６〜図１８参照）。そして、ウエハ３が処理室４Ｆの載置位置９Ｆに達すると、制御器５０は、旋回用モータ１８及び第１回動用モータ３１を停止して昇降モータを動作させて昇降ベース１６を上昇させ、載置位置９Ｆにあるウエハ３をハンド２１で保持する。保持後、制御器５０は、旋回用モータ１８を動作させつつ第１ハンド機構１３を屈曲させ、移動してきた軌道を辿ってハンド２１を後退させていき、搬送装置１を初期姿勢まで戻す。
【００４６】
このように搬送装置１は、偏心状に配置された載置位置９Ｆまで第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４のハンド２１を略直線的に移動させることができるので、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４、並びにそれらに保持されたウエハ３を搬送チャンバ７に接触させることなく、載置位置９Ｆにウエハ３を載置したり、そこにあるウエハ３を取ったりすることができる。搬送装置１は、図示しないが、同じように偏心状に配置された載置位置９Ｇにもウエハ３を載置したり、そこあるウエハ３を取ったりすることができる。また、搬送装置１は、載置位置９Ｆよりも更に奥の方にまでハンド２１を略直線的に移動させることができ（図７及び図１３の２点鎖線参照）、偏心状に配置された様々な位置に向かって略直線的にハンド２１を移動させることができる。
【００４７】
また、搬送装置１は、偏心状に配置される位置だけでなく、放射状に配置された載置位置８Ａ〜８Ｅにもウエハ３を搬送することができる。その一例として第１ハンド機構１３がウエハ３を載置位置８Ｃに搬送する場合について、図１９〜図２２に示す。なお、制御器５０が実行する制御は、初めにハンド２１を向ける方向（図１９参照）、旋回用モータ１８の回動量、及び第１回動用モータ３１の回動量を除いて、第１ハンド機構１３のハンド２１を載置位置９Ｆに移動させる際の制御と同じである。このような制御が実行されて移動した第１ハンド機構１３のハンド２１は、ゲート８Ｃに略真直ぐに挿入され（図２０参照）、そのまま略真直ぐに移動して載置位置９Ｃに達する（図２１及び図２２参照）。挿入前においてハンド２１の向きを変えることにより、搬送装置１は、同様に載置位置９Ａ，９Ｂ，９Ｄ，９Ｅに向かって略真直ぐに移動させることができる。それ故、搬送装置１は、放射状に配置された載置位置９Ａ〜９Ｅについても、そこまで第１ハンド機構１３のハンド２１を略直線的に移動させ、そこにウエハ３を載置したり、そこにあるウエハ３を取ったりすることができる。
【００４８】
このように、ウエハ３を載置したり、取ったりする２つのハンド機構１３，１４のハンド２１の軌跡は、回動軸側プーリー２７とハンド用プーリー２５との変速比（ギヤ比）により変えることができる。即ち、ハンド２１の軌跡は、アーム２０とハンド２１との減速比に応じて調整することができる。以下では、減速比を１．０、１．３５、１．６５及び２．０に夫々設定したときに、第２ハンド機構１４のハンド２１がどのような動きをして搬送チャンバ７の右側に設けられているプロセスチャンバ５Ａ内の処理室４Ａにウエハ３を搬送するか説明する。
【００４９】
［異なる減速比の動作に関する対比］
減速比が１．０に設定された場合について説明する。まず、制御器５０は、初期姿勢の搬送装置１の旋回リンク１２を回動させ、第１ハンド機構１３及び第２ハンド機構１４のハンド２１の先端部を搬送先の処理室４Ａ側に向ける（図２３参照）。その後、制御器５０は、旋回用モータ１８及び第２回動用モータ４１を制御して第２ハンド機構１４のハンド２１を処理室４Ａに挿入していく（図２４及び図２５参照）。第２ハンド機構１４のハンド２１は、ゲート８Ａに挿入された時、略真直ぐな姿勢で挿入されているが、載置位置９Ａの方へと進むにつれて徐々にその姿勢がゲート８Ａに対して平面視で斜めに傾いていく。そのままハンド２１を前進させていくと、やがてハンド２１が搬送チャンバ７（正確にはゲート８Ａの開口の向かって左側の部分）と接触する（図２６参照）。このように、減速比を１．０に設定すると、ゲート８Ａに挿入された後、第２ハンド機構１４のハンド２１は、その姿勢を傾けながら前進するので、搬送チャンバ７と接触してしまう。
【００５０】
次に、減速比が１．３５に設定された場合について説明する。制御器５０は、減速比が１．０に設定された場合と同様の制御を行い、第２ハンド機構１４のハンド２１を処理室４Ａに挿入していく（図２７及び図２８参照）。ゲート８Ａに挿入された第２ハンド機構１４のハンド２１は、ゲート８Ａに挿入した時及び挿入した後もゲート８Ａに対して略真直ぐに前進していく（図２９参照）。それ故、アーム２０、ハンド２１及びハンド２１に保持されたウエハ３が搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５Ａに接触することなく、第２ハンド機構１４のハンド２１を載置位置９Ａまで移動させることができる（図３０参照）。このように、減速比を１．３５に設定すると、第２ハンド機構１４のハンド２１は、ゲート８Ａに対して略真直ぐに前進していき、ハンド２１自身やアーム２０、更にはウエハ３が搬送チャンバ７に接触することを防ぐことができる。
【００５１】
次に、減速比が１．６５に設定された場合について説明する。制御器５０は、減速比が１．０に設定された場合と同様の制御を行い、第２ハンド機構１４のハンド２１を処理室４Ａに挿入していく（図３１及び図３２参照）。ゲート８Ａに挿入された第２ハンド機構１４のハンド２１は、減速比が１．３５に設定された場合と同様に、ゲート８Ａに挿入した時及び挿入した後もゲート８Ａに対して略真直ぐに前進する（図３３参照）。そして、アーム２０、ハンド２１及びハンド２１に保持されたウエハ３が搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５Ａに接触することなく、第２ハンド機構１４のハンド２１が載置位置９Ａまで達する（図３４参照）。このように、減速比を１．６５に設定した場合もまた、第２ハンド機構１４のハンド２１は、ゲート８Ａに対して略真直ぐに前進していき、ハンド２１自身やアーム２０、更にはウエハ３が搬送チャンバ７に接触することを防ぐことができる。
【００５２】
最後に、減速比が２．０に設定された場合について説明する。制御器５０は、減速比が１．０に設定された場合と同様の制御を行い、第２ハンド機構１４のハンド２１を処理室４Ａに挿入していく（図３５及び図３６参照）。ゲートに挿入する際、第２ハンド機構１４は、アーム２０とハンド２１とが屈曲した状態のままハンド２１をゲート８Ａに挿入する。そのため、ハンド２１は、やや傾いた姿勢でゲート８Ａに挿入されている。挿入後、ハンド２１を載置位置９Ａに前進させていくが、減速比が大きいため第２ハンド機構１４が十分に伸張せずにゲート８Ａに挿入される。それ故、第２ハンド機構１４のアーム２０とハンド２１とが接続されている接続部分がゲート８Ａの幅方向に張出してしまう。そのため、ハンド２１を載置位置９Ａに前進させていくと、やがて前記接続部分が搬送チャンバ７（正確には搬送室６からゲート８Ａの開口に向かって右側の部分）と接触する（図３７参照）。このように、減速比を２．０に設定すると、第２ハンド機構１４は、十分に伸張しないままゲート８Ａに挿入されるので、搬送チャンバ７と接触してしまう。
【００５３】
なお、図示はしないが、他のプロセスチャンバ５Ｂ〜５Ｇにハンド２１を挿入する場合、前述と同様の結果が得られる。つまり、減速比が１．０及び２．０に設定されたとき、第２ハンド機構１４が搬送チャンバ７に接触し、減速比が１．３５及び１．６５に設定されたとき、第２ハンド機構１４が搬送チャンバ７に接触することなく載置位置９にたどり着くことができる。また、第１ハンド機構１３についても同様である。
【００５４】
このように、減速比が１．３５及び１．６５に設定された場合、ハンド２１がゲート８から載置位置９に向かって略真直ぐに移動し、そこに保持するウエハ３を搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５に接触させることなく搬送させることができる。全ての範囲について図示しないが、減速比を変えていくと、ハンド２１の姿勢は、１．３５及び１．６５から１．５５付近に近づくにつれてより真直ぐになっていく。つまり、減速比は、１．５５付近が好ましく、１．３５以上１．６５以下の範囲で設定されれば、ハンド２１がゲート８から載置位置９に向かって略真直ぐに移動し、そこに保持するウエハ３を搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５に接触させることなく搬送させることができる。
【００５５】
このように減速比を１．３５以上１．６５以下の範囲することで、搬送装置１は、ハンド２１をゲート８から載置位置９に向かって略真直ぐに移動させ、そこに保持するウエハ３を搬送チャンバ７やプロセスチャンバ５に接触させることなく搬送させることができる。このように略直線的にハンド２１を移動させることができるので、減速比が１．０や２．０に設定された場合に比べて、ゲート８の幅を狭めることができ、搬送チャンバ７及びプロセスチャンバ５の外形寸法を小さくすることができる。
【００５６】
また、本実施の形態の搬送装置１によれば、第１中間プーリー３５と第２中間プーリー４５とが同じ高さに配置されている。それ故、２つの中間プーリー３５，４５を上下方向に並べて配置する場合に比べて、搬送装置１の高さを低くすることができる。これにより、搬送装置１が配置される搬送室６の高さを低くし、搬送チャンバ７及び半導体処理設備２の高さを低く抑えることができる。
【００５７】
更に、搬送装置１によれば、２つの駆動軸３２，４２及び旋回軸１９が旋回軸線Ｌ１に沿って並設され、旋回軸１９内に駆動軸３２，４２が挿通されている。さらに、第１駆動軸３２内に第２駆動軸４２が挿通されている。それ故、旋回軸１９の外径を小さくすることができ、旋回軸１９及び２つの駆動軸３２，４２の設置スペースを低減できる。また、旋回軸１９を覆うベローズ５１の外径を小さくすることができる。これにより、製造コストを低く抑えることができる。
【００５８】
［その他の実施形態］
本実施形態では、七角形の搬送チャンバ７を備える半導体処理装置２について説明したが、搬送チャンバ７の形状は、必ずしも前述するような形状に限定されない。搬送チャンバ７は、六角形及び八角形等の多角形、円形や楕円形であってもよく、その形状は問わない。プロセスチャンバ５についても同様である。搬送装置１の旋回ベース１３、アーム２０及びハンド２１についても、上述するような動作が可能であれば形状は問わない。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本件発明は、半導体ウエハ及びガラスウエハ等のウエハを搬送するため搬送装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１ 搬送装置
３ ウエハ
１２ 旋回リンク
１３ 第１ハンド機構
１４ 第２ハンド機構
１７ 旋回用駆動機構
２０ アーム
２１ ハンド
２２ アーム用プーリー
２３ 回動軸
２４ ハンド用軸
２５ ハンド用プーリー
２６ 連動機構
２７ 回動軸側プーリー
２８ ハンド用ベルト
３０ 第１ハンド用駆動機構
３２ 第１駆動軸
３５ 第１中間プーリー
３６ アーム用ベルト
４０ 第２ハンド用駆動機構
４５ 第２中間プーリー
４６ アーム用ベルト
５０ 制御器
５１ ベローズ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め定められた旋回軸線を中心に旋回可能に構成された旋回リンクと、
ウエハを夫々保持可能で、前記旋回軸線に並行な２つの回動軸線を中心に夫々回動可能に前記旋回リンクに取り付けられた２つのハンド機構と、
前記２つのハンド機構を夫々回動駆動する２つのハンド駆動機構と、を備え、
前記ハンド機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに取り付けられ、前記ハンド駆動機構により回動されるアームと、前記回動軸線と平行なハンド用軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられた前記ウエハを保持するためのハンドと、前記アームの回動に連動して前記ハンドを回動させる連動機構と、を有し、
前記連動機構は、前記アームの回動に対する前記ハンドの回動の減速比が１．３５以上１．６５以下になるように構成されている、搬送装置。
【請求項２】
前記連動機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに固定された回動軸線側プーリーと、前記ハンド軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられたハンド軸線側プーリーと、該ハンド軸線側プーリーと前記回動軸線側プーリーとに巻き掛けられたハンド用ベルトと、を有し、
前記ハンドは、前記ハンド軸線側プーリーに固定されている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記ハンド駆動機構は、アーム用駆動モータと、前記アーム用駆動モータにより回動されるアーム用出力軸と、前記アーム用出力軸に連動して回動する中間プーリーと、前記アームに固定され、前記回動軸線を中心に回動可能なアーム用プーリーと、前記中間プーリーと前記アーム用プーリーとに巻き掛けられたアーム用ベルトと、を有し、
前記２つのハンド駆動機構の夫々の前記中間プーリーは、前記旋回リンクの内部空間に同じ高さで配置されている、請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記２つのハンド駆動機構の夫々のアーム用出力軸のうち一方のアーム用出力軸は筒状に形成され、一方のアーム用出力軸に他方の前記アーム用出力軸が嵌挿されている、請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記旋回リンクを旋回駆動する旋回用駆動機構と、
前記旋回用駆動機構及び前記２つのアーム用駆動モータの動作を制御する制御手段とを更に備え、
前記制御手段は、前記アーム用駆動モータにより前記アーム及び前記ハンドを回動させて前記ハンド機構を伸張させながら前記旋回用駆動機構により前記旋回リンクを旋回させることで前記ハンドが向いている方向に該ハンドを直線的に移動させるように構成されている、請求項１乃至４の何れか１つに記載の搬送装置。
【請求項１】
予め定められた旋回軸線を中心に旋回可能に構成された旋回リンクと、
ウエハを夫々保持可能で、前記旋回軸線に並行な２つの回動軸線を中心に夫々回動可能に前記旋回リンクに取り付けられた２つのハンド機構と、
前記２つのハンド機構を夫々回動駆動する２つのハンド駆動機構と、を備え、
前記ハンド機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに取り付けられ、前記ハンド駆動機構により回動されるアームと、前記回動軸線と平行なハンド用軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられた前記ウエハを保持するためのハンドと、前記アームの回動に連動して前記ハンドを回動させる連動機構と、を有し、
前記連動機構は、前記アームの回動に対する前記ハンドの回動の減速比が１．３５以上１．６５以下になるように構成されている、搬送装置。
【請求項２】
前記連動機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに固定された回動軸線側プーリーと、前記ハンド軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられたハンド軸線側プーリーと、該ハンド軸線側プーリーと前記回動軸線側プーリーとに巻き掛けられたハンド用ベルトと、を有し、
前記ハンドは、前記ハンド軸線側プーリーに固定されている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記ハンド駆動機構は、アーム用駆動モータと、前記アーム用駆動モータにより回動されるアーム用出力軸と、前記アーム用出力軸に連動して回動する中間プーリーと、前記アームに固定され、前記回動軸線を中心に回動可能なアーム用プーリーと、前記中間プーリーと前記アーム用プーリーとに巻き掛けられたアーム用ベルトと、を有し、
前記２つのハンド駆動機構の夫々の前記中間プーリーは、前記旋回リンクの内部空間に同じ高さで配置されている、請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記２つのハンド駆動機構の夫々のアーム用出力軸のうち一方のアーム用出力軸は筒状に形成され、一方のアーム用出力軸に他方の前記アーム用出力軸が嵌挿されている、請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記旋回リンクを旋回駆動する旋回用駆動機構と、
前記旋回用駆動機構及び前記２つのアーム用駆動モータの動作を制御する制御手段とを更に備え、
前記制御手段は、前記アーム用駆動モータにより前記アーム及び前記ハンドを回動させて前記ハンド機構を伸張させながら前記旋回用駆動機構により前記旋回リンクを旋回させることで前記ハンドが向いている方向に該ハンドを直線的に移動させるように構成されている、請求項１乃至４の何れか１つに記載の搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【公開番号】特開２０１１−１６１５５４（Ｐ２０１１−１６１５５４Ａ）
【公開日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２５８３６（Ｐ２０１０−２５８３６）
【出願日】平成２２年２月８日（２０１０．２．８）
【出願人】（００００００９７４）川崎重工業株式会社 (1,710)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年２月８日（２０１０．２．８）
【出願人】（００００００９７４）川崎重工業株式会社 (1,710)
【Ｆターム（参考）】
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