【課題】 圧電駆動部の端部における絶縁破壊の発生を抑制し、かつ、機械的強度を適切に保持した積層型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 アクチュエータ１０は、圧電セラミックス層１１と内部電極層１２とが交互に積層されてなる圧電駆動部２と、圧電セラミックス層１１どうしがその中央部で接合層１４により接合され、その外周部に圧電セラミックス層１１どうしが不連続となる不連続層１５が形成されてなる応力吸収層部３と、圧電不活性な保護層部４とを有している。接合層１４の中心から外周までの距離ｃと、内部電極層１２の中心から外周までの距離ａとを、０．７３≦ｃ／ａ≦０．９５、の関係が満たされるように設定する。 （もっと読む）

【課題】 予圧変動や摩耗粉噛み込み等があっても、駆動特性が変動しないとともに、超音波モータの摩擦部材の摩耗量を低減させる案内装置及びその駆動制御方法を提供する。
【解決手段】 可動体が、ＰＩＤフィードバック制御される超音波モータによって摩擦駆動される案内装置において、前記超音波モータの駆動電圧の駆動開始から駆動終了までの変動幅を５００ｍＶ以下に制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、部品点数を増やすことなく耐久性を向上させることができる振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】 振動体及び接触体の一方における接触部に固定された摩擦部材１１は、摩擦部材１１の周方向において複数の摩擦部材要素に分割され、複数の摩擦部材要素は、振動体及び接触体の他方における接触部と接触する複数の接触面を夫々有し、独立したばね性により接触面の法線方向及び摩擦部材の径方向に夫々変形可能である。 （もっと読む）

【課題】回転時の摩擦抵抗が小さくかつ性能が安定した振動アクチュエータ装置等を提供する。
【解決手段】駆動信号により励振される電気機械変換素子１０６と、電気機械変換素子１０６に接合された環状の弾性体１０５と、弾性体１０５に加圧接触し、この弾性体１０５に対してその中心軸Ｉ回りに相対的に回転する回転体１０８と、弾性体１０５の中心軸Ｉに対して放射状に配置された回転軸回りに回転可能に支持され、その外周面が回転体１０８に追従して回転する転動面部１１０ａと接触する転動体１１１とを備える振動アクチュエータ装置１００において、転動体１１１は、弾性体１０５の中心軸Ｉからの距離に応じてその外径が増加する円すいころ状に形成した構成とする。 （もっと読む）

【課題】 予圧解除時に走行プレートや超音波モータを傷つけることなく可動側部材を容易に動かすことができるようにして寿命低下を防止する。
【解決手段】 超音波モータ１６を移動ステージ１５に取り付けると共に、ベース１１に設けられた走行プレート１８に超音波モータ１６のフィンガ１７を予圧を付与した状態で接触させ、この状態で該超音波モータ１６の振動をフィンガ１７を介して走行プレート１８に伝達することで、移動ステージ１５を駆動するようにした超音波モータ付駆動装置１０であって、超音波モータ１６の予圧を解除したときに、フィンガ１７を走行プレート１８に対して非接触とする。 （もっと読む）

超音波モータを少なくとも２種類の速度のうちの低速で駆動する場合に不安定な動作を防止し、長寿命化を図る技術が開示され、この技術によれば超音波モータ３を通常駆動時に比較的低速で駆動する場合に、超音波モータを所定時間ごとに比較的高速で駆動することにより比較的低速での駆動による不安定な動作を防止し、長寿命化を図る。
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【課題】移動体と駆動源との摺接によって生じた粉塵を確実に除去することができず、位置決め精度が低下しやすい。
【解決手段】駆動源と、駆動源からの駆動力を伝達するための伝達部材と、伝達部材との摺接により移動する移動体と、伝達部材と移動体との摺接によって生じる粉塵を除去する粉塵除去部とを有する案内装置において、前記粉塵除去部が、周囲に弾性力により移動体に付勢するスクレーパ部を有する回転体からなり、前記スクレーパ部により粉塵を除去する案内装置とする。 （もっと読む）

【課題】帯電に起因する摩耗が生じにくく長寿命な超音波駆動装置及び駆動ステージを提供する。
【解決手段】超音波モータ１は、超音波領域の振動を発生させる振動体２と、この振動体２に接合され振動体２の振動に伴って振動する駆動チップ３と、を備えている。基台１１上に一対の案内レール１２，１２が平行に設置されており、この案内レール１２，１２の上には可動体であるステージ１３が取り付けられている。基台１１の上面には、案内レール１２と平行に柱状部材１４が固定され、この柱状部材１４の案内レール１２と平行な側面は、導電性又は半導電性のセラミックで構成された平板状の駆動力発生部材１５で覆われている。そして、ステージ１３の下面には、駆動チップ３が駆動力発生部材１５に接触するように、超音波モータ１が固定されている。 （もっと読む）

【課題】摩擦接触面の磨耗を少なくし、駆動性能を安定化し、異音の発生が無く、長寿命化を図ることができる振動波モータを提供する。
【解決手段】圧電体１１の励振により振動を発生する弾性体１２と、弾性体１２に加圧接触し、その振動により駆動される移動体１３とを備える振動波モータ１０において、弾性体１２と移動体１３との摩擦接触面を含む部分の少なくとも一方は、無電解Ｎｉ−Ｐ／ＰＴＦＥ複合メッキ皮膜層１７であり、他方は、アルマイト皮膜層１８であり、無電解Ｎｉ−Ｐ／ＰＴＦＥ複合メッキ皮膜層１７及びアルマイト皮膜層１８は、ともにビッカース硬度が２５０以上であり、かつ、そのビッカース硬度差が１００以下であるものとする。 （もっと読む）

【課題】固有振動数の調整量のばらつきが小さく、また、振動特性を殆んど劣化させずに固有振動数を確実に調整でき、これによって固有振動数に関する個体差を解消することができる圧電振動体を簡便な方法で提供すること。
【解決手段】振動体７０において、電極６０の一部にあらかじめ調整用電極７２が形成され、初期状態では互いに導通している駆動電極６１と調整用電極７２とを導通部７３の切断（カット）によって互いに切り離して絶縁させたり、互いに絶縁された駆動電極６１と調整用電極７２とをはんだ、ワイヤなどの導電性部材を介して導通（ショート）させたりすることにより、固有振動数が調整される構成とされているので、固有振動数の調整を簡便かつ確実に調整できる。これにより、共振周波数（固有振動数）に関する振動体７０の個体差が解消され、信頼性を大きく向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 変位部材と駆動部材との摩擦接触により発生する磨耗紛によって生じる駆動ムラを低減することができるとともに超音波モータの寿命を向上させることができるガイドプレートを提供することを目的とする。
【解決手段】 所定角度で交差するように配置された先端部が変位部材により相互に結合された二つのランジュバン型振動子を具備する超音波モータの駆動部材に設けられたガイドプレートであって、前記ガイドプレートは、前記変位部材が当接する面に凹部を有することを特徴とするガイドプレート。ここで、前記凹部は、レンガ積み形状または斜め格子形状またはボス穴形状のいずれかの形状を有する溝からなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 振動体に励振される振動に対する応答特性を損なうことなく、振動体と移動体との接触部の耐摩耗性を向上させることができる振動波モータを提供する。
【解決手段】 移動体１２には接触部材１０が設けられ、接触部材１０は、移動体に固着される本体１０ａと、本体１０ａと一体的に連なるばね部１０ｂと、ばね部１０ｂの先端に形成され、振動体１１に接触する摺動部１０ｃとを有する。接触部材１０は、耐摩耗性を得るための窒化処理が施されたステンレス鋼板からなり、ばね部１０ｂは、窒化処理が施された部位を除去加工することにより形成された部位である。 （もっと読む）

【課題】 超音波モータの動作不良発生を防止できる超音波駆動素子および超音波駆動素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 電力が供給されることにより振動を発生する振動子３と、振動子３に接着される一方、被駆動部に接触させられて、振動子３の振動により被駆動部を駆動する駆動接触部２１とを有する超音波駆動素子３，２１であって、駆動接触部２１が、多孔質材料から形成されるとともに、被駆動部との接触面２４を除く面の内、少なくとも振動子３との接着面に形成された金属膜２２を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

電気機械駆動素子の製造において、振動特性が試験環境で定義される。これらの特性は、モータに構成されるときに優れた動作をもたらすことが認められる。２つの撓み振動モードが定義される。１つは、それぞれの外側部分の２つの支持体に固定される素子に関係するｓモードである。ｓモードは３つの節点を有する。もう１つの振動モードは、支持体および中間部分（Ｈ１）に配置された駆動パッドに固定される素子に関係するεモード（１１２）である。εモード（１１２）は、中間部分（１１１）の両側に１つずつ節点（１５５）を有し、中間部分（１１１）は、中間部分（１１１）と節点（１５５）との間の部分（１１３、１１５）のストローク振幅より小さいストローク振幅を有する。２点および３点でそれぞれ固定されたｓモードの共振周波数の平均は、εモード（１１２）の共振周波数とは２５％未満だけ異なる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、台を一定方向に移動させるステージに関し、ステージを駆動する超音波モータの部分を別空間にして当該空間内で発生した微粉を集塵し、微粉のステージ上の試料への付着を完全に防止することを目的とする。
【構成】 ステージを構成する台を一定方向に移動させる、超音波電圧を印加した圧電素子で移動させると共に摩擦力で固定するステータとロータとから構成される駆動ユニットと、駆動ユニットを構成するステータとロータとの接触部の全体を閉空間で囲み、発生した微粉の飛散を当該閉空間内に閉じ込めるケースとを備えたステージである。 （もっと読む）

【課題】 振動型アクチュエータを低速で駆動する場合には、振動体および接触体間に生じた摩耗粉によって不具合が生じる。
【解決手段】 電気−機械エネルギ変換素子への駆動信号の印加によって振動を励起する振動体と、振動体に接触する接触体とを相対的に駆動する振動型アクチュエータ（２）の制御装置であって、振動型アクチュエータを第１の駆動速度で駆動する場合において、所定のタイミングから所定時間の間、第１の駆動速度よりも高い第２の駆動速度で振動型アクチュエータを駆動する制御手段（１０３）を有する。 （もっと読む）

【課題】低次数の振動モードで動く圧電体振動子の向い合う両端部に反対方向の楕円運動を大きな駆動力で行わせる。
【解決手段】 圧電体振動子１０は、板状の圧電素子２０、２０、及びシムを有する。圧電素子２０、２０は厚さ方向に分極され、中央から第１方向Ｄ１に沿って両側に延びる第１突出部２１ａ、及び第２突出部２１ｂを有する。第１突出部２１ａ、及び第２突出部２１ｂの先端は第２方向Ｄ２に平行な辺部２２を有する。圧電素子２０、２０に第３突出部２１ｃ、及び第４突出部２１ｄを、中央から第２方向Ｄ２に沿って延びるにつれて幅が小さくなるように形成する。圧電素子２０、２０の表面に電極を設け、第２方向に沿って２以上に分割し、第１電極２３ａ、及び第２電極２３ｂを形成する。第１電極２３ａ、及び第２電極２３ｂに位相の異なる交流電圧を印加して、辺部２２を楕円運動させる。 （もっと読む）

【課題】 超音波モータを初めとする圧電デバイスに用いられる圧電振動子の導通構造に関し、特に振動体の振動に影響を与えない導通パターンの形状並びに製造方法に関する。
【解決手段】 圧電素子を有する振動体と、圧電素子に駆動信号を供給する導通パターンと、振動体の振動により摩擦駆動される超音波モータにおいて、導通パターンには、圧電素子と導通パターンの接合部と導通パターンと導通パターンが固定される固定端を結んだ直線から突出する形状を有する緩衝部を有する構造とする。 （もっと読む）

【課題】 耐久性が高くストロークの大きな超音波モータと、機構が簡単な可変剛性バネを、同一の基本原理により実現する。
【解決手段】 本発明に係る超音波モータ１は、一端が固定支持された固定端３と、他端外周部が拘束され材軸方向にのみ移動自在とされたローラー端４とを有する棒状部材２の固定端３近傍に一対の圧電素子５、６を装着した構成となっている。静止状態における棒状部材２の材軸方向を直交座標系のＸ軸方向とすると、圧電素子５はＺ軸方向を加振方向とし、圧電素子６はＹ軸方向を加振方向とする。また、棒状部材２に装着された圧電素子５、６の加振波形は、位相のみ９０度シフトした正弦波である。棒状部材２を圧電素子５、６により当該棒状部材２の固有周波数で加振し、棒状部材２を共振させると、棒状部材２は大きく撓みながら回転運動する。そして、棒状部材２が撓むことにより、棒状部材２のローラー端４はＸ軸方向にスライドする。 （もっと読む）

【課題】 振動体と接触体との接触部における摩擦及び磨耗を減らし、耐久寿命を長くすることを可能とした振動波駆動装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動波モータは、金属部２と圧電素子３を有し駆動振動が励起される振動子１と、盤面上の偏心した位置に出力軸４ａを有する円盤形状の接触体４と、振動子１と接触体４を加圧接触させる板ばね５とを備える。接触体４の出力軸４ａの中心と、振動子１と接触体４が接触している位置との距離の変化に応じ、振動子１が加圧方向に移動し、板ばね５の縮み量が変化し、振動子１と接触体４の接触面の加圧力が変化する。これにより、接触体４が振動子１から受ける駆動力が変化し、接触体４の出力軸４ａに発生する出力トルクも変化する。 （もっと読む）